自动锁料框的制作方法

本技术涉及料框，具体为自动锁料框。

背景技术：

1、料框是半导体行业芯片加工过程中用于晶圆切割工艺的一种必不可少的上料载具，目前的料框是大多是采用人工搬运并放入机台内，料框安全档需要手动关闭，比较费工费力，容易造成生产异常，能上自动线的料框，也不能自动上锁，不易实现自动化生产，在自动搬运过程中容易产生掉料。

2、因此，需要对料框进行设计改造，有效的防止其无法自动上锁的现象。

技术实现思路

1、为解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型的目的在于提供自动锁料框，具备了能够自动上锁的优点，解决了目前的料框安全档需要手动关闭，无法自动上锁的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：自动锁料框，包括自动抓取头，所述自动抓取头的底部固定连接有上固定板，所述上固定板的两侧均固定连接有防尘板，所述上固定板的前端固定连接有侧板一，所述上固定板的后端固定连接有侧板二，所述侧板一与侧板二的内部均开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有自动落锁，所述自动落锁的表面固定连接有落锁压板，所述上固定板顶部的前侧与后侧均通过轴杆铰接有把手。

3、作为本实用新型优选的，所述侧板一与侧板二的内侧固定连接有下固定板。

4、作为本实用新型优选的，所述侧板一与侧板二的右侧均开设有弧形槽。

5、与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

6、1、本实用新型由侧板一和侧板二通过内部自带的支撑槽对晶圆进行支撑，再由落锁压板通过滑槽和自动落锁对晶圆进行限位，最后可通过自动抓取头或把手对晶圆进行搬运，达到能够自动上锁的优点，不需要使用者手动关闭料框安全档，省时省力，不易造成生产异常，易实现自动化生产，在自动搬运过程中不易产生掉料。

7、2、本实用新型通过设置下固定板，能够对侧板一与侧板二进行连接该固定，提高了侧板一与侧板二的稳定性。

技术特征：

1.自动锁料框，包括自动抓取头(1)，其特征在于：所述自动抓取头(1)的底部固定连接有上固定板(2)，所述上固定板(2)的两侧均固定连接有防尘板(3)，所述上固定板(2)的前端固定连接有侧板一(4)，所述上固定板(2)的后端固定连接有侧板二(5)，所述侧板一(4)与侧板二(5)的内部均开设有滑槽(6)，所述滑槽(6)的内部滑动连接有自动落锁(7)，所述自动落锁(7)的表面固定连接有落锁压板(8)，所述上固定板(2)顶部的前侧与后侧均通过轴杆铰接有把手(9)。

2.根据权利要求1所述的自动锁料框，其特征在于：所述侧板一(4)与侧板二(5)的内侧固定连接有下固定板(10)。

3.根据权利要求1所述的自动锁料框，其特征在于：所述侧板一(4)与侧板二(5)的右侧均开设有弧形槽(11)。

技术总结
本技术公开了自动锁料框，包括自动抓取头，所述自动抓取头的底部固定连接有上固定板，所述上固定板的两侧均固定连接有防尘板，所述上固定板的前端固定连接有侧板一，所述上固定板的后端固定连接有侧板二，所述侧板一与侧板二的内部均开设有滑槽，所述滑槽的内部滑动连接有自动落锁。本技术由侧板一和侧板二通过内部自带的支撑槽对晶圆进行支撑，再由落锁压板通过滑槽和自动落锁对晶圆进行限位，最后可通过自动抓取头或把手对晶圆进行搬运，达到能够自动上锁的优点，不需要使用者手动关闭料框安全档，省时省力，不易造成生产异常，易实现自动化生产，在自动搬运过程中不易产生掉料。

技术研发人员：刘红军,秦东魁
受保护的技术使用者：昆山英博尔电子科技有限公司
技术研发日：20230321
技术公布日：2024/1/14