物镜结构的制作方法

本技术涉及扫描电镜观测领域，尤其是涉及一种物镜结构。

背景技术：

1、扫描电镜在观测样品时，通常来说物镜结构需要高真空环境，高真空环境主要是为了满足电子束发生及其路径，否则，发射单元寿命急剧降低，甚至发射单元无法正常工作；电子也会一直受到气体分子的散射。

2、但是，一些电镜的样品室通常与电子光学镜筒内是同一真空；但是在观测观测样品时，样片表面会积累电荷，及产生荷电效应而无法观察到样品表面真实形貌。

技术实现思路

1、本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型的一个目的在于提出一种物镜结构，未经过低真空特殊设计的电子光学镜筒搭配本实用新型实施例的物镜结构可轻松实现样品室的低真空模式，可以根据样品室内的样品调节样品室的真空环境，保证观测不导电样品的准确性。

2、根据本实用新型实施例的物镜结构，包括：第一物镜组件，所述第一物镜组件内部设有高真空区域，所述高真空区域连通第一真空泵；第二物镜组件，所述第二物镜组件可拆卸连接于所述第一物镜组件，所述第二物镜组件内部设有与所述高真空区域连通的真空缓冲区域，且所述真空缓冲区域与样品室连通，所述真空缓冲区域连通第二真空泵。

3、根据本实用新型实施例的物镜结构，将在电子光学路径及镜筒的设计制作上要考虑真空的多级差分，即第一物镜组件内形成高真空区域，第二物镜组件内形成真空缓冲区域，样品室内形成低真空区域，在整个实验的过程中，对于高真空区域、真空缓冲区域还有低真空区域内进行抽气，实现样品室内的低真空环境，从而保证对于样品室内的不导电样品进行观测时的准确性。

4、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述第二物镜组件包括椎管和光阑，所述第一物镜组件形成有与所述高真空区域连通的安装口，所述光阑卡接于所述安装口处，所述椎管与所述光阑相连且限定出所述真空缓冲区域，所述光阑设有将所述真空缓冲区域与所述高真空区域连通的第一限压孔，所述椎管设有将所述真空缓冲区域与所述样品室连通的第二限压孔。

5、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述椎管构造为尖状椎形件，所述椎管的一端罩设于所述安装口外且另一端设有所述第二限压孔，所述椎管的周壁设有排气管，所述排气管与所述第二真空泵相连。

6、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述椎管的轴线与所述排气管的轴线垂直。

7、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述光阑包括第一支撑部和卡接部，所述椎管的内周壁设有搭接部，所述第一支撑部搭接在所述搭接部上，所述卡接部卡接至所述安装口内。

8、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述第一限压孔位于所述卡接部背离所述第一支撑部的一端。

9、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述第一限压孔的轴线、所述第二限压孔的轴线和所述安装口的轴线重合。

10、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述第一物镜组件包括物镜上极靴、极靴帽支撑件和极靴帽；所述物镜上极靴的底部设有开口，所述极靴帽支撑件的至少部分卡入所述开口内，所述极靴帽连接在所述极靴帽支撑件背离所述物镜上极靴的一端且与所述极靴帽支撑件限定出空腔，所述空腔与所述物镜上极靴内部连通并且形成所述高真空区域，且所述极靴帽设有用于与所述第二物镜组件卡接相连的安装口。

11、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述极靴帽支撑件包括第二支撑部和延伸部，所述第二支撑部支撑在所述开口的外围，所述延伸部延伸至所述开口内。

12、根据本实用新型实施例的物镜结构，所述第一物镜组件还包括物镜下极靴，所述物镜下极靴连接在所述物镜上极靴的外侧，且所述物镜下极靴与所述物镜上极靴之间形成有外部腔室，所述外部腔室通过所述物镜下极靴与所述物镜上极靴之间的间隙与所述样品室连通。

13、本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

技术特征：

1.一种物镜结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的物镜结构，其特征在于，所述第二物镜组件包括椎管和光阑，所述第一物镜组件形成有与所述高真空区域连通的安装口，所述光阑卡接于所述安装口处，所述椎管与所述光阑相连且限定出所述真空缓冲区域，所述光阑设有将所述真空缓冲区域与所述高真空区域连通的第一限压孔，所述椎管设有将所述真空缓冲区域与所述样品室连通的第二限压孔。

3.根据权利要求2所述的物镜结构，其特征在于，所述椎管构造为尖状椎形件，所述椎管的一端罩设于所述安装口外且另一端设有所述第二限压孔，所述椎管的周壁设有排气管，所述排气管与所述第二真空泵相连。

4.根据权利要求3所述的物镜结构，其特征在于，所述椎管的轴线与所述排气管的轴线垂直。

5.根据权利要求2所述的物镜结构，其特征在于，所述光阑包括第一支撑部和卡接部，所述椎管的内周壁设有搭接部，所述第一支撑部搭接在所述搭接部上，所述卡接部卡接至所述安装口内。

6.根据权利要求5所述物镜结构，其特征在于，所述第一限压孔位于所述卡接部背离所述第一支撑部的一端。

7.根据权利要求2所述物镜结构，其特征在于，所述第一限压孔的轴线、所述第二限压孔的轴线和所述安装口的轴线重合。

8.根据权利要求1所述的物镜结构，其特征在于，所述第一物镜组件包括物镜上极靴、极靴帽支撑件和极靴帽；

9.根据权利要求8所述的物镜结构，其特征在于，所述极靴帽支撑件包括第二支撑部和延伸部，所述第二支撑部支撑在所述开口的外围，所述延伸部延伸至所述开口内。

10.根据权利要求8所述的物镜结构，其特征在于，所述第一物镜组件还包括物镜下极靴，所述物镜下极靴连接在所述物镜上极靴的外侧，且所述物镜下极靴与所述物镜上极靴之间形成有外部腔室，所述外部腔室通过所述物镜下极靴与所述物镜上极靴之间的间隙与所述样品室连通。

技术总结
本技术公开了一种物镜结构，所述物镜结构包括：第一物镜组件，所述第一物镜组件内部设有高真空区域，所述高真空区域连通第一真空泵；第二物镜组件，所述第二物镜组件可拆卸连接于所述第一物镜组件，所述第二物镜组件内部设有与所述高真空区域连通的真空缓冲区域，且所述真空缓冲区域与样品室连通，所述真空缓冲区域连通第二真空泵。本技术实施例的物镜结构在电子光学路径及镜筒的设计制作上要考虑真空的多级差分，可轻松实现样品室的低真空模式，可以根据样品室内的样品调节样品室的真空环境，保证观测不导电样品的准确性。

技术研发人员：孙斌
受保护的技术使用者：国仪量子（合肥）技术有限公司
技术研发日：20230323
技术公布日：2024/1/13