一种微孔陶瓷吸盘装置的制作方法

本申请属于微孔陶瓷吸盘，尤其涉及一种微孔陶瓷吸盘装置。

背景技术：

1、在半导体集成电路制造过程中，晶圆片需要在多达几百种工艺设备之间来回传输并进行加工检测，在加工过程中，需要将晶圆片十分平稳、固定地安放在工艺设备上，因此需要配合使用吸盘装置进行配合操作。

2、根据已授权公告号cn215266244u公开了一种微孔陶瓷吸盘装置，包括固定座，所述固定座的内壁通过轴承转动连接有螺纹管，所述螺纹管的内壁通过螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有活动座，所述固定座和活动座的顶部均固定连接有安装座，所述安装座的内壁滑动连接有安装块，所述安装块的顶部分别固定连接有第一陶瓷吸盘和第二陶瓷吸盘，所述安装块的表面开设有卡接槽，所述卡接槽的内壁滑动连接有卡接杆。本实用新型通过卡接杆、安装座和安装块的配合，能够对吸盘进行快捷的拆换，同时通过滑杆和挡块的配合，能够对连接板的运行轨迹进行限制，进一步提高了拆换吸盘的便捷度，有效的降低了设备的停机时间，更加有利于使用，该装置具有双吸盘进行吸附，但是在吸附过程中可能会存在个体较大的物件，双吸盘难以保证在吸附过程中处于平衡状态，导致设备的实用性较低，较不利于使用。

3、为此，我们提出来一种微孔陶瓷吸盘装置解决上述问题。

技术实现思路

1、本申请的目的是为了解决现有技术中，但是在吸附过程中可能会存在个体较大的物件，双吸盘难以保证在吸附过程中处于平衡状态，导致设备的实用性较低，较不利于使用的问题，而提出的一种微孔陶瓷吸盘装置。

2、为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：

3、一种微孔陶瓷吸盘装置，包括固定板，所述固定板上固定设置有两个支撑架，且两个所述支撑架上转动设置有螺纹杆，其中一个所述支撑架上固定设置有电机，且所述电机的输出端与螺纹杆之间固定连接，所述螺纹杆上螺纹连接有两个对称设置的滑块，且所述支撑架上转动设置有连接杆，且所述滑块与连接杆之间设有控制连接杆转动的传动机构，所述连接杆的末端上滑动设置有吸盘，且所述吸盘与连接杆之间设有卡合吸盘的限位机构。

4、优选的，所述螺纹杆上设有两段螺纹，且两段所述螺纹的旋转方向相反。

5、通过设置在螺纹杆上的两段旋转方向相反的螺纹，实现了在启动电机带动螺纹杆转动时，螺纹连接在螺纹杆上的两个滑块能够相向移动。

6、优选的，两个所述支撑架之间固定设置有导向杆，且所述导向杆与滑块之间滑动连接，所述导向杆与螺纹杆之间平行设置。

7、通过设置在两个支撑架之间的导向杆，实现了当滑块移动时不会位置上的偏移和转动。

8、优选的，所述传动机构包括固定设置于滑块和连接杆上的轴体，且两个所述轴体之间转动设置有长杆。

9、通过设置在滑块和连接杆上的长杆，实现了当滑块移动时长杆能够带动连接杆进行转动。

10、优选的，所述限位机构包括固定设置连接杆末端上的圆壳，所述吸盘上开设有槽口，且所述槽口内滑动设置圆环，且所述圆环与槽口底端之间固定设置有弹簧，且所述圆壳与槽口之间滑动连接，且所述圆壳与槽口之间设有卡合结构。

11、通过设置在槽口内的弹簧，实现了在安装固定吸盘上，将连接杆末端上的圆壳与吸盘上的槽口相卡合即可。

12、优选的，所述卡合结构包括固定设置圆壳上的限位杆，所述槽口上开设有与限位杆相匹配的滑槽，且所述滑槽的底端呈u型设置。

13、通过设置在圆壳上的限位杆和槽口上的滑槽，实现了在将圆壳滑动按压在槽口内时，限位杆能够卡合在u型滑槽上，达到限位卡合的目的。

14、综上所述，本申请的技术效果和优点：该微孔陶瓷吸盘装置，通过设置在固定板上带有两段旋转方向相反的螺纹杆，实现了启动电机使得螺纹杆转动，螺纹连接在螺纹杆上的两个滑块能够相向移动，并通过长杆带动连接杆转动，从而是达到改变吸盘的位置的目的。

技术特征：

1.一种微孔陶瓷吸盘装置，包括固定板（1），其特征在于，所述固定板（1）上固定设置有两个支撑架（2），且两个所述支撑架（2）上转动设置有螺纹杆（3），其中一个所述支撑架（2）上固定设置有电机（4），且所述电机（4）的输出端与螺纹杆（3）之间固定连接，所述螺纹杆（3）上螺纹连接有两个对称设置的滑块（5），且所述支撑架（2）上转动设置有连接杆（6），且所述滑块（5）与连接杆（6）之间设有控制连接杆（6）转动的传动机构，所述连接杆（6）的末端上滑动设置有吸盘（7），且所述吸盘（7）与连接杆（6）之间设有卡合吸盘（7）的限位机构。

2.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，所述螺纹杆（3）上设有两段螺纹，且两段所述螺纹的旋转方向相反。

3.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，两个所述支撑架（2）之间固定设置有导向杆（8），且所述导向杆（8）与滑块（5）之间滑动连接，所述导向杆（8）与螺纹杆（3）之间平行设置。

4.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，所述传动机构包括固定设置于滑块（5）和连接杆（6）上的轴体（9），且两个所述轴体（9）之间转动设置有长杆（10）。

5.根据权利要求1所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，所述限位机构包括固定设置于连接杆（6）末端上的圆壳（11），所述吸盘（7）上开设有槽口（12），且所述槽口（12）内滑动设置有圆环，且所述圆环与槽口（12）底端之间固定设置有弹簧（13），且所述圆壳（11）与槽口（12）之间滑动连接，且所述圆壳（11）与槽口（12）之间设有卡合结构。

6.根据权利要求5所述的一种微孔陶瓷吸盘装置，其特征在于，所述卡合结构包括固定设置圆壳（11）上的限位杆（14），所述槽口（12）上开设有与限位杆（14）相匹配的滑槽（15），且所述滑槽（15）的底端呈u型设置。

技术总结
本申请公开了一种微孔陶瓷吸盘装置，属于微孔陶瓷吸盘技术领域，包括固定板，所述固定板上固定设置有两个支撑架，且两个所述支撑架上转动设置有螺纹杆，其中一个所述支撑架上固定设置有电机，且所述电机的输出端与螺纹杆之间固定连接，所述螺纹杆上滑动设置有两个对称设置的滑块，且所述支撑架上转动设置有连接杆，且所述滑块与连接杆之间设有控制连接杆转动的传动机构，所述连接杆的末端上滑动设置有吸盘，通过设置在固定板上带有两段旋转方向相反的螺纹杆，实现了启动电机使得螺纹杆转动，螺纹连接在螺纹杆上的两个滑块能够相向移动，并通过长杆带动连接杆转动，从而是达到改变吸盘的位置的目的。

技术研发人员：刘国彬
受保护的技术使用者：深圳市德澳美科技有限公司
技术研发日：20230404
技术公布日：2024/1/15