一款晶圆卡塞自动升降机构的制作方法

本技术主要涉及升降机构的，具体为一款晶圆卡塞自动升降机构。

背景技术：

1、目前4寸晶圆卡塞装片升降的作业都是由人工完成，人工作业费时费力，且效率低下，并且容易出错；

2、根据申请号为cn213264627u的专利文件可知，该产品包括固定架、丝杆升降机构、连接板、活动架、卡塞料架、两个定位气缸及两个张紧气缸，所述丝杆升降机构通过连接板与活动架连接，上盖板底部及下盖板顶部设有用于夹持玻璃板的插槽，定位气缸分别设于活动架顶端两侧，定位气缸的活塞端与上盖板连接，张紧气缸设于活动架底端两侧，且张紧气缸的活塞端与下盖板连接。本实用新型的卡塞料架可同时放置多个玻璃板，卡塞料架通过定位气缸固定夹持在活动架内，活动架在丝杆升降机构的驱动下可实现升降操作，省去了通过人力搬运升降玻璃板的繁杂，省时省力、操作方便；张紧气缸可调节卡塞料架内玻璃板的夹持张紧度，有效避免玻璃板在升降过程中发生滑脱；

3、上述专利确实省时省力、操作方便且能避免升降过程中发生滑脱，但上述专利在运输过程中的稳定性以及固定性还有待提高。

技术实现思路

1、本实用新型主要提供了一款晶圆卡塞自动升降机构，用以解决上述背景技术中提出的技术问题。

2、本实用新型解决上述技术问题采用的技术方案为：

3、一款晶圆卡塞自动升降机构,包括底座，设于底座顶部的电机，设于所述电机一侧的后板，设于所述电机另一侧的升降梯板，设于所述升降梯板上的晶圆卡塞，设于电机顶端的直线导块，设于所述直线导块顶部一侧的第一固定抵块，以及设于所述直线导块底部一侧的第二固定抵块，所述底座上设有自动升降装置，所述自动升降装置包括设于所述设于所述晶圆卡塞内的晶圆固定部件，设于所述升降梯板顶部的感应部件，设于所述升降梯板两侧的稳定部件，设于所述电机顶部的升降部件，设于所述第一固定抵块上的磁吸部件。

4、优选的，所述晶圆固定部件包括设于所述晶圆卡塞两侧内壁上的弧形栅壁，设于所述晶圆卡塞底端的托板，以及嵌设于所述升降梯板中心位置的伸缩缸，所述伸缩缸执行端贯穿所述升降梯板顶部且连接所述升降梯板底部。

5、优选的，所述感应部件包括设于所述升降梯板顶部的感应垫，以及设于所述感应垫顶部的称重传感器，所述称重传感器顶部连接所述托板，所述称重传感器中心位置设有通孔，所述伸缩缸执行端贯穿所述通孔。

6、优选的，所述弧形栅壁从上至下嵌设有多层凹槽，且一端为贴合圆形的弯弧设计。

7、优选的，所述稳定部件包括设于所述升降梯板两侧的三角支架。

8、优选的，所述升降部件包括嵌设于所述直线导块内的滑槽，设于所述滑槽内的直线导轨，对称设于所述滑槽一侧的抵接壁，以及设于所述直线导轨执行端上的滑块，所述滑块滑动连接所述滑槽以及抵接壁，所述电机执行端连接所述直线导轨，所述升降梯板固定连接所述滑块。

9、优选的，所述磁吸部件包括设于所述第一固定抵块底端的第一电磁铁，设于所述第二固定抵块顶端的第二电磁铁，设于所述滑块顶端的第三电磁铁，设于所述滑块顶部的第三电磁铁，以及设于所述滑块底部的第四电磁铁。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

11、通过晶圆固定部件固定晶圆，避免晶圆脱离开卡塞，通过感应部件感应晶圆，便于对晶圆的位置固定，通过稳定部件稳定升降梯板位置，便于升降梯板更稳定地升降，通过弧形栅壁从上至下嵌设有多层凹槽，且一端为贴合圆形的弯弧设计，便于卡塞更好地固定圆晶，通过升降部件固定升降位置，便于卡圆稳定地固定升降。

12、以下将结合附图与具体的实施例对本实用新型进行详细的解释说明。

13、附图说明

14、图1为本实用新型的整体结构轴测图；

15、图2为本实用新型的主要结构侧视图；

16、图3为本实用新型的部分结构剖视图；

17、图4为本实用新型的部分结构剖视图；

18、图5为本实用新型的a处细节放大图。

技术特征：

1.一款晶圆卡塞自动升降机构,包括底座(10)，设于底座(10)顶部的电机(11)，设于所述电机(11)一侧的后板(12)，设于所述电机(11)另一侧的升降梯板(16)，设于所述升降梯板(16)上的晶圆卡塞(17)，设于电机(11)顶端的直线导块(13)，设于所述直线导块(13)顶部一侧的第一固定抵块(14)，以及设于所述直线导块(13)底部一侧的第二固定抵块(15)，其特征在于，所述底座(10)上设有自动升降装置(20)；

2.根据权利要求1所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述晶圆固定部件(21)包括设于所述晶圆卡塞(17)两侧内壁上的弧形栅壁(211)，设于所述晶圆卡塞(17)底端的托板(212)，以及嵌设于所述升降梯板(16)中心位置的伸缩缸(213)，所述伸缩缸(213)执行端贯穿所述升降梯板(16)顶部且连接所述升降梯板(16)底部。

3.根据权利要求2所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述感应部件(22)包括设于所述升降梯板(16)顶部的感应垫(221)，以及设于所述感应垫(221)顶部的称重传感器(222)，所述称重传感器(222)顶部连接所述托板(212)，所述称重传感器(222)中心位置设有通孔(223)，所述伸缩缸(213)执行端贯穿所述通孔(223)。

4.根据权利要求2所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述弧形栅壁(211)从上至下嵌设有多层凹槽，且一端为贴合圆形的弯弧设计。

5.根据权利要求1所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述稳定部件(23)包括设于所述升降梯板(16)两侧的三角支架(231)。

6.根据权利要求1所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述升降部件(24)包括嵌设于所述直线导块(13)内的滑槽(242)，设于所述滑槽(242)内的直线导轨(243)，对称设于所述滑槽(242)一侧的抵接壁(244)，以及设于所述直线导轨(243)执行端上的滑块(241)，所述滑块(241)滑动连接所述滑槽(242)以及抵接壁(244)，所述电机(11)执行端连接所述直线导轨(243)，所述升降梯板(16)固定连接所述滑块(241)。

7.根据权利要求6所述的一款晶圆卡塞自动升降机构，其特征在于，所述磁吸部件(25)包括设于所述第一固定抵块(14)底端的第一电磁铁(251)，设于所述第二固定抵块(15)顶端的第二电磁铁(252)，设于所述滑块(241)顶端的第三电磁铁(253)，设于所述滑块(241)顶部的第三电磁铁(253)，以及设于所述滑块(241)底部的第四电磁铁(254)。

技术总结
本技术公开了一款晶圆卡塞自动升降机构,包括底座，设于底座顶部的电机，设于所述电机一侧的后板，设于所述电机另一侧的升降梯板，设于所述升降梯板上的晶圆卡塞，设于电机顶端的直线导块，设于所述直线导块顶部一侧的第一固定抵块，以及设于所述直线导块底部一侧的第二固定抵块，所述底座上设有自动升降装置，所述自动升降装置包括设于所述设于所述晶圆卡塞内的晶圆固定部件，设于所述升降梯板顶部的感应部件，设于所述升降梯板两侧的稳定部件，设于所述电机顶部的升降部件，设于所述第一固定抵块上的磁吸部件，本技术是一款能够将4寸晶元稳定、固定地升降的晶圆卡塞自动升降机构。

技术研发人员：孙涛涛,吴拓,孙昌才,吴为珍
受保护的技术使用者：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/13