一款晶圆自动插片设备的制作方法

本技术涉及晶圆自动插片，具体为一款晶圆自动插片设备。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的产品；在晶圆的制作过程中，需要采用自动插片机将制作好的晶圆插入到料匣中，之后在进行后续操作。

2、经检索，中国专利号cn218513425u公开了一种石英晶圆基片生产用自动插片机，包括柜体、传送机、料匣和晶片，所述柜体的顶侧安装有供料带，多个晶片放置在供料带上，传送机设置在柜体上，并位于供料带一侧的上方位置，传送机的底侧设有料匣，料匣两侧内壁上固定安装多组减速组件，当晶片产生反弹时，在多个挡板的作用下，挡板对相对应的齿轮进行限制转动的作用，进而限制多个橡胶滚筒的转动，到达对晶片的减速效果，防止晶片反弹至供料带方向与后序的晶片产生撞击，减少两个晶片撞击造成的损坏，保证了晶片插片工作的正常运行；其次，料匣内设置有橡胶片，对晶片与料匣内壁接触时起到缓冲作用，防止晶片直接与料匣内壁撞击，导致晶片的破损。

3、上述专利产品对晶片进行减速效果，防止晶片反弹至供料带方向与后续的晶片产生撞击，减少了两个晶片撞击造成的损坏，保证了晶片插片工作的正常运行，但上述专利产品中，晶圆经过供料带传输到料匣内，需要将晶圆平摊放置在供料带上进行传输，该步骤由人工完成，而人工作业费时费力，效率低下。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一款晶圆自动插片设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一款晶圆自动插片设备，包括设备主体，所述设备主体内设有工作台，所述工作台中间处设有旋转圆盘，所述旋转圆盘上位于四分方位均设有限位装置，所述限位装置包括限位杆、转轴、横杆、圆形块以及弹簧，所述旋转圆盘上且位于所述旋转圆盘四个方位均设有四个限位杆，所述限位杆远离所述旋转圆盘的顶端一侧设有转轴，所述转轴转动连接有横杆，所述横杆远离所述转轴的一端设有圆形块，所述横杆的底端与所述限位杆顶端远离所述转轴的一侧连接设有弹簧。

4、作为本实用新型优选的方案，所述圆形块与所述横杆连接处呈弧形设置。

5、作为本实用新型优选的方案，每四个所述限位杆围成圆形，所述限位杆底端与所述旋转圆盘固定连接。

6、作为本实用新型优选的方案，所述限位杆的底端设有存放装置，所述存放装置包括旋转圆盘、第一电机、底座、连接杆、丝杆、第二电机、固定杆以及伸缩缸，所述旋转圆盘的底端连接设有底座，所述底座内设有第一电机，所述工作台的底端且位于所述旋转圆盘其中一侧设有固定杆，所述固定杆内设有丝杆，所述丝杆其中一端设有第二电机，所述丝杆靠近所述底座一侧设有连接杆，所述限位杆底端连接设有伸缩缸。

7、作为本实用新型优选的方案，所述伸缩缸执行端贯穿所述旋转圆盘且与所述限位杆底端固定连接，所述伸缩缸远离所述限位杆的一端与所述底座固定连接。

8、作为本实用新型优选的方案，所述旋转圆盘两侧分别设有第一板链线以及第二板链线，所述第一板链线以及所述第二板链线远离所述旋转圆盘的一端连接设有直线导轨，所述限位装置顶端设有电磁吸盘，所述电磁吸盘远离所述限位杆的一侧设有传送带。

9、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：针对上述专利产品中，晶圆经过供料带传输到料匣内，需要将晶圆平摊放置在供料带上进行传输，该步骤由人工完成，而人工作业费时费力，效率低下，本申请采用了安装组件，在工作台上增设旋转圆盘和限位装置，将一摞晶圆放入四个限位杆组成的卡槽中，随着丝杆和电机的带动使旋转圆盘上升便于电磁吸盘吸附最上方的晶圆进行提取传送至传送带上，在电磁吸盘吸取圆盘时，圆形块和横杆会对下面的晶圆抵住，避免晶圆发生倾斜或掉落，实现机器自动化完成插片，提高装置的实用性。

技术特征：

1.一款晶圆自动插片设备，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)内设有工作台(103)，所述工作台(103)中间处设有旋转圆盘(201)，所述旋转圆盘(201)上位于四分方位均设有限位装置(3)，所述限位装置(3)包括限位杆(301)、转轴(302)、横杆(303)、圆形块(304)以及弹簧(305)，所述旋转圆盘(201)上且位于所述旋转圆盘(201)四个方位均设有四个限位杆(301)，所述限位杆(301)远离所述旋转圆盘(201)的顶端一侧设有转轴(302)，所述转轴(302)转动连接有横杆(303)，所述横杆(303)远离所述转轴(302)的一端设有圆形块(304)，所述横杆(303)的底端与所述限位杆(301)顶端远离所述转轴(302)的一侧连接设有弹簧(305)。

2.根据权利要求1所述的一款晶圆自动插片设备，其特征在于：所述圆形块(304)与所述横杆(303)连接处呈弧形设置。

3.根据权利要求1所述的一款晶圆自动插片设备，其特征在于：每四个所述限位杆(301)围成圆形，所述限位杆(301)底端与所述旋转圆盘(201)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一款晶圆自动插片设备，其特征在于：所述限位杆(301)的底端设有存放装置(2)，所述存放装置(2)包括旋转圆盘(201)、第一电机(202)、底座(203)、连接杆(204)、丝杆(205)、第二电机(206)、固定杆(207)以及伸缩缸(208)，所述旋转圆盘(201)的底端连接设有底座(203)，所述底座(203)内设有第一电机(202)，所述工作台(103)的底端且位于所述旋转圆盘(201)其中一侧设有固定杆(207)，所述固定杆(207)内设有丝杆(205)，所述丝杆(205)其中一端设有第二电机(206)，所述丝杆(205)靠近所述底座(203)一侧设有连接杆(204)，所述限位杆(301)底端连接设有伸缩缸(208)。

5.根据权利要求4所述的一款晶圆自动插片设备，其特征在于：所述伸缩缸(208)执行端贯穿所述旋转圆盘(201)且与所述限位杆(301)底端固定连接，所述伸缩缸(208)远离所述限位杆(301)的一端与所述底座(203)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一款晶圆自动插片设备，其特征在于：所述旋转圆盘(201)两侧分别设有第一板链线(101)以及第二板链线(102)，所述第一板链线(101)以及所述第二板链线(102)远离所述旋转圆盘(201)的一端连接设有直线导轨(6)，所述限位装置(3)顶端设有电磁吸盘(4)，所述电磁吸盘(4)远离所述限位杆(301)的一侧设有传送带(5)。

技术总结
本技术涉及晶圆自动插片技术领域，尤其为一款晶圆自动插片设备，包括设备主体，设备主体内设有工作台，工作台中间处设有旋转圆盘，旋转圆盘上且位于旋转圆盘四个方位均设有四个限位杆，限位杆远离旋转圆盘的顶端一侧设有转轴，转轴转动连接有横杆，横杆远离转轴的一端设有圆形块，横杆的底端与限位杆顶端远离转轴的一侧连接设有弹簧，本技术在工作台上增设旋转圆盘和限位装置，将一摞晶圆放入四个限位杆组成的卡槽中，随着丝杆和电机的带动使旋转圆盘上升便于电磁吸盘吸附最上方的晶圆进行提取传送至传送带上，在电磁吸盘吸取圆盘时，圆形块和横杆会对下面的晶圆抵住，避免晶圆发生倾斜或掉落，实现机器自动化完成插片，提高实用性。

技术研发人员：吴为珍,孙涛涛,吴拓,孙昌才
受保护的技术使用者：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司
技术研发日：20230419
技术公布日：2024/1/13