一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构的制作方法

本技术涉及集成电路制造设备，特别涉及一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构。

背景技术：

1、在刻蚀机台中，温度是非常关键的控制参数。由于氦气的化学性质稳定、分子体积小、流动性大，因此氦气的导热性能极强，且几乎不呈现粘滞性。在半导体工艺过程中使用氦气从晶背方向对晶圆进行冷却，使晶圆受热均匀，因此背氦流量对半导体工艺有非常大的影响。

2、如图1所示，型号为lam kiyoex机型的刻蚀机台的背氦系统包括氦气源、手动阀、调压阀、供气阀、电磁阀、隔离阀、静电吸盘、upc(unit pressure controller，背氦流量控制器)和控制板；氦气源输出的氦气依次流过手动阀、调压阀、供气阀、隔离阀和静电吸盘后，吹向晶圆背面，从而对晶圆进行冷却；upc可以实时监测供气阀的气流所对应的电信号，并将电信号传输给控制板；控制板可以实时监测电磁阀的状态信号，并根据预设的工艺参数、upc输送的电信号和电磁阀的状态信号，生成电磁阀控制信号；电磁阀根据电磁阀控制信号控制供气阀和隔离阀的开合状态，进而调节静电吸盘上输出的氦气气流大小。

3、然而，现有的背氦流量控制器和控制板之间通过常规的信号线连接，这样导致背氦流量控制器向控制板传输的电信号容易受到电磁干扰，进而导致背氦流量控制器反馈给控制板的背氦流量值存在异常抖动的现象。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构，以解决信号线中的电信号容易受到电磁干扰的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种信号线，包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；

3、所述第一接头和所述第二接头之间通过所述连接线连接；

4、所述第一接头的外壳包括第一壳体，所述第一壳体由导电材料制成，所述第一壳体围合形成第一环形区域，所述第一环形区域内设置有第一导电部件，所述第一导电部件与所述连接线的一端连接；

5、所述第二接头的外壳包括第二壳体，所述第二壳体围合形成第二环形区域，所述第二环形区域内设置有第二导电部件，所述第二导电部件与所述连接线的另一端连接；

6、所述第一接地线的一端与所述第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。

7、可选的，所述连接线包括多根信号线，所述第一导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的一端与所述多个pin针一一对应连接。

8、可选的，所述第一壳体的外侧设置有第一绝缘层。

9、可选的，所述第二壳体由导电材料制成；所述信号线还包括第二接地线，所述第二接地线的一端与所述第二壳体连接，另一端用于与接地端连接。

10、可选的，所述第二壳体的外侧设置有第二绝缘层。

11、可选的，所述连接线包括多根信号线，所述第二导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的另一端与所述多个pin针一一对应连接。

12、可选的，所述第一接头的外壳上设置有防脱卡扣。

13、可选的，所述第二接头的外壳上设置有防脱卡扣。

14、可选的，所述连接线包括由内向外依次设置的导线、屏蔽层和绝缘层。

15、本实用新型还提供了一种背氦流量控制器的防干扰结构，包括背氦流量控制器、控制板和上述任一项所述的一种信号线，信号线的第一接头与所述控制板连接，信号线的第二接头与所述背氦流量控制器连接。

16、本实用新型提供的一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构，在第一接头的第一外壳上设置有第一接地线，第一接地线可以将第一外壳上电磁干扰产生的干扰信号输送至接地端，从而避免信号线中的电信号受到外部的电磁干扰，防止电信号异常抖动。

技术特征：

1.一种信号线，其特征在于，包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；

2.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述连接线包括多根信号线，所述第一导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的一端与所述多个pin针一一对应连接。

3.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第一壳体的外侧设置有第一绝缘层。

4.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第二壳体由导电材料制成；所述信号线还包括第二接地线，所述第二接地线的一端与所述第二壳体连接，另一端用于与接地端连接。

5.如权利要求4所述的一种信号线，其特征在于，所述第二壳体的外侧设置有第二绝缘层。

6.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述连接线包括多根信号线，所述第二导电部件包括多个pin针，所述多根信号线的另一端与所述多个pin针一一对应连接。

7.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第一接头的外壳上设置有防脱卡扣。

8.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述第二接头的外壳上设置有防脱卡扣。

9.如权利要求1所述的一种信号线，其特征在于，所述连接线包括由内向外依次设置的导线、屏蔽层和绝缘层。

10.一种背氦流量控制器的防干扰结构，其特征在于，包括背氦流量控制器、控制板和权利要求1-9任一项所述的一种信号线，信号线的第一接头与所述控制板连接，信号线的第二接头与所述背氦流量控制器连接。

技术总结
本技术提供了一种信号线和背氦流量控制器的防干扰结构。信号线包括第一接头、第二接头、连接线和第一接地线；第一接头和第二接头之间通过连接线连接；第一接头的外壳包括第一壳体，第一壳体由导电材料制成，第一壳体围合形成第一环形区域，第一环形区域内设置有第一导电部件，第一导电部件与连接线的一端连接；第二接头的外壳包括第二壳体，第二壳体围合形成第二环形区域，第二环形区域内设置有第二导电部件，第二导电部件与连接线的另一端连接；第一接地线的一端与第一壳体连接，另一端用于与接地端连接。第一接地线可以将第一外壳上电磁干扰产生的干扰信号输送至接地端，从而避免信号线中的电信号受到外部的电磁干扰，防止电信号异常抖动。

技术研发人员：冯俊杰,潘无忌,冯翔
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/14