一种硅片清洗花篮的制作方法

本技术涉及硅片花篮，具体为一种硅片清洗花篮。

背景技术：

1、在对现有的硅片清洗花篮进行使用时，其硅片清洗花篮的作用是对用于半导体硅片,晶片,玻璃,液晶屏等的清洗承载，但现有的硅片清洗花篮和硅片晶圆的清洗接触面都是硬接触，具有较强的刚性、强度，清洗不干净且容易损伤晶圆。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种硅片清洗花篮，以解决上述背景技术中提出的现有的硅片清洗花篮和硅片晶圆的清洗接触面都是硬接触，具有较强的刚性、强度，清洗不干净且容易损伤晶圆的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案，一种硅片清洗花篮，包括：

3、花篮本体，包括支撑板，所述支撑板两侧连接有支撑架；

4、支撑板内部插设有软接触结构，包括接触板，所述接触板底端连接有固定板，所述固定板两侧内部连接有支撑弹簧，所述支撑弹簧一端连接有滑块，所述滑块顶端连接有支撑杆，所述支撑杆一侧连接有轴承环，所述轴承环内部插设有螺纹杆。

5、优选的，所述接触板内表面设置有软刷毛或凸点，所述支撑板一侧开设有多组凹槽，所述接触板嵌合于支撑板开设的凹槽内部。

6、优选的，所述固定板两侧表面开设有滑槽，所述支撑弹簧一端连接于固定板开设的滑槽内壁一侧，所述滑块插设于固定板开设的滑槽内部。

7、优选的，所述支撑板两侧开设有螺纹孔，所述螺纹杆一端插设于支撑板开设的螺纹孔内部，所述支撑杆一侧开设有通孔，所述螺纹杆一端穿过支撑杆开设的通孔插设于轴承环内部，所述轴承环内表面设置有螺纹并与螺纹杆表面相啮合。

8、优选的，所述支撑架两侧连接有组装结构，所述组装结构包括有定位块，所述定位块一端内部插设有螺纹桩，所述螺纹桩一端外壁套接有螺纹环，所述螺纹桩外壁活动连接有连接环，所述连接环一侧连接有弹簧杆，所述弹簧杆一端铰接连接有铰接板。

9、优选的，所述支撑板两侧开设有定位槽，所述定位块插设于支撑板开设的定位槽内部，所述定位块一端开设有螺纹槽，所述螺纹桩表面啮合于定位块开设的螺纹槽内壁纹路。

10、优选的，所述螺纹环内壁啮合于螺纹桩表面，所述螺纹桩一端设置有限位块，所述支撑板两侧开设有通槽，所述弹簧杆一端延伸于支撑板开设的通槽外部铰接连接于铰接板。

11、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

12、通过将支撑杆向一侧移动，使其带动滑块挤压支撑弹簧进行收缩，再将固定板表面连接的接触板插设于支撑板开设的凹槽内部，而后放开支撑杆使支撑弹簧支撑滑块进行复位，使螺纹杆一端抵合于支撑板开设的螺纹孔入口表面，而后将螺纹杆向螺纹孔内部推动，使螺纹杆啮合于轴承环内表面纹路进行移动，并使螺纹杆啮合于支撑板开设的螺纹孔内壁移动，从而使螺纹杆一端插设于螺纹孔内部，实现支撑板和固定板的固定，使接触板内表面设置的软毛刷或凸点实现支撑板和硅片之间的软接触作用，避免清洗不干净且容易损伤晶圆的问题。

13、通过将支撑架两端连接的定位块插设于支撑板开设的定位槽内部，而后移动铰接板使弹簧杆于支撑板开设的通槽内部带动其一端连接的连接环带动螺纹桩进行移动，使螺纹桩一端啮合于螺纹环内壁螺纹进行移动，且弹簧杆在移动时沿通槽的长度进行延伸，使螺纹桩另一端转动连接于定位块开设的螺纹槽内部，对定位块的位置进行限制，从而实现支撑板和支撑架之间的组装和拆卸。

技术特征：

1.一种硅片清洗花篮，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述接触板（21）内表面设置有软刷毛或凸点，所述支撑板（11）一侧开设有多组凹槽，所述接触板（21）嵌合于支撑板（11）开设的凹槽内部。

3.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述固定板（22）两侧表面开设有滑槽，所述支撑弹簧（23）一端连接于固定板（22）开设的滑槽内壁一侧，所述滑块（24）插设于固定板（22）开设的滑槽内部。

4.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述支撑板（11）两侧开设有螺纹孔，所述螺纹杆（27）一端插设于支撑板（11）开设的螺纹孔内部，所述支撑杆（25）一侧开设有通孔，所述螺纹杆（27）一端穿过支撑杆（25）开设的通孔插设于轴承环（26）内部，所述轴承环（26）内表面设置有螺纹并与螺纹杆（27）表面相啮合。

5.根据权利要求1所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述支撑架（12）两侧连接有组装结构（3），所述组装结构（3）包括有定位块（31），所述定位块（31）一端内部插设有螺纹桩（32），所述螺纹桩（32）一端外壁套接有螺纹环（33），所述螺纹桩（32）外壁活动连接有连接环（34），所述连接环（34）一侧连接有弹簧杆（35），所述弹簧杆（35）一端铰接连接有铰接板（36）。

6.根据权利要求5所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述支撑板（11）两侧开设有定位槽，所述定位块（31）插设于支撑板（11）开设的定位槽内部，所述定位块（31）一端开设有螺纹槽，所述螺纹桩（32）表面啮合于定位块（31）开设的螺纹槽内壁纹路。

7.根据权利要求5所述的一种硅片清洗花篮，其特征在于：所述螺纹环（33）内壁啮合于螺纹桩（32）表面，所述螺纹桩（32）一端设置有限位块，所述支撑板（11）两侧开设有通槽，所述弹簧杆（35）一端延伸于支撑板（11）开设的通槽外部铰接连接于铰接板（36）。

技术总结
本技术涉及硅片花篮技术领域，具体为一种硅片清洗花篮，包括：花篮本体，包括支撑板，所述支撑板两侧连接有支撑架；支撑板内部插设有软接触结构，包括接触板，所述接触板底端连接有固定板。本技术经将支撑杆向一侧移动，使其带动滑块挤压支撑弹簧进行收缩，再将固定板表面连接的接触板插设于支撑板开设的凹槽内部，而后放开支撑杆使支撑弹簧支撑滑块进行复位，使螺纹杆啮合于轴承环内表面纹路进行移动，并使螺纹杆啮合于支撑板开设的螺纹孔内壁移动，从而使螺纹杆一端插设于螺纹孔内部，实现支撑板和固定板的固定，使接触板内表面设置的软毛刷或凸点实现支撑板和硅片之间的软接触作用，避免清洗不干净且容易损伤晶圆的问题。

技术研发人员：罗先刚,崔鸽,陈开鑫
受保护的技术使用者：天府兴隆湖实验室
技术研发日：20230629
技术公布日：2024/1/15