一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备的制作方法

本技术涉及晶片制绒清洗，尤其是涉及一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备。

背景技术：

1、清洗和制绒是硅晶片制作的重要步骤之一,硅片化学清洗的主要目的是除去硅片表面杂质(如某些有机物,无机盐,金属、si、sio2粉尘等)。常用的化学清洗剂有高纯水、有机溶剂、双氧水、浓酸、强碱等。其中去除硅的氧化物,通常用一定浓度的hf溶液,室温条件下将硅片浸泡1至数分钟。制绒是在硅片表面形成金字塔形的绒面,增加硅对太阳光的吸收。单晶制绒通常用naoh、na2sio3等混合溶液在75～90℃反应25～35min,效果良好，在对晶片进行制绒清洗时，需要使用专门的设备。

2、现有的制绒清洗设备在同步进行多道工序上存在局限性，工作效率有待提高。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是提供一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备能同步进行多道工序加工，工作效率高。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

3、一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，包括第一皮带输送机、清洗槽、第一风干槽、制绒槽、第二风干槽、第二皮带输送机，所述第一皮带输送机、清洗槽、第一风干槽、制绒槽、第二风干槽、第二皮带输送机依次并排分布，所述第一皮带输送机和第二皮带输送机的一侧分别设置有两根支撑立柱，对应位置处的两根支撑立柱上端固定安装有第一移动模组，两个所述第一移动模组的移动块之间固定安装有第二移动模组，所述第二移动模组的内侧滑动连接有多个移动块，且每个移动块的安装位上均固定安装有一根液压杆，所述液压杆的伸缩端固定安装有抓取机构。

4、通过采用上述技术方案，可以进行流水式作业，实现多动加工工序同步进行的效果，提高晶片的清洗和制绒效率。

5、进一步地，所述清洗槽、第一风干槽、制绒槽、第二风干槽的对称内壁上均固定安装有多根承托杆，所述制绒槽的对称内壁上固定安装有电阻加热管。

6、通过采用上述技术方案，能对待加工的晶片进行稳定有效的承托。

7、进一步地，所述抓取机构包含有安装板，所述有一根液压杆的伸缩端固定连接在安装板上表面的中间位置处，所述安装板下表面的对称两端位置处分别固定安装有一个夹持气缸。

8、通过采用上述技术方案，可以利用夹持气缸的收缩来进行夹持运动，实现稳定的夹持操作。

9、进一步地，所述夹持气缸的伸缩端固定连接有夹持杆。

10、通过采用上述技术方案，确保夹持固定操作能稳定有效的进行。

11、进一步地，所述第一风干槽与第二风干槽的内部结构一致，所述第一风干槽的对称内壁上分别固定安装有两根喷气管，同一侧的两根所述喷气管分布在承托杆的两侧位置处，所述第一风干槽的端面上固定安装有两个高压气泵，所述高压气泵的进气端口处固定安装有过滤筒，所述高压气泵的出气端口处固定安装有导气管，所述导气管的出气端与喷气管内部相通。

12、通过采用上述技术方案，可以利用高压气泵产生的高压气体来对晶片进行风干操作。

13、进一步地，所述清洗槽和第一风干槽以及制绒槽和第二风干槽的内部底端均通过一根回液管连通，所述回液管的管路中固定安装有单向阀和输送泵。

14、通过采用上述技术方案，可以将回收的溶液重新输送至指定的位置处。

15、本实用新型可以利用第一皮带输送机将待处理对的晶片移动至指定位置处，然后利用抓取机构将待处理的晶片移动至清洗槽中，利用清洗槽中的清洗溶液对晶片进行浸泡清洁，清洁完毕后，利用抓取机构将清洁完毕的晶片抓入第一风干槽内，与此同时，第一皮带输送机上输送的另一个晶片被转入清洗槽中，接着利用第一风干槽内部的气体来对清洁完毕的晶片进行表面风干操作，风干完毕后，再利用抓取机构将风干完毕的晶片抓入制绒槽的内部，同时清洗槽中的晶片转入第一风干槽内，接着利用制绒槽内部的溶液对晶片进行浸泡并制绒，制绒完毕后，再利用抓取机构将制绒槽内部的晶片转入第二风干槽中，同时第一风干槽中的晶片转入制绒槽中，接着利用第二风干槽内部的高压气体对晶片表面进行风干处理，风干完毕后，利用抓取机构将清洁和制绒完毕的晶片放置在第二皮带输送机上进行下料输送操作，同时将制绒槽内部的晶片转入第二风干槽的内部，整个操作过程中，能利用多个抓取机构进行流水式作业，且能同步进行多道工序的加工操作，有效的提高了晶片的清洁制绒效率，实用性得到了有效提高。

技术特征：

1.一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，包括第一皮带输送机(1)、清洗槽(2)、第一风干槽(3)、制绒槽(4)、第二风干槽(5)、第二皮带输送机(6)，其特征在于：所述第一皮带输送机(1)、清洗槽(2)、第一风干槽(3)、制绒槽(4)、第二风干槽(5)、第二皮带输送机(6)依次并排分布，所述第一皮带输送机(1)和第二皮带输送机(6)的一侧分别设置有两根支撑立柱(7)，对应位置处的两根支撑立柱(7)上端固定安装有第一移动模组(8)，两个所述第一移动模组(8)的移动块之间固定安装有第二移动模组(9)，所述第二移动模组(9)的内侧滑动连接有多个移动块，且每个移动块的安装位上均固定安装有一根液压杆(11)，所述液压杆(11)的伸缩端固定安装有抓取机构(20)。

2.根据权利要求1所述的一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其特征在于：所述清洗槽(2)、第一风干槽(3)、制绒槽(4)、第二风干槽(5)的对称内壁上均固定安装有多根承托杆(15)，所述制绒槽(4)的对称内壁上固定安装有电阻加热管。

3.根据权利要求1所述的一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其特征在于：所述抓取机构(20)包含有安装板(12)，所述有一根液压杆(11)的伸缩端固定连接在安装板(12)上表面的中间位置处，所述安装板(12)下表面的对称两端位置处分别固定安装有一个夹持气缸(13)。

4.根据权利要求3所述的一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其特征在于：所述夹持气缸(13)的伸缩端固定连接有夹持杆(14)。

5.根据权利要求2所述的一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其特征在于：所述第一风干槽(3)与第二风干槽(5)的内部结构一致，所述第一风干槽(3)的对称内壁上分别固定安装有两根喷气管(19)，同一侧的两根所述喷气管(19)分布在承托杆(15)的两侧位置处，所述第一风干槽(3)的端面上固定安装有两个高压气泵(16)，所述高压气泵(16)的进气端口处固定安装有过滤筒(18)，所述高压气泵(16)的出气端口处固定安装有导气管(17)，所述导气管(17)的出气端与喷气管(19)内部相通。

6.根据权利要求1所述的一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其特征在于：所述清洗槽(2)和第一风干槽(3)以及制绒槽(4)和第二风干槽(5)的内部底端均通过一根回液管(21)连通，所述回液管(21)的管路中固定安装有单向阀和输送泵(22)。

技术总结
本技术公开了一种充分清洁的晶片制绒清洗一体化设备，其涉及晶片制绒清洗技术领域，旨在解决现有的制绒清洗设备在同步进行多道工序上存在局限性，工作效率有待提高的问题，其技术方案要点包括第一皮带输送机、清洗槽、第一风干槽、制绒槽、第二风干槽、第二皮带输送机，所述第一皮带输送机、清洗槽、第一风干槽、制绒槽、第二风干槽、第二皮带输送机依次并排分布，所述第一皮带输送机和第二皮带输送机的一侧分别设置有两根支撑立柱，对应位置处的两根支撑立柱上端固定安装有第一移动模组，两个所述第一移动模组的移动块之间固定安装有第二移动模组。达到了能同步进行多道工序加工，工作效率高的效果。

技术研发人员：叶小健,魏安求
受保护的技术使用者：扬州棒杰新能源科技有限公司
技术研发日：20230706
技术公布日：2024/1/15