整理装置及处理设备的制作方法

本技术涉及半导体加工，特别是涉及一种整理装置及处理设备。

背景技术：

1、现有的电池片通过干花篮上料的过程中，由于花篮中没有底齿，电池片的方向不一致，从而产生错齿，进而使得顶齿在顶升电池片的过程中容易顶到电池片表面，导致电池片表面划伤甚至顶碎电池片。

技术实现思路

1、基于此，有必要针对现有的花篮中的电池容易发生错齿导致顶齿顶到电池片表面的问题，提供一种避免电池片发生错齿，从而避免顶齿划伤或顶碎电池片的整理装置及处理设备。

2、一种整理装置，包括：

3、承载件，用于承载基片；

4、整理组件，包括安装板及设置于所述安装板的定位齿条、第一驱动件和定位板，所述安装板用于承载所述承载件，所述定位齿条沿第一方向延伸，用于承载所述承载件中的基片，所述第一驱动件和所述定位板沿所述第一方向间隔排布，且所述第一驱动件能够推动所述安装板上的所述承载件沿所述第一方向朝所述定位板移动，以使所述承载件抵接于所述定位板。

5、采用上述的整理装置，先承载有基片的承载件承载于安装板上，花篮中的基片承载于定位齿条上，然后第一驱动件推动承载件朝定位板移动并抵接于定位板，实现对承载件定位。同时也使得承载件和定位齿条配合对承载件中的基片进行定位，使得所有的基片相互平行，有效地避免基片的方向不一致，避免产生错齿导致顶齿划伤基片甚至顶碎基片。

6、在其中一个实施例中，所述整理装置还包括旋转输送机构，所述旋转输送机构与所述承载件可拆卸地连接，用于驱动所述承载件绕转动轴线转动，以对所述承载件中的基片进行预整理，所述旋转输送机构还能够将所述承载件输送至所述安装板。

7、在其中一个实施例中，所述整理组件还包括第二驱动件，所述第二驱动件设置于所述安装板，且所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向间隔排布，所述第二驱动件能够推动所述承载件沿所述第一方向朝所述第一驱动件移动。

8、在其中一个实施例中，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为气缸。

9、在其中一个实施例中，所述定位齿条的承载高度比所述安装板上所述承载件的承载高度至少高5mm。

10、在其中一个实施例中，所述安装板设有所述定位齿条的一侧还开设有避位孔，所述避位孔贯穿所述承载件，且沿所述第一方向延伸。

11、在其中一个实施例中，所述安装板开设有两个所述避位孔，两个所述避位孔位于所述定位齿条的两侧。

12、在其中一个实施例中，所述承载件包括两块端板、两块侧板及支撑杆，两块所述端板及两块所述侧板交替首尾相连，且两块所述端板相互平行，两块所述侧板相互平行，以围合形成容纳基片的承载空间，所述支撑杆连接于两块所述端板之间，用于支撑所述承载空间中的基片。

13、在其中一个实施例中，两块所述侧板相向的一侧均开设有导向齿。

14、一种处理设备，包括输送装置及上述的整理装置，所述输送装置用于输送所述整理装置。

技术特征：

1.一种整理装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述整理装置还包括旋转输送机构，所述旋转输送机构与所述承载件可拆卸地连接，用于驱动所述承载件绕转动轴线转动，以对所述承载件中的基片进行预整理，所述旋转输送机构还能够将所述承载件输送至所述安装板。

3.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述整理组件还包括第二驱动件，所述第二驱动件设置于所述安装板，且所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向间隔排布，所述第二驱动件能够推动所述承载件沿所述第一方向朝所述第一驱动件移动。

4.根据权利要求3所述的整理装置，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为气缸。

5.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述定位齿条的承载高度比所述安装板上所述承载件的承载高度至少高5mm。

6.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述安装板设有所述定位齿条的一侧还开设有避位孔，所述避位孔贯穿所述承载件，且沿所述第一方向延伸。

7.根据权利要求6所述的整理装置，其特征在于，所述安装板开设有两个所述避位孔，两个所述避位孔位于所述定位齿条的两侧。

8.根据权利要求1-7任一项所述的整理装置，其特征在于，所述承载件包括两块端板、两块侧板及支撑杆，两块所述端板及两块所述侧板交替首尾相连，且两块所述端板相互平行，两块所述侧板相互平行，以围合形成容纳基片的承载空间，所述支撑杆连接于两块所述端板之间，用于支撑所述承载空间中的基片。

9.根据权利要求8所述的整理装置，其特征在于，两块所述侧板相向的一侧均开设有导向齿。

10.一种处理设备，其特征在于，包括输送装置及权利要求1-9任一项所述的整理装置，所述输送装置用于输送所述整理装置。

技术总结
本申请涉及一种整理装置，包括承载件及整理组件，承载件用于承载基片；整理组件包括安装板及设置于所述安装板的定位齿条、第一驱动件和定位板。采用上述的整理装置，先承载有基片的承载件承载于安装板上，花篮中的基片承载于定位齿条上，然后第一驱动件推动承载件朝定位板移动并抵接于定位板，实现对承载件定位。同时也使得承载件和定位齿条配合对承载件中的基片进行定位，使得所有的基片相互平行，有效地避免基片的方向不一致，避免产生错齿导致顶齿划伤基片甚至顶碎基片。本申请还涉及一种处理设备。

技术研发人员：严大,唐乐
受保护的技术使用者：江苏微导纳米科技股份有限公司
技术研发日：20230710
技术公布日：2024/1/15