一种硅片侧边检测装置的制作方法

本技术属于硅片检测，具体地说，涉及一种硅片侧边检测装置。

背景技术：

1、硅片主要应用于计算机领域，为了增加精度，延长硅片使用寿命，在硅片生产过程中，需要对硅片进行检测。

2、传统的硅片侧边检测是通过设置在硅片输送线两侧的侧边检测机构实现，该侧边检测机构用于检测硅片上平行于硅片输送线的两个侧边是否存在缺陷；在完成硅片的两条侧边的缺陷检测后，利用旋转机构将硅片旋转90°再检测剩余的两条侧边；然而，旋转机构的设置增加了硅片输送线的长度以及硅片四个侧边的检测工位，使得传统的硅片侧边检测装置占用了较大的空间

3、有鉴于此特提出本实用新型。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型采用技术方案的基本构思是：

2、一种硅片侧边检测装置,包括传送带，所述传送带设置有两条，且横向并列排列，所述传送带上开设有第一滑槽，且第一滑槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端固定连接有连接柱，且连接柱的顶部转动连接有卡块，位于两个所述传送带上的卡块呈对角位置排列，且两个卡块之间设置有硅片，所述硅片的对角位置与两个卡块相接触。

3、作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一滑槽的滑动方向与传送带的运转方向相互垂直，且第一滑槽内部两侧开设有第二滑槽，所述连接柱的直径大小与第一滑槽的宽度大小相适配，且连接柱的两侧固定连接有滑块，所述滑块的截面形状与大小均与第二滑槽相适配，且滑块通过第二滑槽与传送带滑动连接。

4、作为本实用新型的一种优选实施方式，所述弹簧远离卡块的一端固定连接在第一滑槽的一端，且弹簧始终处于压缩状态，所述弹簧的顶部与传送带的顶部相齐平，所述卡块的截面形状呈l型，且卡块的底部与传送带表面相齐平。

5、作为本实用新型的一种优选实施方式，两个所述传送带的两端分别啮合连接有第一辊轮和第二辊轮，且两侧的第一辊轮和第二辊轮之间转动连接有同一个第二固定板，两个所述第一辊轮和第二辊轮相互远离的一端均转动连接有第一固定板。

6、作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一固定板的靠近第一辊轮的一侧固定连接有电机，且电机的轴端固定连接有蜗杆，所述第一辊轮靠近电机的一端固定连接有连接轴。

7、作为本实用新型的一种优选实施方式，所述连接轴的一端贯穿第一固定板并延伸至外侧，所述连接轴位于第一固定板外侧一端固定连接有蜗轮，且蜗轮的底部啮合连接在蜗杆的顶部。

8、作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第一固定板的顶部固定连接有固定块，且固定块靠近传送带一端固定连接有电动滑轨，所述电动滑轨远离固定块一侧滑动连接有检测仪，且检测仪的底部位于传送带的顶部，所述电动滑轨的长度大于硅片的长度。

9、本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：

10、本实用新型通过设置两条传送带同向转动实现对硅片的运输，通过调整传送带方向使两个传送带方向相反，实现对硅片的旋转，便于检测仪对硅片的四边位置都能进行检测，无需额外安装旋转机构，大幅节约检测设备整体的空间。

11、下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。

技术特征：

1.一种硅片侧边检测装置，其特征在于，包括传送带(5)，所述传送带(5)设置有两条，且横向并列排列，所述传送带(5)上开设有第一滑槽(18)，且第一滑槽(18)的内部设置有弹簧(17)，所述弹簧(17)的一端固定连接有连接柱(15)，且连接柱(15)的顶部转动连接有卡块(14)，位于两个所述传送带(5)上的卡块(14)呈对角位置排列，且两个卡块(14)之间设置有硅片(13)，所述硅片(13)的对角位置与两个卡块(14)相接触。

2.根据权利要求1所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一滑槽(18)的滑动方向与传送带(5)的运转方向相互垂直，且第一滑槽(18)内部两侧开设有第二滑槽(19)，所述连接柱(15)的直径大小与第一滑槽(18)的宽度大小相适配，且连接柱(15)的两侧固定连接有滑块(16)，所述滑块(16)的截面形状与大小均与第二滑槽(19)相适配，且滑块(16)通过第二滑槽(19)与传送带(5)滑动连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述弹簧(17)远离卡块(14)的一端固定连接在第一滑槽(18)的一端，且弹簧(17)始终处于压缩状态，所述弹簧(17)的顶部与传送带(5)的顶部相齐平，所述卡块(14)的截面形状呈l型，且卡块(14)的底部与传送带(5)表面相齐平。

4.根据权利要求1所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，两个所述传送带(5)的两端分别啮合连接有第一辊轮(7)和第二辊轮(9)，且两侧的第一辊轮(7)和第二辊轮(9)之间转动连接有同一个第二固定板(6)，两个所述第一辊轮(7)和第二辊轮(9)相互远离的一端均转动连接有第一固定板(1)。

5.根据权利要求4所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一固定板(1)的靠近第一辊轮(7)的一侧固定连接有电机(2)，且电机(2)的轴端固定连接有蜗杆(3)，所述第一辊轮(7)靠近电机(2)的一端固定连接有连接轴(8)。

6.根据权利要求5所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述连接轴(8)的一端贯穿第一固定板(1)并延伸至外侧，所述连接轴(8)位于第一固定板(1)外侧一端固定连接有蜗轮(4)，且蜗轮(4)的底部啮合连接在蜗杆(3)的顶部。

7.根据权利要求4所述的一种硅片侧边检测装置，其特征在于，所述第一固定板(1)的顶部固定连接有固定块(10)，且固定块(10)靠近传送带(5)一端固定连接有电动滑轨(11)，所述电动滑轨(11)远离固定块(10)一侧滑动连接有检测仪(12)，且检测仪(12)的底部位于传送带(5)的顶部，所述电动滑轨(11)的长度大于硅片(13)的长度。

技术总结
本技术涉及硅片检测技术领域，公开了一种硅片侧边检测装置，包括传送带，所述传送带设置有两条，且横向并列排列，所述传送带上开设有第一滑槽，且第一滑槽的内部设置有弹簧，所述弹簧的一端固定连接有连接柱，且连接柱的顶部转动连接有卡块，位于两个所述传送带上的卡块呈对角位置排列，且两个卡块之间设置有硅片，所述硅片的对角位置与两个卡块相接触。本技术通过设置两条传送带同向转动实现对硅片的运输，通过调整传送带方向使两个传送带方向相反，实现对硅片的旋转，便于检测仪对硅片的四边位置都能进行检测，无需额外安装旋转机构，大幅节约检测设备整体的空间。

技术研发人员：胡情华,刘芳亮,唐文璇
受保护的技术使用者：南京京胜科技有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/1/15