一种晶圆的储运系统的制作方法

本技术属于半导体，特别涉及一种晶圆的储运系统。

背景技术：

1、在晶圆代工(foundry，fab)厂中，若将晶圆进行移动或存放时，会将晶圆置放在晶圆传送盒(front open unified pod，foup)中进行移动或存放以避免被杂质污染。当不需要使用这些晶圆时，晶圆传送盒会被存放在特定的存储区中以待下次的使用。但随着晶圆产能的不断攀升，因为存储区的空间和位置限定以及存储区内的存储装置的制造成本高，导致存储区无法增加晶圆传送盒的储位，无法满足不断攀升的晶圆产能的存储需求。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶圆的储运系统，通过本实用新型提供的晶圆的储运系统，满足了高产能的晶圆的存储需求和节约了存储装置的制造成本。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型提供一种晶圆的储运系统，其至少包括：

4、运输轨道；

5、悬挂储位架，所述悬挂储位架设置在所述运输轨道两侧；以及

6、储位桥架，悬挂设置在所述运输轨道下方，且所述储位桥架固定于所述运输轨道两侧的悬挂储位架，所述储位桥架和所述悬挂储位架用于安置盛放所述晶圆的晶圆传送盒。

7、在本实用新型一实施例中，所述悬挂储位架包括悬挂固定架，且所述悬挂储位架通过所述悬挂固定架固定安装在洁净室的屋顶上。

8、在本实用新型一实施例中，所述悬挂储位架还包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架设置所述悬挂固定架上。

9、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架的两端与所述运输轨道两侧的所述悬挂支撑架的一侧固定连接。

10、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架包括多个连接立杆，多个所述连接立杆的一端与所述运输轨道两侧的所述悬挂储位架固定连接。

11、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括至少两个限位横杆，每个所述限位横杆的一侧与至少两个所述连接立杆的一侧连接，且所述连接立杆靠近所述限位横杆的两端设置。

12、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括第一限位纵杆和第二限位纵杆，所述第一限位纵杆以及所述第二限位纵杆的两端与两个所述限位横杆的另一侧固定连接。

13、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括第一支撑横杆和第二支撑横杆，所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的两端与多个连接立杆的另一端固定连接，且所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆设置在远离所述悬挂储位架的一端。

14、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括支撑架，所述支撑架的两端与所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的一侧固定连接，且所述支撑架设置在靠近所述第一限位横杆和所述第二限位横杆的一侧。

15、在本实用新型一实施例中，所述储位桥架还包括多个储位板，多个所述储位板设置在所述支撑架上。

16、本实用新型提供的一种晶圆的储运系统，通过将多个储位桥架固定连接在运输轨道两侧的悬挂储位架上，使得储运系统增加了多个foup储位，节约了多台悬挂储位架的建置，节约了大量建置成本。并且增加的多个foup储位满足了高产能的晶圆的存储需求，并减少了储运系统在洁净室内的占用空间。而且储位桥架在后期不需要任何的运行和维护费用，进一步节约了晶圆的储运系统的制造成本。并且通过晶圆的储运系统，提高了晶圆的生产和加工效率。

17、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种晶圆的储运系统，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述悬挂储位架包括悬挂固定架，且所述悬挂储位架通过所述悬挂固定架固定安装在洁净室的屋顶上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述悬挂储位架还包括悬挂支撑架，所述悬挂支撑架设置所述悬挂固定架上。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架的两端与所述运输轨道两侧的所述悬挂支撑架的一侧固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架包括多个连接立杆，多个所述连接立杆的一端与所述运输轨道两侧的所述悬挂储位架固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括至少两个限位横杆，两个所述限位横杆为第一限位横杆与第二限位横杆，每个所述限位横杆的一侧与至少两个所述连接立杆的一侧连接，且所述连接立杆靠近所述限位横杆的两端设置。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括第一限位纵杆和第二限位纵杆，所述第一限位纵杆以及所述第二限位纵杆的两端与两个所述限位横杆的另一侧固定连接。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括第一支撑横杆和第二支撑横杆，所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的两端与多个连接立杆的另一端固定连接，且所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆设置在远离所述悬挂储位架的一端。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括支撑架，所述支撑架的两端与所述第一支撑横杆和所述第二支撑横杆的一侧固定连接，且所述支撑架设置在靠近所述第一限位横杆和所述第二限位横杆的一侧。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆的储运系统，其特征在于，所述储位桥架还包括多个储位板，多个所述储位板设置在所述支撑架上。

技术总结
本技术公开了一种晶圆的储运系统，属于半导体技术领域。所述晶圆的储运系统包括：运输轨道；悬挂储位架，所述悬挂储位架设置在所述运输轨道两侧；以及储位桥架，悬挂设置在所述运输轨道下方，且所述储位桥架固定于所述运输轨道两侧的悬挂储位架，所述储位桥架和所述悬挂储位架用于安置盛放所述晶圆的晶圆传送盒。通过本技术提供的一种晶圆的储运系统，满足了高产能的晶圆的存储需求和节约了存储装置的制造成本。

技术研发人员：鲁传润,范圣罗
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：20230714
技术公布日：2024/3/4