一种激光定位治具的制作方法

本技术涉及晶圆传输，特别是涉及一种激光定位治具。

背景技术：

1、为了提高晶圆的运输效率，目前在运送12寸的晶圆时都会采用天车系统搬运前开式晶圆传送盒(foup)，由于天车运行要求精确度较高，当机台装载成功之后，与机台有关的各种气管、水管、排放管道以及电路等一但定位，再次进行调整就需要花费昂贵的费用。

2、一般对晶圆进行装机定位会根据预定标线(layout bay line floor mark)作业，机台移动至晶圆处，首先要对设备前端模组(efem)上的机台装载端口(load port)进行定位，机台装载端口的定位要严格控制其所处的位置范围。

3、现有的机台装载端口的定位治具各有利弊，常见的定位治具主要有以下几种：如图1所示，为定位治具的一种结构示意图，包括efem设备前端模块01、机台装载端口011、定位治具02、治具板021、第一凸出部022、第二凸出部023、第三凸出部024，如图2所示，为定位治具的另一种结构示意图，包括efem设备前端模块01、机台装载端口011、定位治具02、治具板021、第一凸出部022、第二凸出部023，其中沿背离x轴方向凸出的第一凸出部和沿x轴方向凸出的第二凸出部超出机台装载端口的边缘，未设置沿背离y轴方向凸出的第三凸出部(如图2所示)或沿背离y轴方向凸出的第三凸出部未超出机台装载端口的边缘(如图1所示)，无法实现对机台装载端口的沿x轴方向的定位；如图3及图4所示，分别为定位治具的第三种结构示意图以及定位治具的第四种结构示意图，包括efem设备前端模块01、机台装载端口011、定位治具02、治具板021、第三凸出部024，仅设置有沿背离y轴方向凸出的第三凸出部，无法实现对机台装载端口的沿y轴方向的位置的定位，图1至图4的定位治具的结构都比较简单，且都仅能确认机台装载端口是否处于水平状态，不能同时确认机台装载端口的沿x轴方向与沿y轴方向的位置；如图5所示，为定位治具的第五种结构示意图，包括efem设备前端模块01、机台装载端口011、定位治具02、治具板021、第一凸出部022、第二凸出部023、第三凸出部024，该类别的定位治具上设有x/y轴线刻度标记，但其物理尺寸偏小，定位治具的尺寸小于机台装载端口的尺寸，机台间距不够则无法定位，只能靠远距离的激光(laser)进行确认；还有一类定位治具相对于前两类定位治具，带有可定位机台装载端口的高度限位刻度，但是需要用尺子去对刻度进行测量，手动测量会导致较大的误差，无法同时对机台装载端口的水平状态、所处位置以及高度进行精确定位。

4、鉴于此，急需一种能够兼具精确测定机台装载端口水平的水平状态、沿x轴方向与沿y轴方向的位置以及高度的激光定位治具。

技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点，本实施例的目的在于提供一种激光定位工具，用于解决现有技术中激光定位治具无法同时对机台装载端口的水平状态、沿x轴方向与沿y轴方向的位置以及高度进行精确测定的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种激光定位治具，包括：

3、定位治具主体，设置于机台装载端口上，所述定位治具主体包括治具板、沿背离x轴方向凸出于所述治具板的第一凸出部、沿x轴方向凸出于所述治具板的第二凸出部、沿y轴方向凸出于所述治具板的第三凸出部，所述第一凸出部的顶端凸出于所述机台装载端口的边缘并与所述机台装载端口边缘间隔预设距离，所述第二凸出部的顶端凸出于所述机台装载端口的边缘并与所述机台装载端口边缘间隔预设距离，所述第三凸出部的顶端凸出于所述机台装载端口的边缘并与所述机台装载端口边缘间隔预设距离，x轴与y轴相互垂直；

4、第一激光发射仪，位于所述第一凸出部的顶端；

5、第二激光发射仪，位于所述第二凸出部的顶端；

6、限高激光测距仪，位于所述第三凸出部的顶端。

7、可选地，所述第一凸出部、所述第二凸出部或/和所述第三凸出部与所述治具板一体成型或固定连接。

8、可选地，所述第一凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离的范围为3cm～10cm；所述第二凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离的范围为3cm～10cm；所述第三凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离的范围为3cm～10cm。

9、可选地，所述第一凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离和所述第二凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离、所述第三凸出部的顶端与所述机台装载端口边缘的间隔预设距离均相同。

10、可选地，所述定位治具主体上还设置有第一治具线与第二治具线，所述第一治具线与所述第二治具线互相垂直。

11、可选地，所述第一治具线与所述第二治具线的交叉点与所述机台装载端口的中心点重合。

12、可选地，所述第一激光发射仪沿背离x轴方向的光路的反向延伸线与所述第一治具线重合；所述第二激光发射仪沿x轴方向的光路的反向延伸线与所述第一治具线重合；所述限高激光测距仪的沿y轴方向的光路与沿z轴方向的光路相互垂直，且沿y轴方向的光路的反向延伸线与所述第二治具线重合，z轴、x轴、y轴相互垂直。

13、可选地，所述治具板的尺寸不大于所述机台装载端口的尺寸。

14、可选地，所述限高激光测距仪上设置有报警装置；所述报警装置预设有范围报警的测量值。

15、可选地，所述报警装置中预设的超范围报警的设定高度值为90cm。

16、如上所述，本实用新型的激光定位治具，具有以下有益效果：通过于所述定位治具主体上设置互相垂直的所述第一治具线与所述第二治具线，所述第一治具线与所述第二治具线的交叉点与所述机台装载端口的中心点相对应，使所述定位治具主体放置于所述机台装载端口的中心位置，所述治具板上设置沿背离x轴方向凸出的所述第一凸出部、沿x轴方向凸出的所述第二凸出部、沿y轴方向凸出的所述第三凸出部，所述第一凸出部、所述第二凸出部、所述第三凸出部的顶端均凸出于所述机台装载端口的边缘并与所述机台装载端口的边缘间隔预设距离，于所述第一凸出部顶端设置所述第一激光发射仪，于所述第二凸出部顶端设置所述第二激光发射仪，所述第一激光发射仪沿背离x轴方向的光路与所述第二激光发射仪沿x轴方向的光路与设置于所述设备前端模组外部地面上的所述第一预定标线相平行对应，实现了对所述机台装载端口在y轴方向上的位置的定位，于所述第三凸出部顶端设置所述限高激光测距仪，所述限高激光测距仪沿y轴方向的光路与设置于地面上的所述第二预定标线相平行对应，实现了对所述机台装载端口的水平状态以及在x轴方向上的位置的定位，所述限高激光测距仪沿z轴方向的光路与所述限高激光测距仪上设置的所述报警装置共同作用，对所述机台装载端口与地平面之间的高度范围也进行了精确测定，避免了手动测量造成较大的误差，即所述激光定位治具实现了同时对机台装载端口的水平状态、在x轴方向和y轴方向的位置以及高度的精确测定，提升了对所述机台装载端口的定位速度和定位精准度，避免了定位不精确导致二次装机从而产生额外的费用，保证了晶圆的精确运输，具有高度产业利用价值。