一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具的制作方法

本技术属于晶圆片载具，具体地说，涉及一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具。

背景技术：

1、晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，随着集成电路芯片的广泛应用，晶圆的重要性也逐渐体现出来。在晶圆的加工过程中，需要用到晶圆匣对其进行运输和保管，但是在运输和搬运的过程中，需要将晶圆匣放置在治具上将其中一个晶圆匣中的晶圆推送到另外一个晶圆匣中。

2、经检索，现有技术，专利申请号：202023261420.5公开了—种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，使用时，预先检测单片晶圆推力，在所述晶圆匣内的晶圆插槽中放置一片需要推送的同型号的晶圆，所述推送部开始推动该片晶圆移动，推送面上的压力传感器对应该片晶圆，在推动晶圆移动时，晶圆产生反推力到压力传感器上，使得压力传感器检测到一片晶圆移动的反推力信号值，并将该信号值反馈到所述控制器，测得单片晶圆的推力值；再扫描晶圆匣中晶圆数量，所述检测杆件对应所述晶圆匣入口，自所述晶圆匣的最上端向下移动，通过检测传感器在随着所述检测杆件移动的过程中，扫描并测得晶圆匣中晶圆，当所述检测传感器每检测到一片晶圆时，将检测信息反馈到所述控制器，所述控制器得到所述晶圆匣中晶圆的数量值；检测杆件上的检测传感器为位于所述检测杆件两端的对射传感器，所述检测杆件为伸缩杆，并在扫描晶圆匣中晶圆数量过程中，扫描检测组件上的驱动单元驱动传送带传动，使得固定在传送带上的滑动件沿着导轨向下移动，滑动件在移动的过程中，滑动连接在滑动件上端的检测杆件也同步移动，由于检测杆件的两侧位于两个立板的导向槽内﹐且导向槽的第一部导向槽斜向下设置，检测杆件通过滑块沿x轴方向滑动连接在滑动件的上端，滑动件在向下移动时，检测杆件沿第一部导向槽移动，进而使得检测杆件向沿x轴方向伸出，进而向晶圆匣内伸入，从而使得扫描检测组件在扫描晶圆匣中晶圆数量过程中，将所述检测杆件上的对射传感器位于所述晶圆匣中晶圆的两侧，滑动件继续向下移动，检测杆件沿着导向槽移动至第二部导向槽垂直向下移动，使得伸出后的检测杆件垂直向下移动，通过检测杆件两端的对射传感器位于晶圆匣中晶圆的两侧，对圆匣中晶圆进行自上而下进行检测，当检测到有晶圆时，将检测信息反馈到控制器，直至检测杆件移动到晶圆匣最低处，完成检测，控制器算得晶圆匣中晶圆的数量，同时，在扫描过程中，当检测到晶圆插斜时，对射传感器将信息反馈到控制器，控制器发出报警信息，并控制驱动单元停止运行，避免了在晶圆斜插的情况下推动晶圆，而造成生产事故的情况；然后通过现有技术中常规使用的控制器计算推力值，所述控制器根据测得的单片晶圆推力值和测得的晶圆数量，计算出推送部的推力值；最后根据控制器计算出的推力值，通过控制器向驱动单元发出相应的控制信号，驱动单元驱动电动推杆来推动推送部向所述晶圆匣方向移动并推动所述晶圆插槽中的晶圆，完成将一晶圆匣中的晶圆推至另一晶圆匣中。在推动晶圆匣中的晶圆前，先通过检测传感器进行扫描检测每个晶圆在晶圆匣中放置的水平度，是否有插斜的情况，避免了因晶圆斜插而造成生产事故，提高生产安全性，降低生产成本。

3、上述技术方案还存在以下缺陷：生产成本较高且结构复杂，后续的维护保养成本较高，且程序控制具备不稳定性。

技术实现思路

1、针对现有的晶圆推片器生产成本较高且结构复杂，后续的维护保养成本较高，且程序控制具备不稳定性的问题，本实用新型提供一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，该治具包括晶圆匣和安装总成，所述的晶圆匣插接在安装总成上方一侧，且安装总成的另一侧安装有推送装置，该组件配合使用可以有效解决上述问题。

2、为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

3、一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，包括晶圆匣和安装总成，所述的晶圆匣插接在安装总成上方一侧，且安装总成的另一侧安装有推送装置。

4、具体地，通过晶圆匣的内部用于放置晶圆片，通过推送装置将晶圆片推出，且能够避免晶圆片斜插时损坏晶圆片。

5、进一步地，所述的晶圆匣的内壁设置有多个晶圆插槽，晶圆匣的上端固定连接有对称的把手。

6、具体地，通过晶圆插槽的内部用于插接晶圆片，通过把手能够便于拿取晶圆匣。

7、进一步地，所述的安装总成包括第一底板，所述的第一底板的一侧固定连接有第二底板，第二底板高于第一底板且第一底板和第二底板之间设置有斜面，第二底板的上端面设置有放置槽，第一底板的上端固定连接有安装块。

8、具体地，通过放置槽的内部插接晶圆匣，通过安装块用于安装推送装置，通过斜面能够使得推送装置能够抬起晶圆片从而能够避免晶圆片斜插推动时导致晶圆片损坏。

9、进一步地，所述的推送装置包括伸缩杆，所述的伸缩杆的伸缩端固定连接有安装板，安装板远离伸缩杆的一侧设置有对称的滑槽，两侧滑槽的内侧底部穿透安装板，安装板的内部滑动连接有滑板，两侧滑板的底部设置有凹槽，两侧凹槽的内部转动连接有滚轮，两侧滑槽的外壁固定连接有多个托板。

10、具体地，通过伸缩杆的伸缩能够带动安装板向晶圆匣的内部移动，通过多个托板能够到达晶圆片的底部，通过滚轮在移动时经过斜面使得滑板在滑槽的内部向上移动，从而能够带动多个托板向上移动从而能够将晶圆片抬起。

11、进一步地，每个所述的托板上设置有通槽，每个通槽的内部转动连接有多个滚轴，每个托板上端面设置有多个对称的插孔，其中一个插孔的内部插接有挡块。

12、具体地，通过滚轴能够在托板插入晶圆片的底部时转动避免刮花晶圆片，通过挡块可配合托板将晶圆片向外推出，通过多个插孔能够根据晶圆片的尺寸调节挡块的位置。

13、进一步地，所述的伸缩杆活动安装在安装块的内部。

14、进一步地，所述的晶圆插槽大于晶圆片的厚度，每个托板设置在每两个晶圆插槽之间。

15、有益效果

16、相比于现有技术，本实用新型的有益效果为：

17、(1)本实用新型中，在使用时将晶圆插槽放置在放置槽的内部，启动伸缩杆伸长带动安装板向前推动，使得多个托板分别插入每两个晶圆片的底部，随着安装板的移动两侧滚轮在第一底板的上方向前移动在经过斜面时逐渐使得两侧滑板向上移动，从而使得多个托板向上抬起从而能够使得晶圆片从晶圆插槽的内侧底部向上抬起，通过挡块的限位将晶圆片向外推出，及时晶圆片斜插在抬起的过程中也可使得晶圆片与托板平行，避免晶圆片斜插时推动导致晶圆片损坏，结构更加简单，成产成本降低。

18、(2)本实用新型中，通过滚轴能够在托板插入晶圆片的底部时转动避免刮花晶圆片，通过挡块可配合托板将晶圆片向外推出，通过多个插孔能够根据晶圆片的尺寸调节挡块的位置。

技术特征：

1.一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：包括晶圆匣(1)和安装总成(2)，所述的晶圆匣(1)插接在安装总成(2)上方一侧，且安装总成(2)的另一侧安装有推送装置(3)，所述的推送装置(3)包括伸缩杆(301)，所述的伸缩杆(301)的伸缩端固定连接有安装板(302)，安装板(302)远离伸缩杆(301)的一侧设置有对称的滑槽(303)，两侧滑槽(303)的内侧底部穿透安装板(302)，安装板(302)的内部滑动连接有滑板(304)，两侧滑板(304)的底部设置有凹槽(305)，两侧凹槽(305)的内部转动连接有滚轮(306)，两侧滑槽(303)的外壁固定连接有多个托板(307)。

2.根据权利要求1所述的一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：每个所述的托板(307)上设置有通槽(308)，每个通槽(308)的内部转动连接有多个滚轴(309)，每个托板(307)上端面设置有多个对称的插孔(310)，其中一个插孔(310)的内部插接有挡块(311)。

3.根据权利要求2所述的一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：所述的安装总成(2)包括第一底板(201)，所述的第一底板(201)的一侧固定连接有第二底板(203)，第二底板(203)高于第一底板(201)且第一底板(201)和第二底板(203)之间设置有斜面(202)，第二底板(203)的上端面设置有放置槽(204)，第一底板(201)的上端固定连接有安装块(205)。

4.根据权利要求3所述的一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：所述的晶圆匣(1)的内壁设置有多个晶圆插槽(101)，晶圆匣(1)的上端固定连接有对称的把手(102)。

5.根据权利要求4所述的一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：所述的伸缩杆(301)活动安装在安装块(205)的内部。

6.根据权利要求5所述的一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，其特征在于：所述的晶圆插槽(101)大于晶圆片的厚度，每个托板(307)设置在每两个晶圆插槽(101)之间。

技术总结
本技术公开了一种防晶圆斜插的晶圆推片器治具，属于晶圆片载具技术领域，该治具包括晶圆匣和安装总成，所述的晶圆匣插接在安装总成上方一侧，且安装总成的另一侧安装有推送装置，在使用时将晶圆插槽放置在放置槽的内部，启动伸缩杆伸长带动安装板向前推动，使得多个托板分别插入每两个晶圆片的底部，随着安装板的移动两侧滚轮在第一底板的上方向前移动在经过斜面时逐渐使得两侧滑板向上移动，从而使得多个托板向上抬起从而能够使得晶圆片从晶圆插槽的内侧底部向上抬起，通过挡块的限位将晶圆片向外推出，及时晶圆片斜插在抬起的过程中也可使得晶圆片与托板平行，避免晶圆片斜插时推动导致晶圆片损坏，结构更加简单，成产成本降低。

技术研发人员：陈自力
受保护的技术使用者：厦门矽晶科技有限公司
技术研发日：20230731
技术公布日：2024/2/8