一种载体玻璃承载模组的制作方法

本技术涉及半导体加工设备，具体是指一种加工半导体的自动化设备上采用的承载放置巨量芯片的大尺寸载体玻璃的模组。

背景技术：

1、在半导体加工过程中，需要将巨量芯片转移并焊接到pcb板上，而需要转移的芯片数量越多，则意味着载体玻璃越大，对于承载载体玻璃的模组整体体积也会增大；如图5所示，目前，此类承载模组采用悬臂模式，载体玻璃通过吸附的方式倒吸附于承载模组的玻璃框架上，排列晶片的方式是由下向上排列，采用该结构，如根据需要而增大载体玻璃的尺寸，容易使载体玻璃因自身重量而导致玻璃中心下垂，同时，在高速运动时载体玻璃及其承载结构产生晃动，为此增加了电机的整定时间。

技术实现思路

1、为了克服现有技术的不足之处，本实用新型目的在于提供一种载体玻璃承载模组，其采用扁平化设计，克服了现有结构的缺陷。

2、为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为：一种载体玻璃承载模组，包括底座，还包括设于底座上表面的y向活动组件，设于y向活动组件上表面的x向活动组件，设于x向活动组件上表面的用于放置载体玻璃的玻璃框架；载体玻璃放置玻璃框架的上表面。

3、具体地，所述y向活动组件包括两组分别位于底座上表面且相互平行的y向直线电机定子，两根均与y向直线电机定子平行且固设于底座上表面的y向直线导轨，活动设于每根y向直线导轨上的y向滑块，底面与全部y向滑块固定连接的x向底座，两个分别设于x向底座两侧边缘并与分别与两组y向直线电机定子相配合的y向直线电机动子。

4、具体地，所述两根y向直线导轨位于y向直线电机定子之间；所述每根y向直线导轨外侧均设有两个固定在底座上表面用于对y向滑块限位的止挡块；底座两侧面上各设有一个位于y向直线电机定子外侧的光栅尺。

5、具体地，所述x向活动组件包括设于x向底座上表面的两个相互平行的x向直线电机定子，两根均与x向直线电机定子平行且固设于x向底座上表面的x向直线导轨，活动设于每根x向直线导轨上的若干x向滑块，x向活动座，两个分别设于x向活动座两侧边缘下表面并分别与两个x向直线电机定子相配合的x向直线电机动子；玻璃框架嵌设于x向活动座上表面内；所述x向活动座的底面与x向滑块固定连接。

6、所述玻璃框架的上表面设有四块分别位于其内框四侧边缘的载体玻璃限位片；玻璃框架上表面内设有放置载体玻璃的石英玻璃。

7、所述玻璃框架下表面的两侧各设有一块x电机固定板，两个x向直线电机动子分别设于两块x电机固定板的内表面上；所述x向直线电机定子位于两个x向直线电机动子之间。

8、设于每根y向直线导轨上的y向滑块为两个；设于每根x向直线导轨上的x向滑块为两个。

9、技术效果在于，直接将y向活动组件、x向活动组件叠放在底座上，然后将用于放置玻璃的玻璃框架设于x向活动组件上表面，三者在底座上形成一个扁平化的结构且在玻璃框架上表面内设有放置载体玻璃的结构，本结构的排晶方式是由上往下排，采用该结构，当承载芯片的载体玻璃尺寸增大，也就是远大于目前的芯片载体玻璃时，并在增加石英玻璃承载载体玻璃的情况下；与现有的承载玻璃倒吊吸附结构相比，可有效改善载体玻璃中心下垂、玻璃变形的问题；与此同时，因采用扁平化结构取代悬臂结构，可有效减少因晃动导致电机增加的整定时间，从而有利于本实用新型高速运动，进而提高工作效率。

技术特征：

1.一种载体玻璃承载模组，包括底座(1)，其特征在于，还包括设于底座上表面的y向活动组件(2)，设于y向活动组件上表面的x向活动组件(3)，设于x向活动组件上表面的用于放置载体玻璃(9)的玻璃框架(4)；载体玻璃放置玻璃框架的上表面。

2.如权利要求1所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述y向活动组件(2)包括两组分别位于底座(1)上表面且相互平行的y向直线电机定子(201)，两根均与y向直线电机定子平行且固设于底座(1)上表面的y向直线导轨(202)，活动设于每根y向直线导轨上的y向滑块(203)，底面与全部y向滑块固定连接的x向底座(204)，两个分别设于x向底座两侧边缘并与分别与两组y向直线电机定子相配合的y向直线电机动子(205)。

3.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述两根y向直线导轨(202)位于y向直线电机定子(201)之间；所述每根y向直线导轨外侧均设有两个固定在底座(1)上表面用于对y向滑块(203)限位的止挡块(5)；底座两侧面上各设有一个位于y向直线电机定子(201)外侧的光栅尺(6)。

4.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述x向活动组件(3)包括设于x向底座(204)上表面的两个相互平行的x向直线电机定子(301)，两根均与x向直线电机定子平行且固设于x向底座上表面的x向直线导轨(302)，活动设于每根x向直线导轨上的若干x向滑块(303)，x向活动座(305)，两个分别设于x向活动座两侧边缘下表面并分别与两个x向直线电机定子(301)相配合的x向直线电机动子(304)；玻璃框架(4)嵌设于x向活动座(305)上表面内；所述x向活动座的底面与x向滑块(303)固定连接。

5.如权利要求2所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述玻璃框架(4)的上表面设有四块分别位于其内框(401)四侧边缘的载体玻璃限位片(7)；玻璃框架(4)上表面内设有放置载体玻璃(9)的石英玻璃(10)。

6.如权利要求4所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，所述玻璃框架(4)下表面的两侧各设有一块x电机固定板(8)，两个x向直线电机动子(304)分别设于两块x电机固定板的内表面上；所述x向直线电机定子(301)位于两个x向直线电机动子之间。

7.如权利要求4所述的一种载体玻璃承载模组，其特征在于，设于每根y向直线导轨(202)上的y向滑块(203)为两个；设于每根x向直线导轨(302)上的x向滑块(303)为两个。

技术总结
本技术属于半导体加工设备技术领域，具体涉及一种载体玻璃承载模组，包括底座(1)，还包括设于底座上表面的Y向活动组件(2)，设于Y向活动组件上表面的X向活动组件(3)，设于X向活动组件上表面的用于放置载体玻璃(9)的玻璃框架(4)；载体玻璃放置玻璃框架的上表面；与现有的承载玻璃倒吊吸附结构相比，可有效克服现有结构存在的载体玻璃中心下垂、玻璃变形的问题；与此同时，因采用扁平化结构取代悬臂结构，可有效减少因晃动导致电机增加的整定时间，从而有利于本技术高速运动，进而提高工作效率。

技术研发人员：黄招凤,陈罡彪,陈学志,游燚
受保护的技术使用者：深圳市易天半导体设备有限公司
技术研发日：20230804
技术公布日：2024/3/4