一种用于晶圆快速退火的真空腔体的制作方法

本技术涉及半导体加工，具体涉及一种用于晶圆快速退火的真空腔体。

背景技术：

1、半导体行业中，晶圆在加工过程中会存在晶格缺陷，快速退火是指在短时间内对晶圆加热到一定的高温，再进行退火处理。从而消除晶圆缺陷，提高产品的质量。而有些工艺制程是需要有真空环境的要求。

2、市场上现有的快速退火炉的真空炉体只有放置晶圆的腔体可以密封用于抽真空，营造真空的退火环境。这种炉体的腔体上下表面由石英板跟大气环境隔开，真空系统控制单腔真空度。石英板的上下表面一面是真空，另一面是大气压，石英板承受着极高的压差，一般对于6寸以下的真空炉体，由于炉体的腔体尺寸小，支撑石英板的跨度不大，石英板的安全系数较高，可以使用。但是对于8寸及其以上的真空炉体，由于腔体的尺寸大，支撑石英板的跨度大，那么在石英板的周边跟支撑零件接触部分承受着极大的应力，在高温环境，或是石英板两侧有温度梯度，或是加温速度要求很大，或是石英板有纯度不均等缺陷时，非常容易出现石英板的爆裂，从而造成极大的损失。

3、因此，现有技术还有待改进。

技术实现思路

1、实用新型目的：一种用于晶圆快速退火的真空腔体，以解决现有技术存在的上述问题。

2、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种用于晶圆快速退火的真空腔体，包括中空的炉体，所述炉体内部设置有第一隔板与第二隔板，所述第一隔板和第二隔板将所述炉体内部分隔为上腔体、中腔体与下腔体，所述上腔体内设置有第一加热组件，所述下腔体内设置有第二加热组件，所述中腔体内设置有晶圆载盘，所述炉体外部设置有用于控制所述上腔体、中腔体与下腔体内真空度的真空控制系统。

3、作为一个优选方案，所述第一加热组件包括平行于所述第一隔板且并排设置的多个第一中空圆管，所述第一中空圆管内设置有第一加热灯管。

4、作为一个优选方案，所述第二加热组件包括平行于所述第二隔板且并排设置的多个第二中空圆管，所述第二中空圆管内设置有第二加热灯管。

5、作为一个优选方案，所述第一隔板与所述第二隔板均为石英的材质。

6、作为一个优选方案，所述第一中空圆管与所述第二中空圆管均为石英的材质。

7、作为一个优选方案，所述炉体由铝合金加工和组装而成。

8、作为一个优选方案，所述上腔体、中腔体以及下腔体的侧壁分别设置有上腔体真空吸口、中腔体真空吸口以及下腔体真空吸口，所述真空控制系统通过所述上腔体真空吸口、中腔体真空吸口以及下腔体真空吸口分别与所述上腔体、中腔体以及下腔体连通。

9、有益效果：本实用新型涉及一种用于晶圆快速退火的真空腔体，使用时，通过所述真空控制系统将所述上腔体、中腔体与下腔体内真空度调节到合适的值，使得所述第一隔板与所述第二隔板的上下表面的压强差控制在所述第一隔板与所述第二隔板所能承受的范围内，从而避免所述第一隔板与所述第二隔板因为上下表面受到的压强差过大而发生爆裂。

技术特征：

1.一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于，所述第一加热组件包括：

3.根据权利要求2所述的一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于，所述第二加热组件包括：

4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于：

6.根据权利要求1所述的一种用于晶圆快速退火的真空腔体，其特征在于：

技术总结
本技术公开了一种用于晶圆快速退火的真空腔体，属于半导体加工技术领域，本装置包括中空的炉体，炉体内部设置有第一隔板与第二隔板，第一隔板和第二隔板将炉体内部分隔为上腔体、中腔体与下腔体，上腔体内设置有第一加热组件，下腔体内设置有第二加热组件，中腔体内设置有晶圆载盘，炉体外部设置有用于控制所述上腔体、中腔体与下腔体内真空度的真空控制系统；使用时，通过真空控制系统将上腔体、中腔体与下腔体内真空度调节到合适的值，使得第一隔板与第二隔板的上下表面的压强差控制在第一隔板与第二隔板所能承受的范围内，从而避免第一隔板与第二隔板因为上下表面受到的压强差过大而发生爆裂。

技术研发人员：陈俊佳,欧建恒,黄嘉伦,黄觉辉
受保护的技术使用者：广东瑞乐半导体科技有限公司
技术研发日：20230818
技术公布日：2024/4/17