一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置的制作方法

本技术涉及晶圆贴膜，具体来说，涉及一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆在集成电路的生产加工用十分重要，在集成电路封装的过程中往往要对晶圆进行减薄，所以需要在晶圆表面贴附一侧膜用于保护芯片表面，使得晶圆上的芯片不会被异物沾污或者划伤等。

2、现有技术公开了公开号为：cn215988673u一种晶圆贴膜装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有工作台，所述工作台前后两侧均固定连接有驱动箱，所述驱动箱一侧固定连接有伺服电机，所述驱动箱顶部通过支撑杆固定连接有压膜框，所述压膜框顶部固定连接有第一电动伸缩杆，所述压膜框一侧设有晶圆夹持盘，所述晶圆夹持盘一侧设有滑轨，所述滑轨滑动连接有立柱，所述立柱顶部固定连接有横板，所述立柱一侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆末端与工作台顶部固定连接，该实用新型可对晶圆进行稳定夹持，避免贴膜时发生晃动，影响贴膜效果，可对待贴膜的晶圆表面进行清理，避免杂质附着在晶圆表面，贴膜后可对晶圆表面进行滚压，避免膜与晶圆之间产生气泡。

3、上述实用新型在使用时利用多组第三电动伸缩杆带动弧形夹持板移动，利用多组弧形夹持板对放置在置放槽内晶圆件进行限位夹持固定，以防止贴膜时晶圆发生晃动和移动而影响贴膜效果，但是设置多组第三电动伸缩杆会增加装置的制造成本和使用时的电力消耗，降低了该装置的市场竞争力，实用性一般。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，具备可利用一台小型电机即可完成四组弧形夹持板的同步移动，能够对放置的晶圆件进行良好的限位夹持固定，降低了装置的制造成本和使用时的电力消耗，实用性更强的优点，进而解决上述背景技术中的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述可利用一台小型电机即可完成四组弧形夹持板的同步移动，能够对放置的晶圆件进行良好的限位夹持固定，降低了装置的制造成本和使用时的电力消耗，实用性更强的优点，本实用新型采用的具体技术方案如下：一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，包括底座、小型电机和弧形夹持板，所述底座顶面固定安装有工作台，且工作台顶面一侧固定安装有放置台，并且放置台内部开设有十字槽，所述放置台四侧均匀设置有焊接在工作台顶面的第一安装块，所述十字槽内均匀焊接有第二安装块，每组所述第一安装块和第二安装块之间安装有螺纹杆轴，且螺纹杆轴位于十字槽内一端固定安装有锥齿轮，相邻所述锥齿轮相互啮合，一个所述螺纹杆轴一端连接有小型电机输出端，所述放置台四侧均匀设置有弧形夹持板，且弧形夹持板底端固定焊接有导向滑块，并且导向滑块内固定安装有螺母，所述螺母内螺纹套接有螺纹杆轴，所述工作台顶面均匀开设有四组导向滑槽，所述导向滑块底端卡嵌在导向滑槽内。

5、进一步的，所述工作台顶面另一侧固定安装有固定架，且固定架顶面中央安装有电动伸缩杆，并且电动伸缩杆输出端连接安装有电机架，所述电机架内固定安装有伺服电机，且伺服电机输出端连接安装有旋转轴，并且旋转轴底端固定安装有旋转安装板。

6、进一步的，所述旋转安装板一侧对称焊接有第一导向滑套，且第一导向滑套内套接有第一导向滑杆，并且第一导向滑杆底端固定连接有第一金属框，所述第一金属框内安装有压辊，所述第一金属框顶面与旋转安装板底面之间连接安装有若干个第一缓冲弹簧。

7、进一步的，所述旋转安装板另一侧对称焊接有第二导向滑套，且第二导向滑套内套接有第二导向滑杆，并且第二导向滑杆底端固定连接有第二金属框，所述第二金属框内安装有粘尘辊，所述第二金属框顶面与旋转安装板底面之间连接安装有若干个第二缓冲弹簧。

8、进一步的，所述底座一侧侧壁安装有控制面板，且控制面板与小型电机、电动伸缩杆和伺服电机电性连接。

9、进一步的，相邻所述螺纹杆轴相互垂直。

10、进一步的，四个所述弧形夹持板内侧均固定安装有防滑橡胶垫。

11、(三)有益效果

12、与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，具备以下

13、有益效果：

14、(1)、本实用新型设置有放置台、小型电机和弧形夹持板，使用时，工人将晶圆件放置在放置台顶面正中央，然后工人可通过控制面板启动小型电机带动一组安装在第一安装块和第二安装块之间的螺纹杆轴转动，四组设置的螺纹杆轴分别位于放置台内腔开设的十字槽内，且四个螺纹杆轴相对一端均固定安装有锥齿轮，并且相邻锥齿轮相互啮合，所以当小型电机带动一个螺纹杆轴转动时，其他螺纹杆轴随之转动，另一方面，放置台四侧均匀设置有四个弧形夹持板，四个弧形夹持板底面均焊接有导向滑块，且导向滑块卡嵌在工作台顶面开设的导向滑槽内，并且导向滑块内固定安装的螺母内螺纹套接有螺纹杆轴，所以随着螺纹杆轴的转动可同步带动四个导向滑块连同弧形夹持板沿导向滑槽方向向放置台侧壁移动，直至四个弧形夹持板内侧固定安装的防滑橡胶垫与晶圆工件的侧边相抵接，从而实现对晶圆的夹持固定限位，此过程中，仅使用了一台小型电机即可完成四组弧形夹持板的同步移动，能够对放置的晶圆件进行良好的限位夹持固定，降低了装置的制造成本和使用时的电力消耗，实用性更强。

15、(2)、本实用新型设置有压辊和粘尘辊，如上所述，当完成晶圆工件的夹持固定后，工人可启动安装在电机架上的伺服电机先带动旋转轴转动，因旋转轴一端固定安装装有旋转安装板，所以旋转安装板可随旋转轴旋转所需角度，直至安装在旋转安装板一侧的粘尘辊移动至晶圆工件上方，设置的粘尘辊安装在第二金属框上，且第二金属框顶面与旋转安装板底面之间连接安装有若干个第二缓冲弹簧，并且第二金属框上对称焊接的第二导向滑杆套接在旋转安装板上固定安装的第二导向滑套内，此时工人再启动安装在固定架上的电动伸缩杆推动电机架连同旋转安装板向下移动，直至粘尘辊与晶圆表面相抵接，随后，伺服电机再次带动旋转轴在一定角度内来回旋转，从而使粘尘辊在晶圆表面来回滚动，即可实现对晶圆表面的微尘杂质进行清理，待清理完毕后，伺服电机再次带动旋转安装板转动，使得安装在旋转安装板底面另一侧的压辊移动至晶圆上方，此时在晶圆白面放置好膜体，因为设置的压辊安装在第一金属框上，且第一金属框顶面与旋转安装板底面之间连接安装有若干个第一缓冲弹簧，并且第一金属框上对称焊接的第一导向滑杆套接在旋转安装板上固定安装的第一导向滑套内，同理可使压辊压覆在晶圆表面，并沿晶圆表面来回滚动，从而即可完成晶圆的贴膜作业，防止有气泡产生，提高晶圆贴膜质量和效率，设置的伺服电机、电动伸缩杆、粘尘辊和压辊结构更加简单，使用更加方便，有利于提高一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置的工作效率和质量，并降低其制造成本。

技术特征：

1.一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，包括底座(1)、小型电机(3)和弧形夹持板(19)，其特征在于，所述底座(1)顶面固定安装有工作台(2)，且工作台(2)顶面一侧固定安装有放置台(14)，并且放置台(14)内部开设有十字槽(15)，所述放置台(14)四侧均匀设置有焊接在工作台(2)顶面的第一安装块(4)，所述十字槽(15)内均匀焊接有第二安装块(16)，每组所述第一安装块(4)和第二安装块(16)之间安装有螺纹杆轴(17)，且螺纹杆轴(17)位于十字槽(15)内一端固定安装有锥齿轮(18)，相邻所述锥齿轮(18)相互啮合，一个所述螺纹杆轴(17)一端连接有小型电机(3)输出端，所述放置台(14)四侧均匀设置有弧形夹持板(19)，且弧形夹持板(19)底端固定焊接有导向滑块(21)，并且导向滑块(21)内固定安装有螺母(23)，所述螺母(23)内螺纹套接有螺纹杆轴(17)，所述工作台(2)顶面均匀开设有四组导向滑槽(22)，所述导向滑块(21)底端卡嵌在导向滑槽(22)内。

2.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，所述工作台(2)顶面另一侧固定安装有固定架(7)，且固定架(7)顶面中央安装有电动伸缩杆(8)，并且电动伸缩杆(8)输出端连接安装有电机架(10)，所述电机架(10)内固定安装有伺服电机(9)，且伺服电机(9)输出端连接安装有旋转轴(12)，并且旋转轴(12)底端固定安装有旋转安装板(5)。

3.根据权利要求2所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，所述旋转安装板(5)一侧对称焊接有第一导向滑套(26)，且第一导向滑套(26)内套接有第一导向滑杆(27)，并且第一导向滑杆(27)底端固定连接有第一金属框(24)，所述第一金属框(24)内安装有压辊(6)，所述第一金属框(24)顶面与旋转安装板(5)底面之间连接安装有若干个第一缓冲弹簧(25)。

4.根据权利要求2所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，所述旋转安装板(5)另一侧对称焊接有第二导向滑套(30)，且第二导向滑套(30)内套接有第二导向滑杆(31)，并且第二导向滑杆(31)底端固定连接有第二金属框(28)，所述第二金属框(28)内安装有粘尘辊(11)，所述第二金属框(28)顶面与旋转安装板(5)底面之间连接安装有若干个第二缓冲弹簧(29)。

5.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，所述底座(1)一侧侧壁安装有控制面板(13)，且控制面板(13)与小型电机(3)、电动伸缩杆(8)和伺服电机(9)电性连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，相邻所述螺纹杆轴(17)相互垂直。

7.根据权利要求1所述的一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，其特征在于，四个所述弧形夹持板(19)内侧均固定安装有防滑橡胶垫(20)。

技术总结
本技术公开了一种用于生产集成电路晶圆贴膜装置，包括底座、小型电机和弧形夹持板，所述底座顶面固定安装有工作台，且工作台顶面一侧固定安装有放置台，并且放置台内部开设有十字槽，所述放置台四侧均匀设置有焊接在工作台顶面的第一安装块，所述十字槽内均匀焊接有第二安装块，每组所述第一安装块和第二安装块之间安装有螺纹杆轴，且螺纹杆轴位于十字槽内一端固定安装有锥齿轮，相邻所述锥齿轮相互啮合，一个所述螺纹杆轴一端连接有小型电机输出端。有益效果：本技术可利用一台小型电机即可完成四组弧形夹持板的同步移动，能够对放置的晶圆件进行良好的限位夹持固定，降低了装置的制造成本和使用时的电力消耗，实用性更强。

技术研发人员：肖国庆,林坚,刘敏文
受保护的技术使用者：江西芯诚微电子有限公司
技术研发日：20230824
技术公布日：2024/3/17