晶圆盒适配架的制作方法

本技术涉及晶圆生产，尤其涉及晶圆盒适配架。

背景技术：

1、晶圆是一种非常贵重的产品，在放置过程中必须要保证其不能损坏。其中晶圆盒是其行业常见装晶圆及蓝宝石的装置。现在一般由人工轻拿轻放搬取，在放置过程需要非常小心，对操作人员的素质要求很高。如果人工拿取有损伤或掉落，会给公司带来极大的效益损失。目前，本领域内常采用适配架作为载体，以承载和搬运晶圆盒，承载有晶圆盒的适配架能够直接装配于承载台上，从而得以解决载片台互换性差的问题。

2、但是，适配架上还需要安装具有定位槽的固定件，适配架利用定位槽来定位晶圆盒上的卡塞凸起。然而，对于不同机型的适配架，与其相适配的固定件需要特殊定制。同时，定位槽还存在有和不同尺寸的卡塞凸起匹配定位的需求，这就对卡塞固定件的结构提出了更加复杂的要求。

3、目前，仅通过临时更换固定块的手段解决上述问题。这导致固定块需要进行大量制备，让生产的成本提高，而且在每次更换时都需要重新校对固定块的位置，调整效率低下，为工作带来了带来不便。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供晶圆盒适配架，以保障对晶圆盒的定位效果，提高晶圆盒适配架在载片台上的定位效率。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、晶圆盒适配架，用于承载位于定位位置的晶圆盒，所述晶圆盒适配架能安装于载片台，所述载片台设有若干感应器，所述晶圆盒适配架包括适配架主体、固定块和压块组件；所述适配架主体包括第一板和固接于所述第一板上的第二板，所述第二板与所述第一板呈夹角设置，所述第一板平行于水平面；所述固定块凹设有定位槽，所述定位槽能与所述晶圆盒的卡塞凸起匹配定位，所述第一板朝向所述第二板的板面可拆卸安装有至少一个所述固定块，所述第二板朝向所述第一板的板面可拆卸安装有至少一个所述固定块，位于所述定位位置的所述晶圆盒与所有的所述固定块相匹配；所述压块组件活动安装于所述第一板的上板面，所述压块组件与所述感应器的数量相同，且每个所述压块组件均位于一个所述感应器的上方，位于所述定位位置的晶圆盒抵压于所有的所述压块组件上，以推动使所述压块组件抵压于所述感应器上。

4、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述压块组件包括压块主体，所述上板面凹设有容纳槽，所述压块主体活动设置于所述容纳槽内，且所述压块主体与所述容纳槽的槽底弹性连接，所述容纳槽的槽底开设有压块主体孔，连接销的一端活动穿设所述压块主体孔与所述压块主体连接，所述连接销的另一端用于抵压所述感应器。

5、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述压块主体上固接有若干压块柱，所述容纳槽的槽底开设有所述压块柱数量相同的导向孔，每个所述压块柱均活动安装于一个所述导向孔内。

6、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述压块主体上可拆卸连接有抵压块，所述抵压块凹设有抵压槽，位于所述定位位置的所述晶圆盒与所有的所述抵压块相匹配，所述抵压槽能与所述晶圆盒的卡塞凸起匹配定位。

7、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述固定块具有相对的定位面和连接面，所述连接面与所述第二板或所述第一板相贴合，所述定位槽凹设于所述定位面上，所述定位槽的槽底平行于所述定位面。

8、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述固定块贯通有若干定位孔，所述定位孔为阶梯孔，所述定位孔的孔径沿从所述定位面到所述连接面的方向逐渐缩小，锁紧件穿过所述定位孔并锁紧连接于所述第二板或所述第一板。

9、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述定位面的至少两个边角设有开孔区，所有的所述定位孔均位于所述开孔区内。

10、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述第一板贯通有若干限位长孔，所述限位长孔的数量与所述载片台的定位柱的数量相同，且每个所述定位柱均能穿过一个所述限位长孔，每个所述限位长孔的延伸方向互不相同。

11、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述第一板贯通有安装孔，所述第一板开设有卡位凹槽，所述卡位凹槽的一侧与所述安装孔连通，所述载片台的夹锁能穿过所述安装孔并抵接于所述卡位凹槽的槽底。

12、作为晶圆盒适配架的优选技术方案，所述第一板与所述第二板呈l形布置。

13、本实用新型的有益效果：

14、该晶圆盒适配架借助第一板和第二板的设置，得以从底部和一侧同时对晶圆盒进行定位，结合第一板和第二板上固定块的布置，得以利用定位槽与晶圆盒的卡塞凸起之间的配合达到定位的效果，以上改进提升了晶圆盒适配架对晶圆盒的限位能力，有助于实现晶圆盒在定位位置上的精确定位。通过设置三个压块组件的方式，又实现了晶圆盒在晶圆盒适配架上安装的防呆设计，若操作人员未能将晶圆盒水平放置于晶圆盒适配架上，则所有的压块组件无法同时被有效下压，由此致使载片台不能通过感应器感应到晶圆盒。此时，载片台判断晶圆盒未能放置到定位位置上，故而后续加工流程将不会进行，由此避免了载片台误启动的情况发生，避免了晶圆盒及其上晶圆遭受损伤的场景，降低了载片台运行的风险。

技术特征：

1.晶圆盒适配架，用于承载位于定位位置的晶圆盒，所述晶圆盒适配架能安装于载片台(900)，所述载片台(900)设有若干感应器(920)，其特征在于，所述晶圆盒适配架包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述压块组件(300)包括压块主体(310)，所述上板面凹设有容纳槽，所述压块主体(310)活动设置于所述容纳槽内，且所述压块主体(310)与所述容纳槽的槽底弹性连接，所述容纳槽的槽底开设有压块主体孔，连接销(320)的一端活动穿设所述压块主体孔与所述压块主体(310)连接，所述连接销(320)的另一端用于抵压所述感应器(920)。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述压块主体(310)上固接有若干压块柱，所述容纳槽的槽底开设有所述压块柱数量相同的导向孔(114)，每个所述压块柱均活动安装于一个所述导向孔(114)内。

4.根据权利要求2所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述压块主体(310)上可拆卸连接有抵压块，所述抵压块凹设有抵压槽，位于所述定位位置的所述晶圆盒与所有的所述抵压块相匹配，所述抵压槽能与所述晶圆盒的卡塞凸起匹配定位。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述固定块(200)具有相对的定位面和连接面，所述连接面与所述第二板(120)或所述第一板(110)相贴合，所述定位槽(220)凹设于所述定位面上，所述定位槽(220)的槽底平行于所述定位面。

6.根据权利要求5所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述固定块(200)贯通有若干定位孔(210)，所述定位孔(210)为阶梯孔，所述定位孔(210)的孔径沿从所述定位面到所述连接面的方向逐渐缩小，锁紧件穿过所述定位孔(210)并锁紧连接于所述第二板(120)或所述第一板(110)。

7.根据权利要求6所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述定位面的至少两个边角设有开孔区，所有的所述定位孔(210)均位于所述开孔区内。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述第一板(110)贯通有若干限位长孔，所述限位长孔的数量与所述载片台(900)的定位柱(930)的数量相同，且每个所述定位柱(930)均能穿过一个所述限位长孔，每个所述限位长孔的延伸方向互不相同。

9.根据权利要求1所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述第一板(110)贯通有安装孔(115)，所述第一板(110)开设有卡位凹槽(111)，所述卡位凹槽(111)的一侧与所述安装孔(115)连通，所述载片台(900)的夹锁(910)能穿过所述安装孔(115)并抵接于所述卡位凹槽(111)的槽底。

10.根据权利要求1-9任一项所述的晶圆盒适配架，其特征在于，所述第一板(110)与所述第二板(120)呈l形布置。

技术总结
本技术涉及晶圆生产技术领域，具体公开了晶圆盒适配架。该适配架包括适配架主体、固定块和压块组件；适配架主体包括第一板和固接于第一板的第二板；固定块凹设有能与晶圆盒的卡塞凸起匹配定位的定位槽，第一板可拆卸安装有至少一个固定块，第二板可拆卸安装有至少一个固定块，位于定位位置的晶圆盒与所有的固定块相匹配；压块组件活动安装于第一板的上板面，压块组件与感应器的数量相同，且每个压块组件均位于一个感应器的上方，位于定位位置的晶圆盒抵压于所有的压块组件，以推动使压块组件抵压于感应器。该适配架借助以上结构设计，达到将晶圆盒定位于定位位置的目的，保障对晶圆盒的定位效果，提高晶圆盒适配架在载片台上的定位效率。

技术研发人员：覃建宁,李华
受保护的技术使用者：上海探跃半导体设备有限公司
技术研发日：20230913
技术公布日：2024/4/24