移动光阑及半导体检测设备的制作方法

本申请属于半导体制造，尤其是涉及一种移动光阑及半导体检测设备。

背景技术：

1、近年来，随着半导体行业的高速发展，晶圆制造工艺中的缺陷检测设备需求也越来越广泛。由于晶圆需要被检测的特征都是属于微观尺寸，常用的光学检测设备已经无法满足使用要求。所有现有晶圆检测设备都是电子束检测。为保证电子束检测的清晰成像，需要在电子束泵源与被检测工件之间加装光阑，保证检测电子束的最中心束流通过，其余电子被拦截。

2、光阑上设有多个光阑孔以适配不同规格的电子束流，一般设有机械结构以调节光阑位置从而实现光阑孔与电子束流的匹配，然而用于调节光阑位置的机械结构一般采用手动调节方式，效率较低，精度偏差。

技术实现思路

1、本申请提供了一种移动光阑及半导体检测设备，以解决现有手动调节方式效率低、精度差的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种移动光阑，移动光阑包括第一自动调节机构、第二自动调节机构、导向杆以及光阑组件；光阑组件连接于导向杆；第二自动调节机构连接于导向杆、并设置为能够带动导向杆在第二方向上运动；第一自动调节机构连接于第二自动调节机构并设置为能够带动第二自动调节机构在第一方向上运动；其中，第一方向垂直于第二方向。

3、在本申请可选的方案中，移动光阑还包括支撑架及活动架；第一自动调节机构连接于支撑架，活动架连接于第二自动调节机构，导向杆连接于活动架；第二自动调节机构驱动活动架以带动导向杆运动。

4、在本申请可选的方案中，支撑架包括第一立板、第二立板以及底板；第一立板设置于底板在第二方向的两侧，第一自动调节机构连接于底板，第二立板连接于两侧的第一立板及底板；第一自动调节机构及第二立板在第一方向上分别位于第一立板的两侧，第二立板相对于第一自动调节机构靠近光阑组件；活动架的部分设置于第一自动调节机构、第二立板、底板及两侧的第一立板所围合的区域内，导向杆穿过第二立板以连接于活动架。

5、在本申请可选的方案中，活动架包括固定板以及限位板；固定板连接于第二自动调节机构，限位板连接于固定板且朝向第一自动调节机构、第二立板、底板及两侧的第一立板所围合的区域内；导向杆穿过第二立板以连接于限位板。

6、在本申请可选的方案中，移动光阑还包括形变套管，导向杆设有环凸；形变套管位于支撑架外并在第一方向上远离第一自动调节机构，形变套管外套于导向杆且两端分别连接于支撑架及环凸。

7、在本申请可选的方案中，移动光阑还包括转接套筒，转接套筒连接于支撑架并外套于形变套管。

8、在本申请可选的方案中，移动光阑还包括电极，电极连接于转接套筒且部分伸入于转接套筒内。

9、在本申请可选的方案中，第一自动调节机构包括第一滑台底座、第一导轨、第一台面以及第一传动装置；第一导轨沿第一方向延伸并连接于第一滑台底座，第一台面活动连接于第一导轨，第一传动装置设置于第一滑台底座并用于驱动第一台面沿第一导轨移动；第二自动调节机构连接于第一台面。

10、在本申请可选的方案中，第二自动调节机构包括第二滑台底座、第二导轨、第二台面以及第二传动装置；第二滑台底座连接于第一台面，第二导轨沿第二方向延伸并连接于第二滑台底座，第二台面活动连接于第二导轨，第二传动装置设置于第二滑台底座并用于驱动第二台面沿第二导轨移动；导向杆设置为在第二台面的作用下具备第一方向的运动自由度及第二方向的运动自由度。

11、根据本申请的另一个方面，提供了一种半导体检测设备，该半导体检测设备包括上述的移动光阑。

12、综上所述，本申请提供的移动光阑及半导体检测设备至少具有以下有益效果：

13、在该移动光阑中，第一自动调节机构能够提供第一方向的运动自由度，第二自动调节机构在第一自动调节机构的作用下具备第一方向的运动自由度，且能够提供第二方向的运动自由度，如此可使得与第二自动调节机构相连的导向杆具备第一方向的运动自由度及第二方向的运动自由度，相应地固定安装在导向杆上的光阑组件具备第一方向的运动自由度及第二方向的运动自由度。

14、可见，光阑组件在第一自动调节机构及第二自动调节机构的作用下具备了第一方向运动的自由度及第二方向的运动自由度，从而能够调节光阑孔的位置以适配不同规格的电子束流。

15、该移动光阑能够应用于半导体检测设备中，第一自动调节机构及第二自动调节机构能够接入半导体检测设备中的控制系统，根据输入信号自动调节光阑组件的位置，效率更高，精度更高，较少人为干预和操作。

技术特征：

1.一种移动光阑，其特征在于，所述移动光阑包括第一自动调节机构、第二自动调节机构、导向杆以及光阑组件；

2.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括支撑架及活动架；

3.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述支撑架包括第一立板、第二立板以及底板；

4.根据权利要求3所述的移动光阑，其特征在于，所述活动架包括固定板以及限位板；

5.根据权利要求2所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括形变套管，所述导向杆设有环凸；

6.根据权利要求5所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括转接套筒，所述转接套筒连接于所述支撑架并外套于所述形变套管。

7.根据权利要求6所述的移动光阑，其特征在于，所述移动光阑还包括电极，所述电极连接于所述转接套筒且部分伸入于所述转接套筒内。

8.根据权利要求1所述的移动光阑，其特征在于，所述第一自动调节机构包括第一滑台底座、第一导轨、第一台面以及第一传动装置；

9.根据权利要求8所述的移动光阑，其特征在于，所述第二自动调节机构包括第二滑台底座、第二导轨、第二台面以及第二传动装置；

10.一种半导体检测设备，其特征在于，所述半导体检测设备包括根据权利要求1至9中任一项所述的移动光阑。

技术总结
本申请属于半导体制造技术领域，尤其是涉及一种移动光阑及半导体检测设备。移动光阑包括第一自动调节机构、第二自动调节机构、导向杆以及光阑组件；光阑组件连接于导向杆；第二自动调节机构连接于导向杆、并设置为能够带动导向杆在第二方向上运动；第一自动调节机构连接于第二自动调节机构并设置为能够带动第二自动调节机构在第一方向上运动；其中，第一方向垂直于第二方向。光阑组件具备了第一方向运动自由度及第二方向运动自由度，从而能够调节光阑孔的位置以适配不同规格的电子束流。该移动光阑能够接入半导体检测设备中的控制系统，根据输入信号自动调节光阑组件的位置，效率更高，精度更高，较少人为干预和操作。

技术研发人员：战东北
受保护的技术使用者：东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司
技术研发日：20230914
技术公布日：2024/4/17