一种晶圆转运装置的制作方法

本技术涉及晶圆转运，具体为一种晶圆转运装置。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在现有的技术中，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点。

2、但是，随着半导体特征尺寸越来越小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，故在晶圆需要转运时，必须考虑灰尘、液体的污染问题，若晶圆被灰尘、液体侵蚀，生产出来的晶圆可能会出现很大的质量问题。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆转运装置，通过设置的真空转运箱，便于通过真空的环境转运晶圆，防止液体、灰尘侵入晶圆内部，导致晶圆质量不过关、出现问题等情况，通过设置的圆筒型晶圆储存罐，便于更好地保护内部储存的晶圆，配合真空转运箱制造真空的环境保护晶圆。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种晶圆转运装置，包括底板、搬运把手、控制台、真空转运箱、盖板、固定扣装置、挂钩处、圆筒型晶圆储存罐、进出两用气孔，所述真空转运箱上方安装有盖板，所述盖板内部设置有顶部海绵层，所述顶部海绵层内部安装有多组顶部限位槽，所述真空转运箱内部设有防震海绵层，所述防震海绵层内部设有多组储存罐收纳槽。

5、优选的，所述固定扣装置安装于真空转运箱正面，所述挂钩处安装于盖板正面，所述固定扣装置包括压板、转轴、口字形金属圆柱框，所述压板活动于转轴一侧，所述转轴固定连接于真空转运箱正面，所述口字形金属圆柱框一侧活动于压板内部，所述口字形金属圆柱框另一侧可拆卸于挂钩处内部。

6、优选的，所述圆筒型晶圆储存罐安装于储存罐收纳槽内部，所述圆筒型晶圆储存罐包括圆盘型提手、储存罐顶盖、限位柱、滑动槽、保护壳、进出气两用连接处、防滑层、晶圆储存槽，所述圆盘型提手安装于储存罐顶盖上方，所述限位柱安装于储存罐顶盖下方。

7、优选的，所述滑动槽安装于保护壳上方内部，所述晶圆储存槽安装于保护壳内部，所述进出气两用连接处安装于保护壳底部，所述限位柱活动于滑动槽内部，所述防滑层安装于储存罐顶盖下方，所述防滑层安装于保护壳上方。

8、优选的，所述控制台安装于真空转运箱左侧，所述控制台正面设有启动开关，所述控制台正面安装有数显屏，所述数显屏下方安装有按钮组，所述控制台用于控制真空转运箱内部进行提取空气的操作，通过机器控制操作更加简单方便。

9、优选的，所述进出两用气孔安装于真空转运箱左侧，所述底板前后两侧安装有把手槽，所述搬运把手安装于把手槽内部，所述进出两用气孔用于排出转运装置内部空气以及在需要取出晶圆时，可以重新注入空气，方便工作人员打开。

10、(三)有益效果

11、与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆转运装置，具备以下有益效果：

12、1、通过设置的真空转运箱，便于通过真空的环境转运晶圆，防止液体、灰尘侵入晶圆内部，导致晶圆质量不过关、出现问题等情况。

13、2、通过设置的圆筒型晶圆储存罐，便于更好地保护内部储存的晶圆，配合真空转运箱制造真空的环境保护晶圆。

技术特征：

1.一种晶圆转运装置，包括底板(1)、搬运把手(2)、控制台(3)、真空转运箱(4)、盖板(5)、固定扣装置(6)、挂钩处(7)、圆筒型晶圆储存罐(8)、进出两用气孔(9)，其特征在于：所述真空转运箱(4)上方安装有盖板(5)，所述盖板(5)内部设置有顶部海绵层(51)，所述顶部海绵层(51)内部安装有多组顶部限位槽(52)，所述真空转运箱(4)内部设有防震海绵层(41)，所述防震海绵层(41)内部设有多组储存罐收纳槽(42)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆转运装置，其特征在于：所述固定扣装置(6)安装于真空转运箱(4)正面，所述挂钩处(7)安装于盖板(5)正面，所述固定扣装置(6)包括压板(61)、转轴(62)、口字形金属圆柱框(63)，所述压板(61)活动于转轴(62)一侧，所述转轴(62)固定连接于真空转运箱(4)正面，所述口字形金属圆柱框(63)一侧活动于压板(61)内部，所述口字形金属圆柱框(63)另一侧可拆卸于挂钩处(7)内部。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆转运装置，其特征在于：所述圆筒型晶圆储存罐(8)安装于储存罐收纳槽(42)内部，所述圆筒型晶圆储存罐(8)包括圆盘型提手(81)、储存罐顶盖(82)、限位柱(83)、滑动槽(84)、保护壳(85)、进出气两用连接处(86)、防滑层(87)、晶圆储存槽(88)，所述圆盘型提手(81)安装于储存罐顶盖(82)上方，所述限位柱(83)安装于储存罐顶盖(82)下方。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆转运装置，其特征在于：所述滑动槽(84)安装于保护壳(85)上方内部，所述晶圆储存槽(88)安装于保护壳(85)内部，所述进出气两用连接处(86)安装于保护壳(85)底部，所述限位柱(83)活动于滑动槽(84)内部，所述防滑层(87)安装于储存罐顶盖(82)下方，所述防滑层(87)安装于保护壳(85)上方。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆转运装置，其特征在于：所述控制台(3)安装于真空转运箱(4)左侧，所述控制台(3)正面设有启动开关(31)，所述控制台(3)正面安装有数显屏(32)，所述数显屏(32)下方安装有按钮组(33)，所述控制台(3)用于控制真空转运箱(4)内部进行提取空气的操作，通过机器控制操作更加简单方便。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆转运装置，其特征在于：所述进出两用气孔(9)安装于真空转运箱(4)左侧，所述底板(1)前后两侧安装有把手槽(11)，所述搬运把手(2)安装于把手槽(11)内部，所述进出两用气孔(9)用于排出转运装置内部空气以及在需要取出晶圆时，可以重新注入空气，方便工作人员打开。

技术总结
本技术公开了一种晶圆转运装置，包括底板、搬运把手、控制台、真空转运箱、盖板、固定扣装置、挂钩处、圆筒型晶圆储存罐、进出两用气孔，所述真空转运箱上方安装有盖板，所述盖板内部设置有顶部海绵层，所述顶部海绵层内部安装有多组顶部限位槽，所述真空转运箱内部设有防震海绵层，所述防震海绵层内部设有多组储存罐收纳槽。本技术所述的一种晶圆转运装置，通过设置的真空转运箱，便于通过真空的环境转运晶圆，防止液体、灰尘侵入晶圆内部，导致晶圆质量不过关、出现问题等情况，通过设置的圆筒型晶圆储存罐，便于更好地保护内部储存的晶圆，配合真空转运箱制造真空的环境保护晶圆。

技术研发人员：郭忠
受保护的技术使用者：广东全芯半导体有限公司
技术研发日：20230927
技术公布日：2024/4/24