一种半导体固晶机的晶片推顶装置的制作方法

文档序号:37642394发布日期:2024-04-18 18:05阅读:13来源:国知局
一种半导体固晶机的晶片推顶装置的制作方法

本发明涉及半导体封装领域,具体涉及一种半导体固晶机的晶片推顶装置。


背景技术:

1、固晶机的芯片顶起装置的结构均采用伺服马达+偏心轮+铜导套和导柱结构,伺服马达带动偏心轮作旋转运动,旋转运动将偏心距转化成上、下直线运动,推动导柱在铜导套的保持导向下作上、下直线的位移运动,从而带动顶杆将芯片顶起、脱离蓝膜。

2、现有的推顶装置上的吸附盘上的吸附孔可能会堵塞,并且可能会有残胶滴落到吸附的孔内,难以清理,可能会造成元器件的损坏,在吸附用的压缩空气,空气中含有杂质,油污等,会造成元器件的污染,甚至损坏。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种半导体固晶机的晶片推顶装置,包括伺服电机,所述伺服电机的正面固定连接有固定架,所述固定架远离伺服电机的一端转动连接有偏心轮,所述固定架的顶部固定连接有顶起装置,所述顶起装置的外表面固定连接有过滤装置。

2、所述顶起装置包括底座,所述底座的外表面固定连接有连接管道,所述底座的顶部固定连接有外筒,所述外筒内壁底部固定连接有导向筒,所述导向筒靠近中轴线处滑动连接有夹持筒,所述夹持筒的内壁靠近中轴线处固定连接有顶针,所述导向筒的顶部固定连接有清堵部件,所述外筒远离底座的一端固定连接有吸盘,所述吸盘中轴线处开设有针孔,所述吸盘顶部均匀开设有气孔,能够通过伺服电机的配合,将晶片顶起,通过伺服电机,带动偏心轮转动,将夹持筒顶起,在导向筒内滑动,顶针穿过针孔,将晶片顶起。

3、所述清堵部件包括弹簧一,所述弹簧一的顶部固定连接有外圈,所述外圈的外表面固定连接有挡板,所述外圈的外表面固定连接有连接杆,所述连接杆远离外圈的一端固定连接有内圈,所述内圈的顶部开设有弧形槽,所述内圈的顶部均匀设置有长柱,且内圈的顶部与长柱的底部固定连接,所述长柱的顶部固定连接有顶锥,所述长柱的外表面固定连接有收集部件,能够对吸盘上的气孔进行清理,并且在不工作时,能够使得气孔不被滴落的残胶污染,导致气孔无法使用,在不使用时,通过弹簧一将外圈顶起使得长柱和气孔贴合,将气孔封堵,保证污染物不会进入,以防气孔被堵塞,而继续开启吸附,可能会导致机器的部分元件的损坏,在吸盘使用时,由于吸附力,使得外圈向下移动,将气孔打开,由于挡板增加面积,使得吸附力能够将外圈向下移动,内圈上均匀开设的弧形槽能够防止气孔中掉落到内圈上污渍沾附到表面,无法掉落,导致内圈和吸盘底部接触不平整,导致移动时,造成气孔和长柱造成损坏,在停止后,弹簧一会将外圈顶起,顶锥将残胶和污渍推出。

4、所述收集部件包括转板,所述长柱的靠近转板的一端固定连接有弧形板,所述长柱外表面均匀设置塑料刷毛,且长柱的外表面与塑料刷毛靠近长柱的一端固定连接,所述长柱外表面靠近弧形板的一端开设有方槽,所述长柱内部开设有内孔,能够将气孔掉落下来的杂质以及残胶进行收集,避免掉落到外筒内,在其内部造成污染以及堵塞,并且能够将气孔内壁上的污渍和残胶清理掉,防止气孔孔径不一,导致吸附不稳定,通过长柱在气孔内移动,塑料毛刷会对气孔内壁进行刷洗,同时由于吸附力,吹到转板上,使得长柱在内圈旋转,塑料毛刷对气孔内壁进行旋转清理,残胶和污渍松动掉落后,会被塑料毛刷卡住,在反复使用时,塑料毛刷相互摩擦,使得残胶体积变小,掉落到弧形板上,由于弧形板是向长柱方向倾斜,从方槽内滚落到内孔里。

5、所述过滤装置包括进气块,所述进气块的底部固定连接有油杯,所述进气块的底部固定连接有过滤柱,所述过滤柱的底部固定连接有挡水板,所述挡水板的底部转动连接有刮蹭部件,所述油杯的内壁滑动连接有移动部件,所述进气块远离连接管道的一端固定连接有调节阀,所述调节阀远离进气管的一端固定连接有油雾器,能够将压缩空气中的油污在等过滤下来,保证元器件不被污染,气体经过进气块流进油杯内,通过过滤柱将空气净化,流进调节阀,通过油雾器流经连接管道内。

6、所述刮蹭部件包括短柱,所述短柱的底部均匀设置有连接弯管,且短柱的底部与连接弯管远离进气块的一端固定连接,所述连接弯管远离短柱的一端固定连接有斜板,所述斜板靠近短柱的一端均匀设置有固定块,且斜板靠近短柱的一端与固定块远离短柱的一端固定连接,所述连接弯管内部开设有通孔,所述斜板靠近固定块的一端固定连接有刮环。

7、所述固定块远离斜板的一端开设有宽槽,所述宽槽内壁对称设置有橡胶板,且宽槽内壁顶部与橡胶板顶部转动连接,所述宽槽内壁远离橡胶板的一端固定连接有内板,所述内板内壁靠近橡胶板的一端固定连接有海绵板,所述海绵板远离橡胶板的一端固定连接有吸水绳,所述连接弯管的外表面开设有通槽,能够对过滤柱表面的污渍以及表面的油渍进行清理,如果不及时清理,表面覆盖的污渍会使得空气过滤的速率变慢,过滤效果不好,压缩空气从进气块流进油杯内,推动斜板使得短柱在挡水板内壁旋转,通过多个橡胶板将表面的污渍刮去,以及油渍刮去一部分,但依然会有一层油膜覆盖,通过海绵板将其表面的油膜吸附到海绵板内,如果直接用海绵板吸附,海绵会直接吸附饱满,效果不佳,海绵板被两块橡胶板夹住,在橡胶板刮过滤柱时,橡胶板会转动摇摆,对海绵板进行挤压,吸附到的油被挤出,滴落到斜块上,从通槽流到通孔内,流落到油杯内,在不工作时也能通过吸水绳将海绵板内的油析出。

8、所述移动部件包括中心柱,所述中心柱的顶部固定连接有上板,所述中心柱靠近上板的一端转动连接有转环,所述中心柱靠近转环的一端固定连接有橡胶盖,所述橡胶盖的底部固定连接有弹簧二,所述转环的顶部固定连接有连接环一,所述连接环一的数量为四个,所述连接环一的内壁套接有长绳,所述长绳远离连接环一的一端套接有连接环二,所述连接环二的两端固定连接有弯板,所述弯板远离中心柱的一端固定连接有碗形圈,所述碗形圈的外表面固定连接有橡胶环,能够将油杯内壁的油渍进行清理干净,并且能够将油杯内的油水混合物及时排出,避免油发生变质,导致过滤器发生损坏,积累的油不及时排出,会造成过滤效果不佳,在油杯内,橡胶盖将油杯底部封堵住,随着油杯内的油位增高,碗形圈向上移动,使得长绳发生绷紧,随着斜板转动,带动碗形圈发生转动,拉动长绳,带动转环,将中心柱向上移动,使得油杯底部能和外部连通,将油杯内的油排出,随着气压向下流动推动碗形圈向下移动,气流推动弯板,使得弯板向油杯内壁靠近,碗形圈由于能有一定变形,也向油杯内壁靠近,橡胶圈和油杯内壁更加贴合,使得清理的更为干净。

9、所述导向筒的顶部固定连接有弹簧一,所述气孔的内壁设置有塑料毛刷,且气孔的内壁有塑料毛刷远离长柱的一端相接触。

10、所述挡水板的底部转动连接有短柱,所述油杯内壁底部固定连接有弹簧二,所述油杯内壁滑动连接有碗形圈。

11、本发明的有益效果如下:

12、1.本发明通过设置清堵部件,能够对吸盘上的气孔进行清理,并且在不工作时,能够使得气孔不被滴落的残胶污染,导致气孔无法使用,在不使用时,通过弹簧一将外圈顶起使得长柱和气孔贴合,将气孔封堵,保证污染物不会进入,以防气孔被堵塞,而继续开启吸附,可能会导致机器的部分元件的损坏,在吸盘使用时,由于吸附力,使得外圈向下移动,将气孔打开,由于挡板增加面积,使得吸附力能够将外圈向下移动,内圈上均匀开设的弧形槽能够防止气孔中掉落到内圈上污渍沾附到表面,无法掉落,导致内圈和吸盘底部接触不平整,导致移动时,造成气孔和长柱造成损坏,在停止后,弹簧一会将外圈顶起,顶锥将残胶和污渍推出。

13、2.本发明通过设置收集部件,能够将气孔掉落下来的杂质以及残胶进行收集,避免掉落到外筒内,在其内部造成污染以及堵塞,并且能够将气孔内壁上的污渍和残胶清理掉,防止气孔孔径不一,导致吸附不稳定,通过长柱在气孔内移动,塑料毛刷会对气孔内壁进行刷洗,同时由于吸附力,吹到转板上,使得长柱在内圈旋转,塑料毛刷对气孔内壁进行旋转清理,残胶和污渍松动掉落后,会被塑料毛刷卡住,在反复使用时,塑料毛刷相互摩擦,使得残胶体积变小,掉落到弧形板上,由于弧形板是向长柱方向倾斜,从方槽内滚落到内孔里。

14、3.本发明通过设置刮蹭部件,能够对过滤柱表面的污渍以及表面的油渍进行清理,如果不及时清理,表面覆盖的污渍会使得空气过滤的速率变慢,过滤效果不好,压缩空气从进气块流进油杯内,推动斜板使得短柱在挡水板内壁旋转,通过多个橡胶板将表面的污渍刮去,以及油渍刮去一部分,但依然会有一层油膜覆盖,通过海绵板将其表面的油膜吸附到海绵板内,如果直接用海绵板吸附,海绵会直接吸附饱满,效果不佳,海绵板被两块橡胶板夹住,在橡胶板刮过滤柱时,橡胶板会转动摇摆,对海绵板进行挤压,吸附到的油被挤出,滴落到斜块上,从通槽流到通孔内,流落到油杯内,在不工作时也能通过吸水绳将海绵板内的油析出。

15、4.本发明通过设置移动部件,能够油杯内壁的油渍进行清理干净,并且能够将油杯内的油水混合物及时排出,避免油发生变质,导致过滤器发生损坏,积累的油不及时排出,会造成过滤效果不佳,在油杯内,橡胶盖将油杯底部封堵住,随着油杯内的油位增高,碗形圈向上移动,使得长绳发生绷紧,随着斜板转动,带动碗形圈发生转动,拉动长绳,带动转环,将中心柱向上移动,使得油杯底部能和外部连通,将油杯内的油排出,随着气压向下流动推动碗形圈向下移动,气流推动弯板,使得弯板向油杯内壁靠近,碗形圈由于能有一定变形,也向油杯内壁靠近,橡胶圈和油杯内壁更加贴合,使得清理的更为干净。

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