一种双线式裸晶芯片测试分选机的制作方法

文档序号:37019295发布日期:2024-02-09 13:11阅读:85来源:国知局
一种双线式裸晶芯片测试分选机的制作方法

本发明涉及芯片生产线,具体涉及一种双线式裸晶芯片测试分选机。


背景技术:

1、裸晶芯片在生产过程中存在一定不良率,若流入后续工段会导致成品不合格造成物料浪费。

2、传统技术中多采用人工对裸晶芯片逐一测试,然后分选出不合格裸晶芯片,此方式工作效率极低。


技术实现思路

1、鉴于以上所述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种双线式裸晶芯片测试分选机,用于解决现有技术中采用人工测试分选裸晶芯片工作效率低的问题。

2、为实现上述目的及其他相关目的,本发明提供一种双线式裸晶芯片测试分选机,包括机台,在所述机台上设置有直线模组;

3、在所述机台上设置有第一分选线和第二分选线,第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧,用于同时分选不同规格的芯片;

4、所述第一分选线和第二分选线为相同的结构,均包括:

5、摇盘供料机构,用于堆叠储料;

6、第一动子平台,用于未检测裸晶芯片的输送;

7、检测机构,用于检测裸晶芯片ir值,以筛选不合格品;

8、第二动子平台,用于检测后的合格裸晶芯片的输送;

9、摇盘收料机构,用于合格裸晶芯片堆叠收料;

10、所述直线模组包括第一直线模组和第二直线模组,所述第一直线模组和第二直线模组上均设置有支架,第一直线模组的支架两端分别装配有第一夹爪机构,单个所述第一夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的摇盘供料机构与第一动子平台之间,用于第一分选线和第二分选线同时上料;第二直线模组的支架两端分别装配有第二夹爪机构,单个所述第二夹爪机构活动在对应侧的同一分选线的第二动子平台与摇盘收料机构之间,用于第一分选线和第二分选线同时下料。

11、于本发明的一实施例中,所述摇盘供料机构和摇盘收料机构为相同的机构,均包括:

12、装配在机台的下端的第三直线模组,第三直线模组的活动端连接有顶板,顶板可活动的延伸至机台上端;顶板上堆叠有摇盘,裸晶芯片置于摇盘上;

13、在所述机台的上端设置有围栏,围栏环设在顶板外侧以防护堆叠的摇盘。

14、于本发明的一实施例中,述围栏上端设置有对射式检测传感器,用于检测顶板上端摇盘的堆叠状态。

15、于本发明的一实施例中,所述第一动子平台和第二动子平台为相同的结构,均包括:

16、磁板,配合在磁板上行走的直线电机;

17、在所述直线电机上端设置移栽座,所述移栽座上设置有摇盘检知开关。

18、于本发明的一实施例中,所述检测机构包括:

19、第一支撑架,在所述第一支撑架上装配有第四直线模组;

20、第四直线模组的活动端上设置有探针座,探针座具有若干探针,用于接触摇盘上的待裸晶芯片通电以检测裸晶芯片ir值;

21、在所述探针座上还设置有热电偶,热电偶中穿接有加热棒;

22、在所述热电偶上设置有若干喷头,用于吹热风以干燥探针与裸晶芯片的接触位置。

23、于本发明的一实施例中,在所述第一支撑架上还设置有中转夹爪机构,用于在裸晶芯片检测后在第一动子平台与第二动子平台之间进行上下料。

24、于本发明的一实施例中,所述第一夹爪机构、第二夹爪机构、中转夹爪机构为相同的结构,均包括:

25、第五直线模组,在所述第五直线模组的活动端上设置有夹爪气缸,夹爪气缸的输出端上设置有一对能够相对分离聚合配合的夹爪,在所述夹爪的夹持端上设置有勾爪,用于嵌入摇盘的侧端。

26、于本发明的一实施例中,所述第一直线模组、第二直线模组、第三直线模组、第四直线模组、第五直线模组为相同的结构,均包括:

27、直线导轨,所述直线导轨上配合有滑块;

28、在所述直线导轨的一端装配有驱动电机,驱动电机的输出端设置有丝杆,丝杆啮合穿接滑块。

29、于本发明的一实施例中,所述机台上还设置有ng料下料机构,包括第二支撑架,在所述第二支撑架的上端设置有第二磁板,第二磁板上设置有第二直线电机,在第二直线电机上装配有连接座;

30、在所述连接座上装配有旋转电机,旋转电机的输出端上设置有偏心轮,偏心轮上套接有提拉板,提拉板的下端设置有ng料取放机构;

31、所述第二支撑架的一侧设置有ng料分bin盒。

32、于本发明的一实施例中,所述ng料取放机构包括第二立架,第二立架上设置有吸笔杆,单个吸笔杆的上端设置有独立气缸、下端设置有复位弹簧。

33、如上所述,本发明的双线式裸晶芯片测试分选机,具有以下有益效果:

34、1、通过设置双分选线,同一直线模组能够对两条分选线进行同步传送,一个结构多用,节省成本;单个所述分选线上的摇盘供料机构、第一动子平台、检测机构、第二动子平台、摇盘收料机构连续配合,并且能够进行独立动作,配合分选线传送的直线模组上对应设置动作可独立的夹爪机构,可以同时且独立的测试两种不同尺寸的芯片,极大的提高了芯片的测试分选效率。

35、2、通过设置ng料下料机构,能够将测试不合格产品及时分选出来,代替人工分拣,避免不合格产品流入后续工段影响后续产品的成型效果。

36、3、本发明通过摇盘供料机构和摇盘收料机构对裸晶芯片进行自动上下料,第一夹爪机构将摇盘供料机构上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台上,经第一动子平台移料至检测机构上,经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台上,此时,ng料下料机构对于摇盘上检测不合格的裸晶芯片进行吸取并置于ng料分bin盒中,第二夹爪机构将第二动子平台上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构上,以便于后续加工使用;因此,本发明能够实现自动化和机械化的裸晶芯片测试分选,极大的取代了人工作业,自动化程度高。



技术特征:

1.一种双线式裸晶芯片测试分选机,包括机台,在所述机台上设置有直线模组;

2.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于,所述摇盘供料机构和摇盘收料机构为相同的机构,均包括:

3.根据权利要求2所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述围栏上端设置有对射式检测传感器,用于检测顶板上端摇盘的堆叠状态。

4.根据权利要求2所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述第一动子平台和第二动子平台为相同的结构,均包括:

5.根据权利要求2所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述检测机构包括:

6.根据权利要求5所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:在所述第一支撑架上还设置有中转夹爪机构,用于在裸晶芯片检测后在第一动子平台与第二动子平台之间进行上下料。

7.根据权利要求6所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于,所述第一夹爪机构、第二夹爪机构、中转夹爪机构为相同的结构,均包括:

8.根据权利要求7所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述第一直线模组、第二直线模组、第三直线模组、第四直线模组、第五直线模组为相同的结构,均包括:

9.根据权利要求1所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述机台上还设置有ng料下料机构,包括第二支撑架,在所述第二支撑架的上端设置有第二磁板,第二磁板上设置有第二直线电机,在第二直线电机上装配有连接座;

10.根据权利要求9所述的双线式裸晶芯片测试分选机,其特征在于:所述ng料取放机构包括第二立架,第二立架上设置有吸笔杆,单个吸笔杆的上端设置有独立气缸、下端设置有复位弹簧。


技术总结
本发明涉及芯片生产线技术领域,具体提供了一种双线式裸晶芯片测试分选机,包括机台,机台上设置有直线模组;机台上还设置有第一分选线和第二分选线,第一分选线和第二分选线分布在直线模组的两侧;所述第一分选线和第二分选线为相同的结构,均包括:摇盘供料机构、第一动子平台、检测机构、第二动子平台、摇盘收料机构;本发明通过第一夹爪机构将摇盘供料机构上承载裸晶芯片的摇盘逐一夹取移料至第一动子平台上,经第一动子平台移料至检测机构上,经检测后的裸晶芯片通过中转夹爪机构夹取并移料至第二动子平台上,第二夹爪机构将第二动子平台上承载合格裸晶芯片的摇盘夹取至摇盘收料机构上,以便于后续加工使用。

技术研发人员:陈能强,陈海博
受保护的技术使用者:无锡昌鼎电子有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/2/8
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