本技术涉及硅片生产领域,尤其涉及一种硅片输送装置。
背景技术:
1、硅片在切割后先要进行脱胶清洗,脱胶清洗完成后对硅片进行分片,然后将分片后的硅片经插片机插入到花篮内。为实现硅片的自动化生产,在将硅片从脱胶清洗到分片的过程中会采用输送装置自动传输。输送装置对硅片传输过程中,为防止硅片相贴合,使硅片磨损或压碎,会设置有夹紧机构,利用夹紧机构夹持硅片并同步进行传输。
2、在发明专利cn113394150b中公开了一种硅片输送分散装置,该硅片输送分散装置包括传送组件、夹紧组件及喷水组件。其中夹紧组件包括夹紧驱动单元,夹紧驱动单元分别连接于第一支架及第二支架,使第一支架与第二支架能够相向或向背运动,以改变用于放置硅片的容置区的容积,从而使皮带能够夹紧硅片。夹紧单元包括与支架连接的导轨和驱动支架沿导轨运动的电机。在每一支架上分别设置有各自的导轨和电机进行控制。该夹紧组件结构复杂,对传送组件中两个皮带存在控制同步性差,装置成本高等缺陷。
技术实现思路
1、为了克服现有技术中的缺陷,本实用新型实施例提供了一种硅片输送装置,该输送装置能够实现同步调节两个夹紧组件间的距离,操作方便,结构简单,适用于不同尺寸的硅片的输送。
2、为达到上述目的,本实用新型采用的技术方案是:一种硅片输送装置,包括:
3、输送机构,所述输送机构用于硅片的传输;
4、夹紧机构,所述夹紧机构设于所述输送机构的一侧,用于夹持硅片并与所述输送机构同步传输硅片;所述夹紧机构包括两个夹紧组件,连接于两个夹紧组件间的至少一个调节组件;两个夹紧组件间具有用于放置硅片的容纳空间;所述调节组件能同步驱动两个所述夹紧组件沿两者的排布方向相向或相背运动,以调节所述容纳空间的宽度,使硅片传输时,两个夹紧组件分别夹持于硅片相对的两侧。
5、通过在两个夹紧组件间连接调节组件,由一调节组件能驱动两个夹紧组件同步运动,保证对硅片的夹持固定效果。
6、作为进一步的改进,所述调节组件包括沿容纳空间的宽度方向设置的第一主动轮、第一从动轮,套设于所述第一主动轮和第一从动轮上的第一皮带,与第一主动轮相连的第一驱动机构,分别连接在所述第一皮带相对两侧的第一调节件和第二调节件,所述第一调节件和第二调节件与两个所述夹紧组件分别对应连接。
7、通过所述第一驱动机构驱动所述第一主动轮转动,从而带动所述第一从动轮、第一皮带转动。第一皮带在转动过程中,其相对的两侧运动方向相反。因为所述第一调节件和第二调节件分别连接在第一皮带相对的两侧,所以所述第一调节件和第二调节件随第一皮带的转动具有相反的运动方向。且第一调节件和第二调节件由一个第一皮带带动,因此,两者能够实现同步运动。进而由所述第一调节件、第二调节件带动的两个夹紧组件也具有同步的相反的运动方向。在需要放置硅片时,可使两个夹紧组件相背运动,增大容纳空间的宽度,便于硅片进入。在需要固定硅片时,可使两个夹紧组件相向运动,使两个夹紧组件分别与硅片相对的两侧相接触,将硅片夹紧防止其晃动与相邻硅片相接触或发生堆叠。
8、作为进一步的改进,调节件包括与夹紧组件相连的连接块,连接于所述连接块上的夹块,所述夹块与所述第一皮带相连。所述连接块与所述夹块设置为可拆卸连接。在加工第一调节件、第二调节件时,可使用同一规格的连接块,再根据需要连接的第一皮带的不同位置设置不同尺寸的夹块,减少零件种类,便于加工。
9、作为进一步的改进,所述调节组件还包括第一支撑座,设置于所述第一支撑座与所述第一调节件间,所述第一支撑座与所述第二调节件间的导向机构。所述第一支撑座可包括固定板,设置在固定板上用于套接第一主动轮、第一从动轮的支架。设置导向机构对调节件的滑动方向进行导向,使调节件能够按预设路径带动夹紧组件移动。
10、作为进一步的改进,所述导向机构包括相配合的导轨和滑块。具体的,可在所述第一支撑座上沿两个夹紧组件的排布方向设置导轨,在调节件的连接块上设置与导轨相配合的滑块,滑块与导轨相对的一侧具有导槽,从而实现对调节件的导向作用。还可以在所述第一支撑座上沿两个夹紧组件的排布方向设置导槽,在调节件的连接块上设置与导槽相配合的滑块。
11、作为进一步的改进,所述夹紧机构包括两个调节组件,两个调节组件相对设置在夹紧组件的两端。在夹紧组件的两端同时设置调节组件,使夹紧组件两端同时受力运动,保证其整体发生平移。
12、作为进一步的改进,所述第一驱动机构为第一电机。所述第一电机可与控制系统相连,通过预设的控制程序控制第一电机的运动,实现对硅片的夹持。在硅片尺寸发生变化时,只需调整控制系统中的控制程序,不需要专业人员去改变调节组件中各部件的具体位置,其调节方便,适用范围广。
13、作为进一步的改进,所述夹紧组件包括第二支撑座,沿容纳空间长度方向设置在所述第二支撑座上的第二主动轮和第二从动轮,套设在所述第二主动轮和第二从动轮上的第二皮带,与所述第二主动轮相连的第二驱动机构。在传输时,硅片位于两个第二皮带间,被第二皮带夹持并移动。
14、作为进一步的改进,所述输送机构包括底框,沿容纳空间长度方向相对设置的两个第一传动轴,套设在所述第一传动轴上至少两个皮带轮,套设在两个所述第一传动轴对应的两个皮带轮上的第三皮带,套设在所述第一传动轴上的第三从动轮,与所述第三从动轮经第四皮带相连的第三主动轮,与所述第三主动轮相连的第三驱动机构。所述输送机构可设置在所述夹紧机构的下方,用于承载并移动硅片。
15、作为进一步的改进,所述硅片输送装置还包括接料机构,所述接料机构连接于所述输送机构输送方向的一端,所述接料机构的长度大于等于950mm,使接料机构能够一次容纳输送机构上的全部硅片。
16、由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
17、1.通过在两个夹紧组件间连接调节组件,由一调节组件能驱动两个夹紧组件同步运动,保证对硅片的夹持固定效果。
18、2.利用第一驱动机构驱动第一主动轮转动,从而带动第一从动轮、第一皮带转动。第一调节件和第二调节件分别连接在第一皮带相对的两侧,随第一皮带的转动具有相反的运动方向,且能够实现两者同步运动,该调节组件结构简单,操作方便。在硅片尺寸发生变化时,只需调整控制系统中的控制程序,不需要专业人员去改变调节组件中各部件的具体位置,其调节方便,适用范围广。
19、为让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂,下文特举较佳实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。
1.一种硅片输送装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述调节组件包括沿容纳空间的宽度方向设置的第一主动轮、第一从动轮,套设于所述第一主动轮和第一从动轮上的第一皮带,与第一主动轮相连的第一驱动机构,分别连接在所述第一皮带相对两侧的第一调节件和第二调节件,所述第一调节件和第二调节件与两个所述夹紧组件分别对应连接。
3.根据权利要求2所述的硅片输送装置,其特征在于,调节件包括与夹紧组件相连的连接块,连接于所述连接块上的夹块,所述夹块与所述第一皮带相连。
4.根据权利要求2所述的硅片输送装置,其特征在于,所述调节组件还包括第一支撑座,设置于所述第一支撑座与所述第一调节件间,所述第一支撑座与所述第二调节件间的导向机构。
5.根据权利要求4所述的硅片输送装置,其特征在于,所述导向机构包括相配合的导轨和滑块。
6.根据权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述夹紧机构包括两个调节组件,两个调节组件相对设置在夹紧组件的两端。
7.根据权利要求2所述的硅片输送装置,其特征在于,所述第一驱动机构为第一电机。
8.根据权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述夹紧组件包括第二支撑座,沿容纳空间长度方向设置在所述第二支撑座上的第二主动轮和第二从动轮,套设在所述第二主动轮和第二从动轮上的第二皮带,与所述第二主动轮相连的第二驱动机构。
9.根据权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述输送机构包括底框,沿容纳空间长度方向相对设置的两个第一传动轴,套设在所述第一传动轴上至少两个皮带轮,套设在两个所述第一传动轴对应的两个皮带轮上的第三皮带,套设在所述第一传动轴上的第三从动轮,与所述第三从动轮经第四皮带相连的第三主动轮,与所述第三主动轮相连的第三驱动机构。
10.根据权利要求1所述的硅片输送装置,其特征在于,所述硅片输送装置还包括接料机构,所述接料机构连接于所述输送机构输送方向的一端,所述接料机构的长度大于等于950mm。