电力供给恢复时能短时间无损伤地再启动的气体激光系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种气体激光系统，其在由于停电等原因电力供给被切断后恢复电力供给时，能够在短时间内无损伤地再启动。
【背景技术】
[0002]一般，气体激光振荡器在更换了激光振荡器内的激光气体后进行启动。对此，例如在日本专利第2737177号公报(JP2737177B)中记载了一种方法，即为了缩短激光振荡器的启动所需要的时间，在一定条件下，省略启动时的激光气体的更换工序的一部分。在JP2737177B所记载的方法中，在进行了激光振荡器的停止动作后，当激光振荡器的动作停止时间在一定时间以内或者激光振荡器内的气体温度在一定温度以上时，省略激光气体的更换工序的一部分。
[0003]JP2737177B提出一种关于正常地进行了激光振荡器的停止动作后的再启动的方法。因此，例如在由于停电等原因意外地切断了电力的情况下，无法应用JP2737177B所记载的方法。另一方面，在由于停电等原因切断了电力时，如果到再启动的时间过短，则构成气体激光系统的一部分设备会产生损伤。
【发明内容】
[0004]本发明的一个方式的气体激光系统具备:电源部；激光振荡器，其通过从电源部提供的电力而进行动作，包含在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间的设备；控制装置，其控制激光振荡器；电力下降检测部，其检测低于能够使激光振荡器正常动作的电力值的、来自电源部的供给电力的下降；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。并且，控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。
[0005]另外，本发明的另一方式的气体激光系统具备:电源部；激光振荡器，其通过从电源部提供的电力进行动作；设备，其通过从电源部提供的电力进行动作，在由于来自电源部的供给电力的下降而停止了动作后，在正常地开始动作之前需要预定的待机时间；控制装置，其控制激光振荡器以及设备；电力下降检测部，其检测低于能够使激光振荡器正常动作的电力值的、来自电源部的供给电力的下降；以及非易失性存储部，其存储通过电力下降检测部检测出供给电力下降的第一时刻的时刻数据。并且，控制装置根据从通过非易失性存储部中存储的时刻数据而得到的第一时刻到输出下一次的系统启动指令的第二时刻的时间，计算设备的动作停止时间，当该动作停止时间超过预定的待机时间时，允许设备的动作重新开始，在动作停止时间在预定的待机时间以内时，禁止设备的动作重新开始。
【附图说明】
[0006]通过与附图相关联地对本实施方式进行说明，本发明的目的、特征以及优点更加明确。在该附图中，
[0007]图1概要地表示构成本发明的实施方式的气体激光系统的激光振荡器的结构。
[0008]图2是表示本发明的实施方式的气体激光系统的概要结构的框图。
[0009]图3是表示本发明的实施方式的气体激光系统的主要动作的时序图。
[0010]图4是表示与图3不同的动作的时序图。
[0011]图5是表示与图3、图4不同的动作的时序图。
[0012]图6是表示图3的变形例的时序图。
[0013]图7是表示图2的变形例的框图。
[0014]图8是表示图7的气体激光系统的主要动作的时序图。
[0015]图9是表示图2的变形例的框图。
【具体实施方式】
[0016]以下参照图1?图8对本发明的实施方式进行说明。图1概要地表示构成本发明的实施方式的气体激光系统的激光振荡器I的结构。本实施方式的气体激光系统能够在加工、医疗、测量等广泛的领域中使用。
[0017]如图1所示，激光振荡器I具备激光气体进行循环的气体流路2、与气体流路2连通的放电管3、间隔放电管3而配置的输出镜4以及后镜5、对放电管3施加电压(放电管电压)的激光电源6、使激光气体沿着气体流路2循环的送风机7、向气体流路2供给激光气体的供气装置8以及从气体流路2排出激光气体的排气装置9。
[0018]气体流路2通过激光气体容器2a形成。激光气体容器2a是密闭的真空容器，在与大气隔绝的状态下将预定的激光气体封入激光气体容器2a中。作为激光气体，使用包括二氧化碳气体、氮气、氩气等激光介质的激光振荡用的介质气体。
[0019]激光电源6与气体激光系统的电源部20(图2)连接，从电源部20向激光电源6提供电力。控制部10包含运算处理装置而构成，该运算处理装置具有CPU、ROM、RAM以及其他的周边电路等，控制部10控制从激光电源6提供给放电管3的电力。当从激光电源6向放电管3提供了电力时，即当施加了放电管电压时，激光气体在经过放电管3的过程中被激励，成为激光活性状态。通过放电管3产生的光在输出镜4和后镜5之间被放大，其中一部分作为激光11从输出镜4输出。该激光11经过可开闭的快门12，照射对象物。
[0020]送风机7包含送风机驱动用电动机(以下称为送风机电动机)和通过送风机电动机驱动的风扇或风机而构成。经由未图示的送风机逆变器从电源部20(图2)向送风机7提供电力，通过该电力送风机7进行旋转，使激光气体沿着气体流路2进行循环。电源部20和送风机逆变器以及送风机电动机形成送风机驱动用电气电路(送风机电路)，送风机7通过经由送风机电路提供的电力进行旋转。
[0021]在送风机7的上游侧和下游侧的气体流路2上分别设置有第一热交换器13和第二热交换器14。在各热交换器13，14中流动预定的冷媒(例如冷却水)。激光气体在经过热交换器13，14时通过与该冷媒的热交换被冷却，保持为预定温度。
[0022]在气体流路2上分别连接有供气流路15以及排气流路16。在供气流路15上设置有供气装置8，在排气流路16上设置有排气装置9。供气装置8包括可开闭的供气阀，排气装置9包括可开闭的排气阀和真空泵。根据来自控制部10的信号控制供气装置8和排气装置9。
[0023]在供气流路15上连接有贮存激光气体的高压的气罐(未图示)。因此，当打开供气阀时，从气罐经由供气阀向气体流路2供给激光气体。另一方面，当打开排气阀并驱动真空泵时，经由排气阀从气体流路2将激光气体进行排气。当封闭了供气阀以及排气阀时，气体流路成为密闭状态。
[0024]在激光振荡时，经由供气流路15和排气流路16向气体流路2供给激光气体以及对气体流路2进行激光气体的排气，进行激光气体容器2a内的激光气体的微量的更换。在第一热交换器13的下游侧且送风机7的上游侧设置气压检测器17，通过气压检测器17检测激光气体容器2a内的气压。控制部10根据气压检测器17的检测值向送风机7、供气装置8以及排气装置9输出控制信号，将激光气体容器2a内的气压控制为预定的气压。
[0025]当指令了以上那样构成的激光振荡器I的启动时，激光振荡器I在根据来自控制部10的指令预先进行了预定的准备动作后，开始放电动作。准备动作例如包括通过排气装置9将激光气体容器2a内的气体进行排气的工序和在排气工序后通过供气装置8向激光气体容器2a内供给预定压力的激光气体的工序，通过准备动作来置换激光气体容器2a内的气体。另外，可以在排气工序完成之前开始供气工序。
[0026]另一方面，在放电完成后，正常地停止激光振荡器I的运转时，激光振荡器I根据来自控制部10的指令进行预定的正常停止动作。正常停止动作包括关闭供气装