激光器谐振腔的制作方法_2

文档序号:9305977阅读:来源:国知局
为第二平面200的P偏振,第一平面100的P偏振为第二平面200的s偏振,在此将同一个偏振方向的激光束做统一标记,即第一平面100内的s偏振和第二平面200内的P偏振标记为a偏振,第一平面100内的P偏振和第二平面200内的s偏振标记为b偏振,a偏振和b偏振的偏振方向相互垂直。虽然在第二平面200中s偏振具有大的反射率,P偏振具有小的反射率,但是实际刚好与第一平面100中的情况相反。即在第一平面100中具有大反射率的a偏振或者b偏振,在第二平面200内却只有小反射率的a偏振或者b偏振;在第一平面100内具有小反射率的a偏振或者b偏振,在第二平面200内却只有大反射率的a偏振或者b偏振。另外,采用的第一折反镜11、第二折反镜12、第三折反镜13和第四折反镜14为相同的折反镜,这样,两个相互正交的a偏振和b偏振在激光器谐振腔I内具有了相同的反射率,从而消除了各折反镜反射率差异和模式竞争效应共同引起的偏振效应,达到了均匀消偏振的目的。
[0023]请参照图3和图4,本发明实施例提供的激光器谐振腔I通过相互垂直的第一平面100和第二平面200,并且所采用的第一折反镜11、第二折反镜12、第三折反镜13和第四折反镜14为相同的折反镜,保证了激光器谐振腔I内光路3中的a偏振和b偏振具有相同的反射率,通过将激光束在第一平面100和第二平面200内的光路3被折叠的次数相同,消除了同一平面内折反镜对激光束的偏振影响。与此同时,也增加了激光器谐振腔I的长度,有利于提高激光束的质量和增强激光强度。
[0024]请参照图3和图4,进一步地,位于所述第一平面100内的所述第一折反镜11、所述第二折反镜12和所述第三折反镜13的反射平面与所述第一平面100平行,位于所述第二平面200内的所述第二折反镜12、所述三折反镜和所述第四折反镜14的反射平面与所述第二平面200平行。可以理解地,所述第一折反镜11与第一光路30在第一平面100内形成的入射平面为第一平面100,第二折反镜12与第二光路31在第一平面100内形成的入射平面为第一平面100,第三折反镜13与第三光路32在第二平面200内形成的入射平面为第二平面200,第四折反镜14与第四光路33在第二平面200内形成的入射平面为第二平面200。
[0025]请参照图3和图4,进一步地,所述激光束的s偏振和P偏振在所述光路3上相互垂直且均垂直于所述光路3。具体地,所述激光束的s偏振和P偏振在第一光路30上相互垂直且均垂直于第一光路30,在第二光路31上相互垂直且垂直于第二光路31,在第三光路32上相互垂直且垂直于第三光路32,在第四光路33上相互垂直且垂直于第四光路33以及在第五光路34上相互垂直且垂直于第四光路33。激光束在各光路3的反射过程中,所引起的反射率差为AR= ARAARdARZARfAR5,其中,Δ&、AR2, AR3, Δ R4和AR5分另Ij为激光束在第一光路30、第二光路31、第三光路32、第四光路33和第五光路34上的反射率。由于第一平面100与第二平面200相互垂直,且激光束在各光路3中的s偏振和P偏振的反射率相同,并且激光束的光路3在第一平面100内被折叠了三次以及在第二平面200内也被折叠了三次,这样使得激光束在整个光路3中的反射率差△ R=O,从而使激光器谐振腔I均勾消偏振。
[0026]请参照图3和图4,所述尾镜10、所述第一折反镜11、所述第二折反镜12、所述第三折反镜13和所述第四折反镜14为全反射镜,所述输出镜15为半透半反镜。可以理解地,所述激光束入射至尾镜10并由尾镜10将激光束完全反射至第一折反镜11,由第一折反镜11将尾镜10反射的激光束完全反射至第二折反镜12,由第二折反镜12将第一折反镜11反射的激光束完全反射至第三折反镜13,由第三折反镜13将第二折反镜12反射的激光束完全反射至第四折反镜14,由第四折反镜14将第三折反镜13反射的激光束完全反射至输出镜15,并由输出镜15将激光进行反射和透射,第一折反镜11、第二折反镜12、第三折反镜13和第四折反镜14为相同的全反射镜,在光路3中相互正交的s偏振和P偏振具有相同的反射率,从而消除了各折反镜的反射率差异和模式竞争效应共同引起的偏振效应,到达了均匀消偏振的目的。优选地,所述全折反镜为高反射率的偏振元件、平面镜、凹面镜或其他复曲面镜。可选地,所述高反射率的偏振元件为具有偏振选择性膜的高折反镜或者光栅。
[0027]以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
【主权项】
1.一种激光器谐振腔,其特征在于,包括沿激光束的光路依次顺序连接且分布于不同平面的尾镜、第一折反镜、第二折反镜、第三折反镜、第四折反镜以及输出镜,所述尾镜、所述第一折反镜、所述第二折反镜和所述第三折反镜位于第一平面上,所述第二折反镜、所述第三折反镜、所述第四折反镜和所述输出镜位于第二平面上,所述第一平面与所述第二平面相互垂直;所述光路在所述第一平面上的所述尾镜、所述第一折反镜、所述第二折反镜和所述第三折反镜之间的被折叠次数和在所述第二平面上的所述第二折反镜、所述第三折反镜、所述第四折反镜和所述输出镜之间的被折叠次数相同,相邻两个光路相互垂直。2.如权利要求1所述的激光器谐振腔,其特征在于,位于所述第一平面内的所述第一折反镜、所述第二折反镜和所述第三折反镜的反射平面与所述第一平面平行,位于所述第二平面内的所述第二折反镜、所述三折反镜和所述第四折反镜的反射平面与所述第二平面平行。3.如权利要求1所述的激光器谐振腔,其特征在于,所述激光束的s偏振和P偏振在所述光路上相互垂直且均垂直于所述光路。4.如权利要求1所述的激光器谐振腔,其特征在于,所述尾镜、所述第一折反镜、所述第二折反镜、所述第三折反镜和所述第四折反镜为全反射镜,所述输出镜为半透半反镜。5.如权利要求4所述的激光器谐振腔,其特征在于,所述全反射镜为高反射率的偏振元件、平面镜、凹面镜或其他复曲面镜。6.如权利要求5所述的激光器谐振腔,其特征在于,所述高反射率的偏振元件为具有偏振选择性膜的高反射镜或者光栅。
【专利摘要】本发明适用于激光技术领域,提供了一种激光器谐振腔,旨在解决现有技术中激光器谐振腔偏振无法消除的问题。该激光器谐振腔包括沿激光束的光路依次顺序连接且分布于不同平面的尾镜、第一折反镜、第二折反镜、第三折反镜、第四折反镜以及输出镜,第一平面与第二平面相互垂直;光路在第一平面和在第二平面上被折叠的次数相同,相邻两个光路相互垂直。激光器谐振腔内光路中的s偏振和p偏振具有相同的反射率,通过将激光束在第一平面和第二平面内的光路被折叠的次数相同,消除了同一平面内折反镜对激光束的偏振影响。<pb pnum="1" />
【IPC分类】H01S3/081
【公开号】CN105024263
【申请号】CN201410156089
【发明人】魏宁, 刘晋, 卢洪湖, 周桂兵, 陈根余, 陈燚, 高云峰
【申请人】大族激光科技产业集团股份有限公司
【公开日】2015年11月4日
【申请日】2014年4月17日
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