一种管式压轮及刻蚀清洗机的制作方法

文档序号:8608037阅读:145来源:国知局
一种管式压轮及刻蚀清洗机的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型属于刻蚀清洗机技术领域,具体是涉及一种管式压轮及刻蚀清洗机。
【背景技术】
[0002]刻蚀作为太阳能电池制作生产中的第三道工序,其主要作用是去除扩散后硅片四周的N型硅,放置漏电。目前,晶体硅太阳能电池一般采用干法和湿法两种刻蚀方法,其中太阳能电池在湿制过程工序酸碱清洗过程中,硅片表面残留了大量的药液会带入下一个槽体,通过在槽体末端安装风刀可以吹干残夜,但是风刀在吹气时会导致硅片受力翘起,从而造成硅片在下一个槽体内走斜,造成硅片出现卡片、叠片等状况。
[0003]目前,为了解决上述问题,是通过在刻蚀清洗机的风刀前后安装一种圆片式上压轮I’,参照图1,圆片式压轮I’是由一组圆片式的轮子2’通过杆子3’串联组成,圆片式的轮子2’两两之间会有一定间隔,在硅片实际生产过程中,风刀部分出风孔很容易被杂质堵塞,导致其他位置风力过大,从而导致硅片在流过时还会发生异常,在风刀前面的硅片表面上药液残留严重,并没有根本性解决问题。
【实用新型内容】
[0004]发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本实用新型提供一种可以有效去除硅片表面残夜的管式压轮及刻蚀清洗机。
[0005]技术方案:为解决上述技术问题,本实用新型的一种管式压轮,包括碳棒和环套在所述碳棒上的管式压轮本体,所述管式压轮本体是由若干根具有相同结构的管子通过管子端口与管子端口之间无间隙接触连接组成。
[0006]进一步地,所述管式压轮本体通过管子端口与管子端口之间焊接连接组成。
[0007]进一步地,所述管子为圆柱体,所述碳棒为圆形碳棒,所述碳棒端口直径小于所述管子端口直径,所述碳棒高度小于所述管子的高度。
[0008]进一步地,所述管子制造材料为偏氟乙烯均聚物。
[0009]进一步地,所述管子的数量为5根。
[0010]进一步地,所述管子端口切面光滑。
[0011]本实用新型的一种刻蚀清洗机,还包括第一槽体以及设于所述第一槽体内的风刀,所述管式压轮设于所述风刀一侧,所述管式压轮与所述风刀平行。
[0012]有益效果:本实用新型提供的管式压轮及具有该管式压轮的刻蚀清洗机与现有技术相比,具有的优点是:
[0013]1、通过加装管式压轮防止硅片翘起走斜,减少硅片在清洗刻蚀机内发生异常,降低报废;
[0014]2、管式压轮随硅片转动与硅片表面紧密贴合,能预先效去除大部分硅片表面残液,减少药液流失,提高风刀吹干效果;
[0015]3、延长风刀使用寿命,降低风刀更换频率,减少停机时间;
[0016]4、降低化学品废液的排放,节约处理成本。
【附图说明】
[0017]图1是圆片式上压轮结构示意图;
[0018]图2是管式压轮结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面结合附图和实施例对本实用新型作更进一步的说明。
[0020]参照图2,一种管式压轮,包括碳棒I和环套在所述碳棒I上的管式压轮本体2,所述管子3为圆柱体,所述碳棒I为圆形碳棒,所述碳棒I端口圆面直径小于所述管子3端口圆面的直径,所述碳棒I高度小于所述管子3的高度,所以所述管式压轮本体2正好套在所述碳棒上,所述管式压轮本体2包括若干根具有相同结构的管子3,所述管式压轮本体2是由若干根管子前后连接组合而成,所述管式压轮本体2是通过一根管子前端圆面端口与另一根管子后端圆面端口之间连接,这样由多根管子共同组成了所述管式压轮本体2。
[0021]在本实用新型实施例中,包括一根碳棒I和套在所述碳棒I上的所述管式压轮本体2,所述管式压轮本体2是由5根管子通过前后端口焊接连接组合而成,所述管子3为PVDF (氟乙烯均聚物)材料制作的管子,PVDF材料具有很好的耐酸效果,5根PVDF材料的管子两端切面要求光滑,每根PVDF管子与其连接的管子之间无间隙接触,每根PVDF管子与其连接的管子之间通过焊接连接,能够有效的将硅片表面的大部分残液体切掉,同时也实现将硅片压住的功能,避免硅片在风刀的吹动下抖动。
[0022]本实用新型提供了一种刻蚀清洗机,该刻蚀清洗机包括了上述所述管式压轮,还包括第一槽体以及设于所述第一槽体内的风刀,所述管式压轮设于所述风刀一侧,所述管式压轮与所述风刀平行,所述管式压轮位于硅片一侧,在硅片生产过程中,所述管式压轮正好压在硅片上表面,硅片在风刀前表面药液残留严重,所述管式压轮在防止硅片走斜的同时能有效的去除大部分硅片表面残液,减少药液流失,提高风刀吹干效果。
[0023]以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出:对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种管式压轮,其特征在于:包括碳棒(I)和环套在所述碳棒(I)上的管式压轮本体(2),所述管式压轮本体(2)是由若干根具有相同结构的管子(3)通过管子端口与管子端口之间无间隙接触连接组成。
2.根据权利要求1所述的管式压轮,其特征在于:所述管式压轮本体(2)通过管子端口与管子端口之间焊接连接组成。
3.根据权利要求1所述的管式压轮,其特征在于:所述管子(3)为圆柱体,所述碳棒(I)为圆形碳棒,所述碳棒(I)端口直径小于所述管子(3)端口直径,所述碳棒(I)高度小于所述管子(3)的高度。
4.根据权利要求3所述的管式压轮,其特征在于:所述管子(3)制造材料为偏氟乙烯均聚物。
5.根据权利要求4所述的管式压轮,其特征在于:所述管子(3)的数量为5根。
6.根据权利要求5所述的管式压轮,其特征在于:所述管子(3)端口切面光滑。
7.根据权利要求3所述的管式压轮,其特征在于:所述碳棒(I)的数量为I根。
8.一种刻蚀清洗机,包括权利要求1-7任一项所述的管式压轮,其特征在于:还包括第一槽体以及设于所述第一槽体内的风刀,所述管式压轮设于所述风刀一侧,所述管式压轮与所述风刀平行。
【专利摘要】本实用新型公开了一种管式压轮和具有该管式压轮的刻蚀清洗机,管式压轮包括碳棒和环套在所述碳棒上的管式压轮本体,管式压轮本体是由若干根具有相同结构的管子通过管子端口与管子端口之间无间隙接触连接组成,刻蚀清洗机包括第一槽体以及设于第一槽体内的风刀,管式压轮设于所述风刀一侧,管式压轮与所述风刀平行。本实用新型与现有技术相比,具有的优点是:通过加装管式压轮防止硅片翘起走斜,减少硅片在清洗刻蚀机内发生异常,降低报废;管式压轮随硅片转动与硅片表面紧密贴合,能预先效去除大部分硅片表面残液,减少药液流失,提高风刀吹干效果;延长风刀使用寿命,降低风刀更换频率,减少停机时间;降低化学品废液的排放,节约处理成本。
【IPC分类】H01L31-18
【公开号】CN204315616
【申请号】CN201420797936
【发明人】陈超, 向益双, 包文訚, 刘林华
【申请人】无锡德鑫太阳能电力有限公司
【公开日】2015年5月6日
【申请日】2014年12月17日
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