防臭氧扩散保护结构的制作方法
【专利说明】
[0001]技术领域:
[0002]本实用新型涉及一种防臭氧扩散保护结构，属于机械技术领域。
[0003]【背景技术】:
[0004]目前在太阳能电池的刻蚀下料处安装臭氧氧化设备，用于生长氧化膜以便实现组件的抗PID效果，但是现有的臭氧喷淋设备存在以下弊端:设备采用开放式模式，臭氧除与设备下方的硅片发生反应外，多余的臭氧很容易扩散至其他地方，继续与前方和后方的硅片发生反应，产生厚度不均的氧化膜的生长，并且会扩散至其他区域影响操作人员的健康，并造成了极大的环境污染。
[0005]
【发明内容】
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[0006]本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种防臭氧扩散保护结构，通过对设备进行改进，在设备前方和后方增加气幕，以隔绝臭氧气体的扩散，在设备上方和下方增加抽风装置，以阻止多余气体的扩散。
[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的:一种防臭氧扩散保护结构，包括有底座。
[0008]为了方便硅片运行，进一步地，所述底座上等距间隔分布有多个传动滚轮。
[0009]为了增加硅片的使用效果，再进一步地，所述底座上方还设置有臭氧发生器，所述臭氧发生器安装于上支架上。
[0010]为了能够方便固定臭氧发生器，再进一步地，所述上支架上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽。
[0011]为了能够使臭氧通到外面，再进一步地，所述安装槽的底部设置有多个圆形通气孔。
[0012]为了防止臭氧前后扩散，再进一步地，所述安装槽的左右两边设置有氮气阻挡槽，所述氮气阻挡槽的底部设置有多个圆形通孔。
[0013]为了防止废气扩散到空气中，再进一步地，所述上支架的左右两边设置有多个排气通孔，所述排气通孔上设置有排气管，所述上支架的底面设置有支撑柱，所述臭氧发生器上设置有进气管，所述底座上设置有多个废气排气通孔，所述底部排气通孔上设置有废气排气罩。
[0014]为了能够固定上支架，更进一步地，所述底座的侧边设置有支撑板，所述支撑板上设置有支撑柱安装槽，所述支撑板的侧边设置有竖直挡板。
[0015]与现有技术相比，本实用新型的有益之处是:通过对设备进行改进，在设备前方和后方增加气幕，以隔绝臭氧气体的扩散，在设备上方和下方增加抽风装置，以阻止多余气体的扩散，通过这样的改进，有效的阻止了臭氧的扩散，从而有效的提高了操作的安全性及产品的合格率，并有效的降低了空气的污染。
[0016]【附图说明】:
[0017]下面结合附图对本实用新型进一步说明。
[0018]图1是本实用新型的总装配体轴测图。
[0019]图2是本实用新型的底座的轴测图。
[0020]图3是本实用新型的上支架的轴测图。
[0021]图中:1、底座；2、传动滚轮；3、臭氧发生器；4、上支架；5、安装槽；6、圆形通气孔；7、氮气阻挡槽；8、圆形通孔；9、排气通孔；10、排气管；11、支撑柱；12、进气管；13、支撑板；14、支撑柱安装槽；15、竖直挡板；16、废气排气通孔；17、废气排气罩。
[0022]【具体实施方式】:
[0023]下面结合附图及【具体实施方式】对本实用新型进行详细描述:根据图1、图2和图3所述的一种防臭氧扩散保护结构，包括有底座1，所述底座I上等距间隔分布有多个传动滚轮2，所述底座I上方还设置有臭氧发生器3，所述臭氧发生器3安装于上支架4上，所述上支架4上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽5，所述安装槽5的底部设置有多个圆形通气孔6，所述安装槽5的左右两边设置有氮气阻挡槽7，所述氮气阻挡槽7的底部设置有多个圆形通孔8，所述上支架4的左右两边设置有多个排气通孔9，所述排气通孔9上设置有排气管10，所述上支架4的底面设置有支撑柱11，所述臭氧发生器3上设置有进气管12，所述底座I的侧边设置有支撑板13，所述支撑板13上设置有支撑柱安装槽14，所述支撑板13的侧边设置有竖直挡板15，所述底座I上设置有多个废气排气通孔16，所述废气排气通孔16上设置有废气排气罩17。
[0024]使用时，启动设备，将传动滚轮2运转起来，将硅片放置到传动滚轮2上，传动滚轮2将硅片运送到臭氧发生器3的底部，臭氧发生器3开始运行，产生臭氧从圆形通气孔6中出来跟硅片进行反应，同时从氮气阻挡槽7排出氮气，所述氮气从圆形通孔8中出来，从而形成了气幕，阻挡了臭氧从设备的左右两端逸出，为了将产生的废气及时排走，同时打开废气排气罩17和排气管10，从而不会使产生的臭氧逸出污染空气。
[0025]需要强调的是:以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
【主权项】
1.一种防臭氧扩散保护结构，包括有底座(I )，所述底座(I)上等距间隔分布有多个传动滚轮(2)，所述底座(I)上方还设置有臭氧发生器(3)，所述臭氧发生器(3)安装于上支架(4)上，其特征在于:所述上支架(4)上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽(5)，所述安装槽(5)的底部设置有多个圆形通气孔(6)，所述安装槽(5)的左右两边设置有氮气阻挡槽(7)，所述氮气阻挡槽(7)的底部设置有多个圆形通孔(8)，所述上支架(4)的左右两边设置有多个排气通孔(9)，所述排气通孔(9)上设置有排气管(10)，所述上支架(4)的底面设置有支撑柱(11)，所述臭氧发生器(3 )上设置有进气管(12)。
2.根据权利要求1所述的防臭氧扩散保护结构，其特征在于:所述底座(I)的侧边设置有支撑板(13)，所述支撑板(13)上设置有支撑柱安装槽(14)，所述支撑板(13)的侧边设置有竖直挡板(15)。
3.根据权利要求1所述的防臭氧扩散保护结构，其特征在于:所述底座(I)上设置有多个废气排气通孔(16)，所述废气排气通孔(16)上设置有废气排气罩(17)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种防臭氧扩散保护结构，包括有底座，所述底座上方还设置有臭氧发生器，所述臭氧发生器安装于上支架上，所述上支架上设置有内部中空的臭氧发生器安装槽，所述安装槽的左右两边设置有氮气阻挡槽，所述氮气阻挡槽的底部设置有多个圆形通孔，所述上支架的底面设置有支撑柱，所述底部排气通孔上设置有废气排气罩。本实用新型的有益之处是：通过对设备进行改进，在设备前方和后方增加气幕，以隔绝臭氧气体的扩散，在设备上方和下方增加抽风装置，以阻止多余气体的扩散，通过这样的改进，有效的阻止了臭氧的扩散，从而有效的提高了操作的安全性及产品的合格率，并有效的降低了空气的污染。
【IPC分类】H01L31-18
【公开号】CN204391141
【申请号】CN201520066251
【发明人】鲁伟明, 费存勇, 李省, 初仁龙
【申请人】泰州德通电气有限公司
【公开日】2015年6月10日
【申请日】2015年1月30日