千分尺旋钮142相连接，第一搭载平台13与第二搭载平台15之间沿第一导轨161方向设有第一弹簧组191，第二搭载平台15与第三搭载平台18之间沿第二导轨162方向设有第二弹簧组192;
[0059]平行度调整组件2，其结构如图4和图5所示:包括第一 U型支座21、第二 U型支座25和第一散热平台28，第一 U型支座21设置在第三搭载平台18上，第二 U型支座25开口向下设置在第一 U型支座21内，第二 U型支座25内设有转动块22，该转动块22通过沿X轴向的第二转动轴24贯穿连接第二 U型支座25的两侧壁，转动块22与第二 U型支座25的顶端应有一定距离，以保证第二 U型支座25可沿X轴转动，转动块22还通过沿y轴向的第一转动轴23贯穿连接第一 U型支座21的两侧壁，转动块22和第二 U型支座25与第一 U型支座21底部也应有一定间距，以保证转动块22可沿y轴的转动，第一散热平台28设置在第二 U型支座25上，第二 U型支座25四端均设有第三L形连接块26，该第三L形连接块26上设有与第一 U型支座21相连接的第三千分尺旋钮27，第一 U型支座21和第二 U型支座25的侧壁上均设有两个限位槽孔211，该限位槽孔211上设有固定在转动块22上的限位销29，通过限位槽孔211与限位销29可限定第二 U型支座25沿x轴和y轴转动的自由度，同时，能让转动块22沿z轴方向有一定的调整空间，第一散热平台28设置在第二 U型支座25上；
[0060]治具4，其结构如图8所示:治具4设置在第一散热平台28上，治具4上设有与其匹配的工件；
[0061]工作时，工件置于治具4上，调节Θ轴滑台12、第一千分尺旋钮141和第二千分尺旋钮142，驱动热台机构分别沿z轴转动、沿y轴方向移动和沿X轴方向移动，从而将工件移动至工作位置，然后调节第三千分尺旋钮27，驱动第二 U型支座25分别绕第二转动轴24和第一转动轴23转动，从而调节至工件加工的平行度，再对工件进行加工。
【主权项】
1.一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，该热台机构包括运动基台(1)和设置在运动基台(1)上的治具(4)，所述的治具(4)上放置与其相匹配的工件，所述的运动基台(1)包括固定底板(11)、设置在固定底板(11)上并绕z轴作Θ向旋转运动的Θ轴滑台(12)，以及从下到上依次设置在Θ轴滑台(12)上的第一搭载平台(13)、沿y轴运动的第二搭载平台(15)和沿X轴运动的第三搭载平台(18)。2.根据权利要求1所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的热台机构还包括平行度调整组件(2)和加热组件(3)，所述的加热组件(3)和平行度调整组件(2)从上到下设置在运动基台(1)上，所述的加热组件(3)上设置治具(4)。3.根据权利要求2所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的平行度调整组件(2)包括第一 U型支座(21)、第二 U型支座(25)和第一散热平台(28)，所述的第二 U型支座(25)开口向下设置在第一 U型支座(21)内，第二 U型支座(25)内设有转动块(22)，该转动块(22)通过沿X轴向的第二转动轴(24)贯穿连接第二 U型支座(25)的两侧壁，所述的转动块(22)还通过沿y轴向的第一转动轴(23)贯穿连接第一 U型支座(21)的两侧壁，所述的第一散热平台(28)设置在第二 U型支座(25)上，所述的第二 U型支座(25)上还设有多个与第一 U型支座(21)相连接的第三千分尺旋钮(27); 所述的加热组件(3)包括从下到上依次设置的第二散热平台(31)和第四搭载平台(33)，所述的第二散热平台(31)设置在第一散热平台(28)上，所述的第四搭载平台(33)上设有热电偶(34); 工作时，分别调节Θ轴滑台(12)、第二搭载平台(15)和第三搭载平台(18)，将治具(4)移动至指定工位上，调节第三千分尺旋钮(27)，使第二 U型支座(25)分别绕第二转动轴(24)和第一转动轴(23)转动，从而调节治具(4)的平行度，开启热电偶(34)将治具(4)上工件加热至加工温度，然后开始对工件进行加工。4.根据权利要求3所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的第一 U型支座(21)和第二 U型支座(25)的侧壁上均设有至少一个限位槽孔(211)，该限位槽孔(211)上设有固定在转动块(22)上的限位销(29); 所述的第二 U型支座(25)上设有多个第三L形连接块(26)，所述的第三千分尺旋钮(27)设置在第三L形连接块(26)上，并与第一 U型支座(21)相连接； 所述的第一散热平台(28)上设有多条第一散热凹槽(281)，以及供散热冷空气进出的散热通道； 所述的第二散热平台(31)下表面设有多条第二散热凹槽(311)，该第二散热凹槽(311)与第一散热凹槽(281)垂直设置，第二散热平台(31)上还设有第一温度传感器(32); 所述的第四搭载平台(33)上设有第二温度传感器(35)，第四搭载平台(33)的四周还设有隔热板(36)。5.根据权利要求3所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的第二散热平台(31)上开有连接真空装置的真空口，所述的第四搭载平台(33)上设有与真空口贯通的真空吸附槽，所述的治具(4)上设有与真空吸附槽相对应的真空吸附孔，工作时，开启真空装置，形成吸附真空，使得治具(4)上的工件被吸附定位。6.根据权利要求5所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的真空口由第一真空口(331)、第二真空口(333)和第三真空口(335)组成；所述的真空吸附槽由分别与第一真空口(331)、第二真空口(333)和第三真空口(335)贯通连接的第一真空吸附槽(332)、第二真空吸附槽(334)和第三真空吸附槽(336)组成；所述的真空吸附孔由分别与第一真空吸附槽(332)、第二真空吸附槽(334)和第三真空吸附槽(336)对应设置的第一真空吸附孔(41)、第二真空吸附孔(42)和第三真空吸附孔(43)组成。7.根据权利要求1所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的第一搭载平台(13)上设有沿X轴方向的第一导轨(161)，以及第一千分尺旋钮(141)，所述的第二搭载平台(15)设置在第一导轨(161)上并与第一千分尺旋钮(141)相连接； 所述的第二搭载平台(15)上设有沿y轴方向的第二导轨(162)，以及第二千分尺旋钮(142)，所述的第三搭载平台(18)设置在第二导轨(162)上并与第二千分尺旋钮(142)相连接。8.根据权利要求7所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的第一搭载平台(13)上设有第一 L形连接块(171)，所述的第一千分尺旋钮(141)设置在该第一 L形连接块(171)上，并与第二搭载平台(15)相连接； 所述的第二搭载平台(15)上设有第二 L形连接块(172)，所述的第二千分尺旋钮(142)设置在该第二 L形连接块(172)上，并与第三搭载平台(18)相连接。9.根据权利要求7所述的一种模块化设计的多功能热台机构，其特征在于，所述的第一搭载平台(13)与第二搭载平台(15)之间沿第一导轨(161)方向设有第一弹簧组(191)，所述的第二搭载平台(15)与第三搭载平台(18)之间沿第二导轨(162)方向设有第二弹簧组(192)。
【专利摘要】本实用新型涉及一种模块化设计的多功能热台机构，包括运动基台(1)和设置在运动基台(1)上的治具(4)，治具(4)上放置与其相匹配的工件，运动基台(1)包括固定底板(11)、设置在固定底板(11)上并绕z轴作θ向旋转运动的θ轴滑台(12)，以及从下到上依次设置在θ轴滑台(12)上的第一搭载平台(13)、沿y轴运动的第二搭载平台(15)和沿x轴运动的第三搭载平台(18)；工作时，分别调节θ轴滑台(12)、第二搭载平台(15)和第三搭载平台(18)，将治具(4)移动至指定工位上，对治具上的工件进行加工。与现有技术相比，本实用新型具有一机多用、加工精度高、制造成本低等优点。
【IPC分类】H01L21/56
【公开号】CN204966448
【申请号】CN201520498837
【发明人】刘劲松, 张金志, 谢旭波
【申请人】上海微松工业自动化有限公司
【公开日】2016年1月13日
【申请日】2015年7月10日