专利名称：六相旋转供电装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种六相旋转供电装置，特别涉及一种离子注入机中静电卡盘的六相旋转供电装置。
背景技术：
静电卡盘是目前半导体工艺设备上常用的关键部件，其作用是采用静电吸附的方式将晶片吸附；此外，为满足现代半导体硅片的工艺要求，需要吸附晶片的静电卡盘能够在处理过程中360度旋转。因此在静电卡盘旋转过程中仍然需要能够进行稳定的供电，否则，晶片就会脱离静电卡盘造成碎片和停机损失，这将会直接影响到整个设备晶片处理的可靠性指标。
目前的静电卡盘都是在稳定状态下吸附晶片的，不能满足现代半导体硅片的工艺要求，当静电卡盘在旋转过程中不能被提供稳定的供电，供电难度很大，这样，晶片很容易脱离静电卡盘，造成严重的损失。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种静电卡盘的六相旋转供电装置，可以在静电卡盘旋转的情况下仍然稳定可靠的实现六相供电，能更加有效的吸附晶片，因此能满足现代半导体工艺要求。
本实用新型的技术方案是这样实现的一种六相旋转供电装置，由静电卡盘、绝缘盖板、转动盘、轴承、旋转固定座、导电柱、可旋转绝缘盘、供电盘、止位柱和导电轴承组成，其中静电卡盘、绝缘盖板、转动盘依次从上到下固定于旋转固定座上，可旋转绝缘盘由内外两环组成，导电轴承固定于可旋转绝缘盘中，导电轴承下面与固定的供电盘的六极相接，上面与转动盘的六极相接，止位柱为导电轴承的轴。
可旋转绝缘盘的内外环上各有六个导电柱。
转动盘和供电盘上的导电圈表面镀上一层耐磨损、导电性能好的金属。
与现有技术相比本实用新型的有益效果是在静电卡盘旋转过程中仍然能够进行稳定的供电，使晶片被牢固的吸附，不会脱离静电卡盘，避免造成碎片和停机损失，达到设备晶片处理的可靠性指标。结构简单有效，使用寿命长，同时，该装置采用部件少，可靠性高、易维护。
图1是六相旋转供电装置的剖视图；图2是可旋转绝缘盘俯视图；图3是转动盘俯视图；图4是固定的供电盘俯视图。
图中1-静电卡盘；2-绝缘盖板；3-转动盘；4-轴承，5-旋转固定座；6-导电柱；7-可旋转绝缘盘；8-供电盘；10-止位柱；11-导电轴承。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型做进一步详细说明如图1所示，一种六相旋转供电装置，由静电卡盘1、绝缘盖板2、转动盘3、轴承4、旋转固定座5、导电柱6、可旋转绝缘盘7、供电盘8、止位柱10和导电轴承11组成，其中静电卡盘1、绝缘盖板2、转动盘3依次由上到下固定于旋转固定座5上，当旋转固定座5转动时，它们随之转动，可旋转绝缘盘7上面与转动盘3相接，下面与供电盘8相接。
在图2中，可旋转绝缘盘7由内、外两环组成，止位柱10作为导电轴承11的轴，同时也阻止内、外两环相对转动；每一个电极圈上有2个导电轴承11，保证至少有一个与导电环接触。
在图3中，分别将六相电集中到所需要位置的六个导电柱6上，其背面结构与图4表面相类似。
供电盘8固定不动，可旋转绝缘盘7可以在供电盘8的表面灵活的转动，通过可旋转绝缘盘7上面的导电轴承11，六相电可以分别导通到六个导电柱6上，从而实现了给静电卡盘1的六极供电。
转动盘3和静电卡盘1的六极相对固定，当静电卡盘1转动时，绝缘盖板2、可旋转绝缘盘7都在导电轴承11的支撑下灵活转动，将供电盘8的六相电流过渡到静电卡盘1的六极，保证静电卡盘1在运动中仍然获得连续、稳定的供电。
当静电卡盘1需要旋转一定的角度时，电机驱动旋转固定座5转动，可旋转绝缘盘7在导电轴承的支撑下在供电盘8上转动，但不会影响静电卡盘1的供电。
本实用新型不限于上述实施例，对于本技术领域的专业人员来说，对本实用新型实施例所做出的任何改进或变更都不会超出本实用新型的精神和所附权利要求的保护范围。
权利要求1.一种六相旋转供电装置，其特征在于它由静电卡盘、绝缘盖板、转动盘、轴承、旋转固定座、导电柱、可旋转绝缘盘、供电盘、止位柱和导电轴承组成，其中静电卡盘、绝缘盖板、转动盘依次从上到下固定于旋转固定座上，可旋转绝缘盘由内外两环组成，导电轴承固定于可旋转绝缘盘中，导电轴承下面与固定的供电盘的六极相接，上面与转动盘的六极相接，止位柱为导电轴承的轴。
2.根据权利要求1所述的六相旋转供电装置，其特征在于转动盘和供电盘上的导电圈表面镀上一层金属。
3.根据权利要求1或2所述的六相旋转供电装置，其特征在于可旋转绝缘盘的内外环上各有六个导电柱。
专利摘要本实用新型公开了一种静电卡盘的六相旋转供电装置，它由静电卡盘、绝缘盖板、转动盘、轴承、旋转固定座、导电柱、可旋转绝缘盘、供电盘、止位柱和导电轴承组成，其中静电卡盘、绝缘盖板、转动盘依次从上到下固定于旋转固定座上，可旋转绝缘盘由内外两环组成，导电轴承固定于可旋转绝缘盘中，导电轴承下面与固定的供电盘的六极相接，上面与转动盘的六极相接，止位柱为导电轴承的轴，该六相旋转供电装置在静电卡盘旋转的情况下仍然稳定可靠的实现六相供电。使晶片被牢固的吸附，不会脱离静电卡盘，避免造成碎片和停机损失，达到设备晶片处理的可靠性指标。该结构简单有效，使用寿命长，同时，该装置采用部件少，可靠性高、易维护。
文档编号H02N13/00GK2796098SQ200520017090
公开日2006年7月12日 申请日期2005年4月22日 优先权日2005年4月22日
发明者孙雪平, 唐景庭, 伍三忠, 郭建辉, 许波涛, 龙会跃 申请人:北京中科信电子装备有限公司