专利名称：压电电动机和压电电动机系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用压电单元驱动被驱动对象的压电电动机和压电电动机系统。
背景技术：
一般地说，在多自由度转动驱动控制系统的领域中，其中以监视用摄像机、机器人关节等的取向控制为代表，具有这样一种结构的驱动机构或电动机系统被广泛地使用，在所述结构中，串联地堆叠着单轴驱动电动机。此外，从实现小型化和更高的精度的观点看来，有时使用多自由度驱动机构或多自由度电动机系统，其包括主要由万向节机构和连接机构构成的支撑系统和主要由被单独提供的电磁马达等构成的驱动系统。不过，具有主要由万向节机构和连接机构构成的基本结构的常规的驱动机构或电动机系统因为这种结构复杂和对于小型化的限制而并不总是满意的。根据这种情况，近年来，使用压电元件的球形电动机的研究和发展一直受到关注。具体地说，借助于使用压电单元通过摩擦力驱动球体 (作为被驱动对象)的压电电动机被认为有希望成为具有小的尺寸和高的精度的下一代球形电动机。关于使用压电元件的压电电动机，已知一种用于改变球连接的角度的装置。在这种用于改变球连接的角度的装置中，在容纳球连接的球部件的球壳体部件内部以预定的布置设置有3个振荡器(压电单元)，这3个振荡器的各自的尖端部分和所述的球邻接。为了维持所述的邻接，所述球被配置使得借助于多个弹簧件被朝向振荡器激励，这些弹簧件类似地以预定的布置被设置在球壳体部件内部。在这种状态下，这些振荡器的被连接部分的每一个沿所需的预定方向转动，因而球连接的球部件沿所需的方向转动。从而，沿预定方向改变球连接的角度。每个振荡器(压电单元)由3个振荡元件(压电元件)构成，它们被集成一体，其尖端部分彼此相连，并且这些振荡元件(压电元件)被设置在对应于等边三棱锥的3个边沿的位置，使得它们的中心在棱锥的尖端。作为使用压电单元的压电电动机的另一个常规的例子，已知一种图像拾取设备， 其中图像拾取单元基本上是球形的，除去图像拾取光学系统部分之外，其圆周的表面被形成外凸的球状。另外，图像拾取光学系统和图像拾取器件例如CCD被提供在图像拾取单元的内部。图像拾取单元的壳体(球状的)例如由磁材料构成，其外凸的球形表面部分被吸引向呈环形磁体形状的保持部件。所述保持部件被固定到图像拾取设备的主体上。结果， 借助于保持部件的磁力，使图像拾取单元以可动方式保持在图像拾取设备的主体上。驱动机构被提供在在环形保持部件的中心孔部分的中心。该驱动机构包括两维压电致动器，提供在所述致动器的大概中心位置的摩擦部件等。所述摩擦部件被配置成用于和图像拾取单元的外凸的球形表面邻接，并随着两维压电制动器的每个臂的伸长与收缩而运动，从而允许图像拾取单元以预定方式运动。
按照上述的用于改变球连接和图像拾取设备的角度的装置，可以克服万向节机构和连接机构的复杂性，并可以实现小尺寸的多自由度的驱动机构。因为这种类型的压电电动机由摩擦力驱动，这种压电电动机需要以以下方式被使用对着被驱动对象按压压电单元。不过，上述用于改变球连接的角度的装置具有通过使用多个弹簧件施加预加载力的结构。实际上，这种结构需要由弹簧件构成的预加载部分，以及在预加载部分的周边上的用于可转动地支撑着球部件的引导部分。预加载部分和引导部分使得增加电动机的尺寸，以及减少运动范围，并由于摩擦而增加驱动负载(增加空载转矩)。此外，因为球部件、振荡器和多个弹簧件都被设置在球壳体部件内，出现了在整体上该装置的尺寸被进一步增加的问题。此外，在上述的图像拾取设备中，用于可转动地支撑着图像拾取单元的引导部分用以下方式构成，使得由环形磁体构成的保持部件吸引图像拾取单元的外凸的球面部分。 因而，由于在引导部分的摩擦而产生的驱动负载被大大增加(空载转矩被大大增加)。由于这个原因，驱动机构需要产生足以克服由于摩擦而产生的驱动负载的驱动力。结果，出现了在整体上该设备的尺寸被增加的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种压电电动机和压电电动机系统，其可以使空载转矩最小、改善运动范围并在整体上使所述装置的尺寸最小。本发明的一个方面在于一种压电电动机，包括多个压电单元，它们分别与被驱动对象接触，被相互分开地设置，并被配置成用于驱动所述被驱动对象；以及磁体，其被配置成用于通过以与所述被驱动对象不直接接触的方式磁性吸引所述被驱动对象，来对所述多个压电单元的每一个施加预加载力，其中所述压电单元沿三个自由度方向驱动被驱动对象，并且所述压电单元的每一个包括第一到第三压电元件，它们的中性轴具有彼此相交的交点；以及与所述被驱动对象接触从而与所述第一到第三压电元件耦连，并由所述第一到第三压电元件的合成振动驱动被驱动对象的驱动部分。本发明的另一个方面在于一种压电电动机系统，包括压电电动机，其包括多个压电单元，它们分别与被驱动对象接触，被相互分开地设置，并被配置成用于驱动所述被驱动对象；以及磁体，其被配置成用于通过以与所述被驱动对象不直接接触的方式磁性吸引所述被驱动对象，来对多个压电单元的每一个施加预加载力；预加载设置单元，被配置成用于至少根据压电电动机的位置信息和用于所述压电单元的指令信息设置要由所述磁体施加到所述压电电动机上的预加载力的值；以及放大器，其被配置成用于对所述磁体施加对应于所述值的电流值，其中所述多个压电单元的每一个包括第一到第三压电元件，它们的中性轴具有彼此相交的交点；以及与所述被驱动对象接触从而与所述第一到第三压电元件耦连，并由所述第一到第三压电元件的合成振动驱动被驱动对象的驱动部分。
图1是表示按照本发明的实施例的压电电动机系统的例子的方块图；图2是用于表示按照本发明的实施例的压电电动机的顶视图；图3是用于表示按照本发明的实施例的可变视线照相机模块的结构的示意图4是用于表示按照本发明的实施例的可变视线照相机模块的结构的截面图；图5是用于说明用于改变按照本发明的实施例的可变视线照相机模块的视线的操作的截面图；图6是用于说明用于改变按照本发明的实施例的可变视线照相机模块的视线的操作的示意图；图7是用于表示按照本发明的实施例的改型的压电电动机的结构的顶视图；图8是用于表示按照本发明的实施例的改型的压电电动机的沿图7的B-B线取的截面图；以及图9是用于表示按照本发明的实施例的改型的压电电动机的结构的顶视图。
具体实施例方式下面参照
本发明的不同实施例。应当注意，在所有附图中，对相同的或相似的部分或元件应用相同的或相似的标号，并将省略或简化这些相同的或相似的部分或元件的说明。一般地说并且为了便于表述本发明的装置，应当理解，从一张图到另一张图的不同的图未按比例绘制，在给定的图的内部也未按比例绘制，特别是层的厚度是随意绘出的， 以有利于这些图的阅读。在下面的说明中，提出了许多特定的细节，例如特定的信号值等，以便提供对本发明的透彻的理解。不过，显然，对于本领域技术人员，可以不用这些特定细节来实施本发明。 在其它情况下，以方块图的形式示出了熟知的电路，以便不会由不必要的细节使本发明显得不清楚。如图1所示，按照本发明的实施例的一种压电电动机系统包括用于驱动被驱动对象(或在被驱动下的物体)105的压电电动机100，以及用于控制压电电动机100的操作的控制器200。如图1和图2所示，压电电动机100包括基本上呈环形形状的基座101 ；被置于所述基座101上并可转动地支撑着被驱动对象105的多个(第一个到第三个)压电单元 (两个自由度的压电单元)102-104 ；以及被置于基座101上并通过在非接触状态下磁性吸引被驱动对象105对第一到第三压电单元102-104的每一个施加预加载力的磁体109。磁体109例如呈环形形状并被这样设置，使得沿着ζ轴距被驱动对象105 —个预定间隙w。磁体109以非接触状态磁性吸引被驱动对象105，借以对第一到第三压电单元102 到104施加预加载力。关于磁体109，可以使用一个电磁体或者永磁体和电磁体的组合。第一到第三压电单元102到104以稳定地保持被驱动对象105所需的预定的布置被设置。在图2所示的例子中，压电单元102-104沿圆周方向等距离排列，其中ζ轴处于中心，彼此相对120度角。第一压电单元102包括第一压电元件102a，其被这样设置，使得其振动的方向相对于基座101基本上是水平的，并和驱动被驱动对象105的方向沿对角线相交。第一压电单元还包括第二压电元件102b，其被这样设置，使得其振动方向基本上垂直于基座101，并使得基本上以直角和第一压电元件10 的振动方向相交。并且在第一压电单元中还包括驱动部分106，其和第一和第二压电元件10 和102b耦连，在接触点Pl和被驱动对象105 接触，并允许第一和第二压电元件10 和102b的合成振动通过摩擦把驱动力传送到被驱动对象105。第二压电单元103包括第一压电元件103a，其被这样设置，使得其振动的方向相对于基座101基本上是水平的，并和驱动被驱动对象105的方向沿对角线相交。第二压电单元还包括第二压电元件103b，其被这样设置，使得其振动方向基本上垂直于基座101，并使得基本上以直角和第一压电元件103a的振动方向相交。第二压电单元还包括驱动部分 107，其和第一和第二压电元件103a和10 耦连，在接触点P2和被驱动对象105接触，并允许第一和第二压电元件103a和10 的合成振动通过摩擦把驱动力传送到被驱动对象105。第三压电单元104包括第一压电元件104a，其被这样设置，使得其振动的方向相对于基座101基本上是水平的，并和驱动被驱动对象105的方向沿对角线相交。第三压电单元还包括第二压电元件104b，其被这样设置，使得其振动方向基本上垂直于基座101，并使得基本上以直角和第一压电元件10 的振动方向相交；以及驱动部分108，其和第一和第二压电元件10 和104b耦连，在接触点P3和被驱动对象105接触，并允许第一和第二压电元件10 和104b的合成振动通过摩擦把驱动力传送到被驱动对象105。对于第一和第二压电元件102a，102b，103a，103b，104a，104b中的每一个，可以使用压电陶瓷、电致伸缩陶瓷、聚合物压电材料、它们的组合以及它们的层叠体中的任何一个。被驱动对象105例如是球形的，并被第一到第三压电单元102-104在接触点Pl到 P3支撑着，借以使得被驱动对象105的取向被唯一地确定。在另一方面，关于被驱动对象 105的位置，虽然就几何而言其被可转动地支撑着，但是其转动被第一到第三压电单元102 到104在接触点P1-P3的摩擦力限制，使得第一到第三压电单元102-104的运动被停止。除非施加超过在被驱动对象105和第一到第三压电单元102-104之间的摩擦力的大的外力， 被驱动对象105便维持该位置。控制器200是电磁吸引力控制系统，用于调节由第一到第三压电单元102-104施加到被驱动对象105上的预加载力。控制器200包括被置于压电电动机100的连附表面 202上的角位置传感器201 ；操作单元203 ；被连接到操作单元203上的驱动波形产生单元 204 ；放大器205-207，其中的每一个被连接到波形产生单元204 ；被连接到角位置传感器 201和驱动波形产生单元204的每一个上的预加载力设置单元208 ；以及被连接到预加载设置单元208上的电磁放大器209。角位置传感器201测量压电电动机100的位置，并把位置信息Sl传送到预加载力设置单元208。操作单元203设置用于驱动压电电动机100的条件，并向驱动波形产生单元 204传送操作信号(指令信息)Cl。根据来自操作单元203的操作信号Cl，驱动波形产生单元204产生要施加于第一和第二压电元件102a，102b, 103a, 103b, 104a和104b上的电压波形(驱动信号)。根据来自驱动波形产生单元204的驱动信号E1-E6，放大器205-207分别对第一和第二压电元件102a, 102b, 103a, 103b, 104a禾口 104b施加预定的驱动电压V1-V6。预加载设置单元208作为输入接收来自驱动波形产生单元204的被施加电压 E1-E6的最大值(驱动信号)E0，以及来自角位置传感器201的位置信息Si，并根据被施加电压的最大值EO和位置信息Si，通过参考预定的预加载值或通过使用预定的算术表达，设置预加载力的值(预加载值)Ml。其中，预加载设置单元208被配置成用于利用被施加电压的最大值EO和位置信息Sl两者设置预加载值Ml。不过，从使用环境、使用状态、要求精度等看来，可以只通过使用被施加电压的最大值EO和位置信息Sl中任何一个来设置预加载值Ml。电磁放大器209作为输入接收由预加载设置单元208设置的预加载值Ml，并被激励而产生要施加到环形磁体109的线圈109a的电流Al，以便产生对应于预加载值Ml的磁吸引力。当试图通过启动压电电动机100来改变被驱动对象105的位置时，则通过使用放大器205-207分别对第一到第三压电单元102-104的第一和第二压电元件102a，102b, 103a，103b, 10 和104b施加预定驱动电压V1-V6。于是，对第一到第三压电单元102-104 的驱动部分106-108的每一个给予按照熟知的运动方式的运动(例如椭圆运动或快速变形运动)，借以使驱动部分106到108沿两个自由度方向的任何一个方向转动地驱动被驱动对象 105。如上所述，按照包括本发明的实施例的压电电动机100的压电电动机系统，提供一种配置，使得被驱动对象105由第一到第三压电单元102-104可转动地支撑着，根据第一到第三压电单元102-104的合成振动的组合，被驱动对象105沿着两个自由度方向的任何一个被转动地驱动，并且预加载力被施加于第一到第三压电单元102-104，使得环形磁体 109以非接触方式磁性吸引被驱动对象105。因而能够消除除去接触点P1-P3之外的和第一到第三压电单元102-104的摩擦接触点。因而，在理论上，不会由于和其它构成元件的摩擦而产生驱动负载。结果，因为使空载转矩变得最小，可以大大减小第一到第三压电单元 102-104的尺寸。此外，提供这样一种配置，使得第一到第三压电单元102-104和磁体109被集中地设置在被驱动对象105的下方(在一侧上的半球部分附近)，并且磁体109被设置在用直线直接连接第一到第三压电单元102-104的每一个而成的多角形(三角形)的区域内。因而可以在整体上减少装置的尺寸，并大大增加可动的范围。通过利用这些特征(小的尺寸和多自由度驱动能力)，可以期望用于监视摄像机或其类似物的取向控制，以及用于机器人的关节。此外，第一到第三压电单元102-104具有大的振动位移，但是和在一个环中具有和其连附的压电元件的环形振荡器相比，具有小的发展力。由于具有小的发展力，便不能产生大的预加载力。因而由压电电动机100或其类似物的位置变化引起的位移相对于由初始预加载力引起的位移的比例是大的。因为压电电动机100提供摩擦驱动，具有一些这样的情况，其中当由于预加载力引起的位移比例大时，驱动特性的稳定性变差。在本发明的这个实施例中，提供一种这样的配置，使得电磁体109的吸引力根据压电电动机100的位置和要施加于压电单元的最大电压被控制，并且预加载力(电磁体109的磁吸引力)根据压电电动机100的位置和压电单元102-104的驱动状态的改变被实际地调节。因而，即使在压电电动机100的位置或者第一到第三压电单元102-104的驱动状态已经发生改变的情况下， 也能增强驱动特性的稳定性。(第一改型)下面说明可变视线的照相机模块的结构，其包括作为本发明的第一改型的压电电动机100，作为这种照相机模块的底座。参见图3和图4，可变视线照相机模块150包括压电电动机100，被驱动对象151，以及在被驱动对象151的内侧上被嵌入中心部分附近的照相机模块120。
照相机模块120被固定地设置在被驱动对象151的内部。被驱动对象151具有用于提供一个球形的圆周表面，来自第一到第三压电单元102-104的驱动力被传递给这个表面。注意，如果需要，可变视线的照相机模块150包括图像处理装置，用于进行拍摄图像的转动。当借助于启动压电电动机100转动地驱动被驱动对象151时，照相机模块120的视线的方向可以改变为两个自由度方向中的任何一个方向。例如，可以把图4中的垂直指向(向上)的照相机模块120的视线方向Dl改变为图5和图6所示的水平指向(侧向) 的视线的方向D2。此外，只给出和图1和图2的压电电动机100不同的说明，将省略共同部分的重叠的说明。按照本发明的实施例的第一改型的可变视线照相机模块150具有这样一种结构， 其中第一到第三压电单元102-104和环形磁体109被集中地设置在由照相机模块120固定的被驱动对象151的下面(在其一侧上的半球部分附近)。因而，可变视线照相机模块150 可以拍摄周围环境的360度(全方向)的图像，同时在整体上减小了装置的尺寸。(第二改型)参见图7和图8，按照本发明的实施例的第二改型的压电电动机300包括被驱动对象105 ；基本上呈环形的基座301 ；第一到第三压电单元(三个自由度的压电单元)302-304，它们被置于基座301上，以ζ ‘轴为中心彼此相对120度角沿圆周方向被等距离布置；以及被这样布置使得具有沿ζ'轴离被驱动对象105 —个预定间隙w的环形磁体 109。环形磁体109不与被驱动对象105直接物理接触的情况下，借助于磁吸引被驱动对象105来对第一到第三压电单元302-304施加预加载力。在第一压电单元302中，第一到第三压电元件30加-302(3被这样布置，使得它们的中性轴线基本上呈直角彼此相交，从而相交于一点。这里的“中性轴线”被定义为其是在第一到第三压电元件30加-302(3的每一个的横截面内的轴线，其没有纵向应变应力。第一和第二压电元件30 和302b被这样设置，使得它们的振动方向相对于基座301基本上是水平的。第三压电元件302c被这样设置，使得其振动的方向相对于基座301基本上是垂直的。 驱动部分306和第一到第三压电元件302a-302c耦连，从而允许其合成的振动借助于在接触点P4的摩擦接触把驱动力传递到被驱动对象105。在第二压电单元303中，第一到第三压电元件303a_303c(未示出)被这样布置， 使得它们的中性轴线基本上呈直角彼此相交。第一和第二压电元件303a和30 被这样设置，使得它们的振动方向相对于基座301基本上是水平的。第三压电元件303c (未示出) 被这样设置，使得其振动的方向相对于基座301基本上是垂直的。驱动部分307和第一压电元件303a、第二压电元件30 以及第三压电元件303c (未示出)耦连，从而允许它们的合成振动借助于在接触点P5的摩擦接触把驱动力传递到被驱动对象105。在第三压电单元304中，第一到第三压电元件3(Ma-3(Mc被这样布置，使得它们的中性轴线基本上呈直角彼此相交。第一和第二压电元件30 和304b被这样设置，使得它们的振动方向相对于基座301基本上是水平的。第三压电元件3(Mc被这样设置，使得其振动的方向相对于基座301基本上是垂直的。驱动部分308和第一到第三压电元件3(Ma-303c耦连，从而允许它们的合成振动借助于在接触点P6的摩擦接触把驱动力传递到被驱动对象 105。被驱动对象105由第一到第三压电单元302-304在接触点P4-P6支撑着，借以使被驱动对象105的取向被唯一地确定。在另一方面，关于被驱动对象105的位置，虽然被驱动对象105在几何上被可转动地支撑着，但其转动运动受到第一到第三压电单元302-304 的接触点P4-P6的摩擦力的约束，因而第一到第三压电单元302-304的运动被限制。被驱动对象105的位置被保持，除非施加一个超过被驱动对象105和第一到第三压电单元302-304 之间的摩擦力的大的外力。当试图通过启动压电电动机300来改变被驱动对象105的位置时，则通过使用放大器(未示出)分别对第一到第三压电单元302-304的第一到第三压电元件30加-302(3、 303a-303c,304a-304c施加预定驱动电压，因而对第一到第三压电单元302-304的驱动部分306-308的每一个给予熟知的运动(例如椭圆运动或快速变形运动)，借以使被驱动对象 105的位置沿三个自由度方向的任何一个方向被转动地驱动。如上所述，按照本发明的实施例的第二改型的压电电动机300，提供一种这样的配置，使得被驱动对象105被3个(第一到第三)压电单元302-304可转动地支撑着。此外， 在这种配置中，被驱动对象105根据第一到第三压电单元302-304的合成振动的组合，沿3 个自由度方向的任何一个被转动地驱动。这种配置还允许预加载力用以下方式施加于第一到第三压电单元302-304上，使得环形磁体309磁吸引被驱动对象105而不直接和被驱动对象105接触。因而，能够消除除去接触点P4-P6之外的和第一到第三压电单元302-304 的摩擦接触点，因而，在理论上，不会由于和其它构成元件的摩擦而产生驱动负载。结果，因为可以使空载转矩变得最小，可以大大减小第一到第三压电单元302-304的尺寸。注意，虽然按照第一改型的可变视线照相机模块150被配置使用基于两个自由度的压电单元的压电电动机100，可变视线照相机模块150也可被配置使得使用基于按照第二改型的三自由度的压电单元的压电电动机300。在可变视线照相机模块150中，如果需要，可以使用用于进行图像转动的图像处理装置。不过，如果可变视线照相机模块被配置使用压电电动机300，则可以利用三自由度的转动驱动的特性来实现利用压电电动机100不能实现的图像的调整，因而不再需要图像处理装置。此外，因为不需要进行图像处理，由这种照相机拍摄的图像可以是周围环境的360度(全方位)的具有高的实时质量和稳定性的图像。(其它实施例)本领域技术人员在接受本说明的教导之后，不脱离本发明的范围可以作出各种改型。例如，虽然对于3个两自由度的压电单元或者三自由度的压电单元的组合进行了说明， 但是要被组合的压电单元的数量不受具体的限制。例如，可以组合4个或更多的压电单元， 如图9所示，其中组合了 4个两自由度的压电单元402-405。此外，关于被驱动对象105，所述的例子是一个球被转动，如图1所示。不过，这个例子是非限制性的。例如，可以使用一个平板作为被驱动对象105，并且可以作直线运动。此外，代替图1所示的磁体109，可以在设置压电单元102-104的位置的附近分别设置多个磁体。此外，虽然磁体109和压电单元102-104被设置在被驱动对象105的下面，但是根据安装的环境，它们可被设置在被驱动对象的上面。
权利要求
1.一种压电电动机，包括多个压电单元，它们分别与被驱动对象接触，被相互分开地设置，并被配置成用于驱动所述被驱动对象；以及磁体，其被配置成用于通过以与所述被驱动对象不直接接触的方式磁性吸引所述被驱动对象，来对所述多个压电单元的每一个施加预加载力，其中所述压电单元沿三个自由度方向驱动被驱动对象，并且所述压电单元的每一个包括第一到第三压电元件，它们的中性轴具有彼此相交的交点；以及与所述被驱动对象接触从而与所述第一到第三压电元件耦连，并由所述第一到第三压电元件的合成振动驱动被驱动对象的驱动部分。
2.如权利要求1所述的压电电动机，其中，所述磁体被设置在通过用直线连接所述多个压电单元的位置的每一个而形成的多角形的区域内。
3.如权利要求1所述的压电电动机，其中，所述磁体作为多个磁体被提供。
4.如权利要求3所述的压电电动机，其中，所述多个磁体被设置在所述压电单元的每一个的位置附近。
5.一种压电电动机系统，包括 压电电动机，其包括多个压电单元，它们分别与被驱动对象接触，被相互分开地设置，并被配置成用于驱动所述被驱动对象；以及磁体，其被配置成用于通过以与所述被驱动对象不直接接触的方式磁性吸引所述被驱动对象，来对多个压电单元的每一个施加预加载力；预加载设置单元，被配置成用于至少根据压电电动机的位置信息和用于所述压电单元的指令信息设置要由所述磁体施加到所述压电电动机上的预加载力的值；以及放大器，其被配置成用于对所述磁体施加对应于所述值的电流值， 其中所述多个压电单元的每一个包括 第一到第三压电元件，它们的中性轴具有彼此相交的交点；以及与所述被驱动对象接触从而与所述第一到第三压电元件耦连，并由所述第一到第三压电元件的合成振动驱动被驱动对象的驱动部分。
6.如权利要求5所述的系统，还包括角位置传感器，其被配置成用于测量压电电动机的角位置作为位置信息，并把所述位置信息传递给预加载设置单元。
7.如权利要求5所述的系统，还包括被嵌入在被驱动对象内部的照相机模块。
8.如权利要求5所述的系统，其中，所述压电单元沿三个自由度方向驱动所述被驱动对象。
9.如权利要求5所述的系统，其中，所述磁体被设置在通过用直线连接所述多个压电单元的位置的每一个而形成的多角形的区域内。
10.如权利要求5所述的系统，其中，所述磁体作为多个磁体被提供。
11.如权利要求10所述的系统，其中，所述多个磁体被设置在所述压电单元的每一个的位置附近。
全文摘要
本发明涉及一种压电电动机和压电电动机系统，其中的压电电动机包括多个压电单元，它们分别与被驱动对象接触，被相互分开地设置，并被配置成用于驱动所述被驱动对象；以及磁体，其被配置成用于通过以与所述被驱动对象不直接接触的方式磁性吸引所述被驱动对象，来对所述多个压电单元的每一个施加预加载力。其中所述压电单元沿三个自由度方向驱动被驱动对象，并且所述压电单元的每一个包括第一到第三压电元件，它们的中性轴具有彼此相交的交点；以及与所述被驱动对象接触从而与所述第一到第三压电元件耦连，并由所述第一到第三压电元件的合成振动驱动被驱动对象的驱动部分。
文档编号H02N2/00GK102361410SQ201110317130
公开日2012年2月22日 申请日期2008年3月27日 优先权日2007年3月27日
发明者秋叶敏克, 西村修, 高桥博 申请人:株式会社东芝