一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电的制造方法
【专利摘要】一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，它涉及一种压电驱动装置，以解决现有主动箝位式的蠕动电机无法断电自锁，不适用于紧凑细长的运动机构中，以及被动箝位式的蠕动电机轴向尺寸大、需要单独的导向机构且同心度低，控制精度低的问题，它包括导轨、驱动机构、两个圆环形垫圈和两套箝位机构；所述驱动机构包括驱动套筒、第一压电叠堆和两个夹紧体；每套箝位机构包括箝位体、三个第二压电叠堆和三个柔性体；驱动套筒的中部安装有第一压电叠堆，驱动套筒内由内向外左右对称安装有夹紧体、垫圈和箝位体，夹紧体与驱动套筒螺纹连接，每个箝位体的内表面上沿箝位体的周向均布设置有三个柔性体。本发明应用于精密定位和驱动领域。
【专利说明】一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种压电驱动装置，具体涉及一种被动箝位式压电蠕动直线电机，属于压电精密驱动领域。
【背景技术】
[0002]随着科技的不断发展，光学领域、半导体领域和机械加工行业等都迫切的需求超精密的直线定位驱动器。传统的定位装置有一定的不足，比如间隙和粘滑。诸多尖端科技领域的驱动设备向小型轻量、高精度和高性能化方向发展，传统的电磁电机难以胜任现在的要求。基于蠕动原理的仿生尺蠖驱动器的特点决定了其在亚微米级或纳米级精度，并且行程为毫米级的精密驱动定位方面的应用具有明显的优越性。
[0003]压电蠕动电机经过几十年的发展，设计的电机尺寸偏大，轴向输出力偏小，且多为主动箝位式的蠕动电机，这种结构的电机无法断电自锁，不适用于紧凑细长的运动机构中；另一种是被动箝位式的蠕动电机，这种结构的电机轴向尺寸大、需要单独的导向机构且同心度低，控制精度低，因此，如何更好地应用压电驱动技术设计一种小体积、高控制精度、低速直接驱动并且适用于紧凑细长的运动机构的微米级精密驱动的电机具有非常重要的实际价值。
【发明内容】
[0004]本发明是为解决现有主动箝位式的蠕动电机无法断电自锁，不适用于紧凑细长的运动机构中，以及被动箝位式的蠕动电机轴向尺寸大、需要单独的导向机构且同心度低，控制精度低的问题，进而提供一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机。
[0005]本发明解决上述技术问题所采取的技术方案是:本发明的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机包括导轨、驱动机构、两个圆环形垫圈和两套箝位机构，每个所述垫圈为圆环形，所述导轨为圆柱形；
[0006]所述驱动机构包括驱动套筒、第一压电叠堆和两个夹紧体；所述驱动套筒为圆柱形，第一压电叠堆为空心圆柱体，每个夹紧体为空心圆柱体；
[0007]每套箝位机构包括箝位体、三个第二压电叠堆和三个柔性体；每个箝位体为空心圆柱体，每个第二压电叠堆为长方体，每个柔性体的截面呈{形；
[0008]驱动套筒内的中部安装有第一压电叠堆，驱动套筒内由内向外左右对称安装有夹紧体、垫圈和箝位体，且所述夹紧体、垫圈和箝位体紧密贴靠连接为一体，夹紧体与驱动套筒螺纹连接，第一压电叠堆通过两个夹紧体轴向夹紧，箝位体插装在驱动套筒内，每个箝位体的内表面上沿箝位体的周向均布设置有三个柔性体，三个柔性体与相应的箝位体一体制成,每个柔性体的槽口指向相对应的箝位体的内表面,每个柔性体的槽内固装有一个第二压电叠堆，第二压电叠堆的长度方向与箝位体的轴向垂直，导轨伸入驱动套筒内并穿过第一压电叠堆的中心孔、两个夹紧体的中心孔和两个垫圈的中心孔，且每个箝位体上的三个柔性体的底部与导轨过盈配合。[0009]本发明的有益效果是:
[0010]1、本发明电机的驱动套筒、第一压电叠堆、箝位体、夹紧体、第二压电叠堆均为圆柱形，本发明整个体积小，结构紧凑，轴向尺寸小，适用于细长的运动机构中。
[0011]2、利用了三角放大原理，箝位体上的三个柔性体，可以在长方体形第二压电叠堆不通电时夹紧导轨，在长方体形第二压电叠堆通电时实现三个柔性体变形的三角放大，抵消并大于过盈配合量，从而解除对导轨的夹紧作用，因此可以通过提高导轨和箝位体上的柔性体的过盈量来提高箝位力，实现大的轴向力输出。箝位体和三个柔性体既可以起箝位作用又可以起导向作用，解决了现有被动箝位式的蠕动电机需要单独增加导向机构的问题。
[0012]3、利用导轨和箝位体上的柔性体的过盈配合提供箝位力，在长方体形第二压电叠堆未通电时就已经形成箝位，长方体形压电叠堆通电时解除箝位，从而达到断电自锁的功倉泛。
[0013]4、本发明电机的导轨与箝位机构的柔性体装配中没有间隙，是过盈配合，相对静止，同心度高，可以实现微米级的精确定位。
[0014]5、实验证明，本发明压电蠕动电机设计原理是可行的，达到了被动箝位的目的，保证了电机箝位与非箝位的顺利转换，实现了新结构电机的蠕动运动。在频率为80Hz，额定电压150V时，电机的运动速度达到了 364 μ m/s。在驱动电压为40V时，电机达到了比较高的位移分辨率0.05 μ m。电机具有较高的位移放大倍数，并且放大倍数具有较好的一致性,很好地实现了两端箝位机构对导轨的同心箝位。电机未通电时的双侧箝位力为5N，单侧箝位力为2.5N，最大的连续驱动力为IN，可用于精密的位置和形状控制的场合。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1是本发明电机的整体结构主剖视示意图，图2是图1的侧视图，图3是本发明的驱动套筒的主剖视结构示意图，图4是夹紧体的侧视图，图5是箝位体和柔性体连接结构的侧视图，图6是其中一个箝位机构解除箝位的状态示意图，图7是驱动机构伸长状态示意图，图8是图6中的其中一个箝位机构恢复箝位的状态示意图，图9是另一个箝位机构解除箝位的状态示意图，图10是图7中的驱动机构恢复原长的状态示意图，图11是图9中的另一个箝位机构恢复箝位的状态示意图，图12是本发明电机的箝位机构上的第二压电叠堆的电压与箝位机构径向位移的曲线图，图13是本发明电机的箝位机构上的第二压电叠堆的频率与箝位机构位移幅值的曲线图，图14是本发明电机的箝位机构上的第二压电叠堆的电压与箝位机构位移误差的曲线图，图15是本发明电机在不同载荷情况下单步位移与驱动电压曲线图，图16是本发明电机在不同驱动电压下驱动力与输出位移的关系曲线图，图17是本发明电机在不同驱动电压下的测量次数及电机位移曲线图。
【具体实施方式】
[0016]【具体实施方式】一:结合图1-图5说明，本实施方式的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机包括导轨11、驱动机构A、两个圆环形垫圈6和两套箝位机构B，每个所述垫圈6为圆环形,所述导轨11为圆柱形；
[0017]所述驱动机构A包括驱动套筒1、第一压电叠堆4和两个夹紧体3 ;所述驱动套筒I为圆柱形，第一压电叠堆4为空心圆柱体，每个夹紧体3为空心圆柱体；
[0018]每套箝位机构B包括箝位体2、三个第二压电叠堆10和三个柔性体12 ;每个箝位体2为空心圆柱体，每个第二压电叠堆10为长方体，每个柔性体12的截面呈{形；
[0019]驱动套筒I内的中部安装有第一压电叠堆4，驱动套筒I内由内向外左右对称安装有夹紧体3、垫圈6和箝位体2，且所述夹紧体3、垫圈6和箝位体2紧密贴靠连接为一体，夹紧体3与驱动套筒I螺纹连接，第一压电叠堆4通过两个夹紧体3轴向夹紧，箝位体2插装在驱动套筒I内，每个箝位体2的内表面上沿箝位体2的周向均布设置有三个柔性体12，三个柔性体12与相应的箝位体2 —体制成，每个柔性体12的槽口指向相对应的箝位体2的内表面，每个柔性体12的槽内固装有一个第二压电叠堆10，第二压电叠堆10的长度方向与箝位体2的轴向垂直，导轨11伸入驱动套筒I内并穿过第一压电叠堆4的中心孔、两个夹紧体3的中心孔和两个垫圈6的中心孔，且每个箝位体2上的三个柔性体12的底部与导轨11过盈配合。
[0020]【具体实施方式】二:结合图2说明，本实施方式的箝位体2与驱动套筒I间隙配合。如此设置，保证了箝位体和驱动套筒的相对运动。其它与【具体实施方式】一相同。
[0021]【具体实施方式】三:结合图1说明，本实施方式垫圈6与驱动套筒I间隙配合。如此设置，夹紧体、箝位体和垫圈的轴向压紧不会影响箝位弹性体上柔性机构的周向变形，利于实现箝位体上柔性体的三角位移放大。其它与【具体实施方式】一或二相同。
[0022]【具体实施方式】四:结合图2说明，本实施方式的每个箝位体2上的三个柔性体12的底部与导轨11的接触面均为平面或V形面。如此设置，保证了三个柔性体均与圆柱形导轨相切，接触良好，有利于对圆柱形导轨的夹紧。其它与【具体实施方式】一相同。
[0023]【具体实施方式】五:结合图3说明，本实施方式所述驱动套筒I的外侧面的中部沿其周向加工有一圈凹槽1-1，凹槽1-1的底部沿其周向开设有六个长方形开口 1-2，位于凹槽
1-1两侧的驱动套筒I内侧面分别由里向外主要由内螺纹面和光面组成。如此设置，六个长方形开口的设置，能够减小驱动套筒的轴向刚度，利于驱动套筒的伸缩运动；螺纹面和光面的设置，有利于垫圈和夹紧体的布置。其它与【具体实施方式】一、二或四相同。
[0024]为了进一步保证垫圈与夹紧体的良好接触，驱动套筒内的凹槽和光面之间可以增设退刀槽。
[0025]【具体实施方式】六:结合图1说明，本实施方式的每个夹紧体3包括大直径空心圆柱体3-1和小直径空心圆柱体3-2，大直径圆柱体3-1与小直径圆柱体3-2同轴的设置并一体制成，大直径空心圆柱体3-1的外侧面加工外螺纹，驱动套筒I的内表面加工有内螺纹，第一压电叠堆4套装在小直径空心圆柱体3-2上，第一压电叠堆4通过与驱动套筒I螺纹连接的两个大直径空心圆柱体3-1夹紧。如此设置，有利于圆环形压电叠堆的轴向压紧。其它与【具体实施方式】五相同。
[0026]【具体实施方式】七:结合图1说明，本实施方式所述驱动机构A还包括六个第一螺钉7，布置在驱动套筒I内的中部两侧的夹紧体3、垫圈6和箝位体2三者通过三个第一螺钉7紧密贴靠连接为一体。如此设置，有利于将箝位体轴向压紧，不会影响柔性体的周向变形。其它与【具体实施方式】一、二、四或六相同。
[0027]【具体实施方式】八:结合图2说明，本实施方式所述每套箝位机构B还包括三个第二螺钉8和三个垫片9，每个柔性体12的槽内固装垫片9，垫片9与第二压电叠堆10的一端相贴靠，每个第二压电叠堆10通过顶靠在垫片9上并与箝位体2螺纹连接的第二螺钉8压紧。如此设置，通过垫片的压紧进而实现对第二压电叠堆的预紧。其它与【具体实施方式】七相同。
[0028]【具体实施方式】九:结合图1说明，本实施方式所述驱动机构A还包括两个第三螺钉5，每个夹紧体3通过与驱动套筒I螺纹连接的第三螺钉5径向定位和轴向锁紧。其它与【具体实施方式】一、二、四、六或八相同。
[0029]【具体实施方式】十:结合图1和图5说明，本实施方式所述箝位体2和三个柔性体12均由硬铝合金或弹簧钢制成。如此设置，具有良好的物理力学性能，具有良好的弹性，在载荷反复作用下具有长的使用寿命。其它与【具体实施方式】六相同。
[0030]工作过程
[0031]结合图1-图11说明，压电蠕动电机通过箝位伸缩三个部分的时序动作实现直线运动。箝位机构用来提供系统静态和动态输出所需的摩擦力，驱动机构用来产生输出位移。当箝位机构的第二压电叠堆通电伸长时，由于箝位体上的柔性体的位移放大作用，使得箝位体对圆柱形导轨箝位放松；断电时，在弹性恢复力的作用下，箝位体上的柔性机构恢复对导轨的箝位，驱动机构上的第一压电叠堆的伸长与缩短实现驱动机构沿导轨的轴向运动。
[0032]在一个循环内的基本运动过程为(如图6-图11):
[0033](I)其中一个箝位机构的第二压电叠堆通电，该其中一个箝位机构解除箝位；
[0034](2)驱动机构的第一压电叠堆通电，驱动机构伸长；
[0035](3)其中一个箝位机构的第二压电叠堆断电，该其中一个箝位机构恢复箝位；
[0036](4)另一个箝位机构的第二压电叠堆通电，该第二个箝位机构解除箝位；
[0037](5)驱动机构的第一压电叠堆断电，驱动机构恢复原长；
[0038](6)另一个箝位机构的第二压电叠堆断电，该第二个箝位机构恢复箝位。
[0039]下面结合附图和实施例对本发明做进一步说明。
[0040]三块第二压电叠堆10放置在开有三个对称分布的柔性机构的圆柱形箝位弹性体2上，每块长方体形第二压电叠堆10上通过穿过箝位体2的第二螺钉8预紧，其中箝位体2靠外的孔是通孔，柔性体12上的孔是螺纹孔，柔性体12和箝位体2可采用硬铝合金或弹簧钢，箝位部分的压电叠堆是长、宽、高分别为18毫米、6毫米、6毫米的长方体形压电叠堆10，驱动部分的压电叠堆是外径、内径、长度分别为14.5毫米、13.5毫米、9毫米的圆环形压电叠堆4，箝位体2与驱动套筒I的配合、以及垫圈6与驱动套筒I的配合是间隙配合，箝位体2的柔性机构与导轨11的配合是过盈配合。第一螺钉7依次连接箝位体2、垫圈6和夹紧体3，将箝位体2轴向压紧。其中，箝位体2和垫圈6上的孔是通孔，每个夹紧体3的外圆周侧面为螺纹，每个夹紧体3上有两个用于装配的通孔。驱动套筒I可采用硬铝合金或弹黃钢。
[0041]压电蠕动电机的驱动部分采用的是圆环形第一压电叠堆4，其内孔直径大于夹紧体3的小直径空心圆柱体的外径，其外圆周直径小于夹紧体3的两个安装孔的内边缘圆周直径。轴向两侧的夹紧体3具有轴向刚度大的特性，其小直径空心圆柱体的内径略大于导轨的外径，使电机在未通电时只在箝位体2部分与导轨接触。夹紧体3外圆周方向车有外螺纹，与驱动套筒I车有内螺纹通过螺纹连接来压紧圆环形第一压电叠堆4，从而实现第一压电叠堆4的轴向定位。驱动套筒I开了六个开口，可以减小驱动套筒的轴向刚度，利于驱动套筒的伸缩运动。驱动套筒I是中间设置凹槽且两边对称的圆柱形的结构，两边箝位机构和驱动机构均在其内部。驱动套筒I与夹紧体3连接处车有内螺纹，与箝位体2和垫圈6连接处没有螺纹，此处直径略大于有螺纹处直径，并且螺纹长度和退刀槽的长度之和小于夹紧体3的厚度，以保证垫圈6与夹紧体3接触。驱动套筒I的中间凹槽的底面至驱动套筒I的内表面的厚度较薄，轴向刚度小，主要用于承受伸长变形，这部分的内孔直径大于第一压电叠堆4的外圆周直径。圆柱形导轨11除了与柔性体12是过盈配合，与其余部分都没有配合。
[0042]每次循环可形成步进位移，不断地循环即可实现电机的直线运动，可以通过改变驱动电压和响应频率的大小来调节电机的运动速度。
[0043]电机的特性如图12-图17阐述:1、箝位机构的位移，箝位机构的位移放大倍数是实现电机箝位功能的重要参数，它直接关系到箝位部分与导轨能否顺利地解除箝位，并且决定着箝位解除的灵活性和充分性。如图12所示为箝位压电叠堆通电时，箝位机构中的柔性部分直径方向上的位移与箝位电压之间的关系。从图中可以看出，箝位机构中的柔性部分直径方向上的位移与箝位电压之间呈现出递增的趋势，线性度也较好，当箝位电压为150V时，径向位移达到最大，最大值为61.4μπι。
[0044]2、箝位机构的频率响应，箝位机构的频率响应特性主要表现在箝位机构的位移幅值随箝位电压频率的变化关系，直接关系到箝位机构的箝位效果。箝位机构频率响应特性的测试结果如图13所示，图中表示的是五个不同驱动电压IOV (实心线条指示)、40V (.线条指示)、70V (▲线条指示)、110V (▼线条指示)、145V (?线条指示)下的箝位机构位移幅值与箝位信号频率的关系。箝位机构位移幅值基本上随着频率的增加呈递减的趋势。在20Hz频率范围内，幅值的递减幅度较大；在20Hz左右达到一个较低值，超过20Hz之后幅值的变化就相对缓慢，这与驱动机构的频率响应特性类似，都是由于高频时机械结构的变形响应较压电叠堆的电响应慢所致。
[0045]由于箝位机构和驱动机构中的振动都是非简谐激励的受迫振动，因此两者机械结构频率响应的一致性有利于整个电机达到最大的运动频率。另外，在频率一定的情况下，电压越大，箝位机构的位移幅值也越大。
[0046]将箝位机构和驱动机构进行组装，研究整机的试验特性。试验分析的参数包括静态箝位摩擦力，箝位稳定性，空载情况下的一次单步位移、连续单步位移和驱动速度，以及带载情况下的一次单步位移、连续单步位移和驱动速度，分辨率等。
[0047]3、箝位稳定性，箝位稳定性反映的是箝位运动对导轨直线运动的影响程度，可以用电机从非箝位到箝位的转化过程中，箝位机构对导轨的夹持作用造成的导轨在轴向的窜动位移来表示。图14所示为位移误差与箝位电压关系。位移误差随着箝位电压的增大而增大，这是因为箝位电压越大，柔性铰链的变形越大，箝位机构箝位时对导轨的冲击力大于另一侧箝位机构的箝位摩擦力，位移误差就越大。因此箝位误差是难以避免的，可以通过多次预紧来试图减小箝位误差。
[0048]4、空载单步位移与带载单步位移,单步位移直接关系着压电螺动电机的运动速度和运动精度。空载单步位移是指电机空载情况下给驱动压电叠堆一个周期的脉冲时电机向前运动一步的位移。带载单步位移是指在一定载荷的作用下给驱动压电叠堆一个周期的脉冲时电机向前运动一步的位移。图15所示为IOHz频率下载荷分别为ON (▼线条指示)、0.25N ( 线条指示)、0.5N (?线条指示)、0.7N (▲线条指示)时单步位移与驱动电压的关系曲线。
[0049]从图中可以看出，载荷一定时，单步位移随驱动电压的增加而增加；驱动电压一定时，载荷越大，单步位移越小。电机在电压为150V的空载情况下达到IOHz频率下的最大一次单步位移4.8 μ m。
[0050]5、连续驱动力与分辨率，连续驱动力是电机在连续运动的过程中所具有的驱动能力，是压电蠕动电机的重要的输出特性之一。图16所示是频率为IOHz时电压值在150V(_线条指示)和130V (?线条指示)的情况下驱动力与输出位移的关系曲线图。从图中可以看出，输出位移随着驱动力的增加而显著降低，当驱动力为IN时，输出位移基本趋于零。电机的最大连续驱动力是IN，电机产生的惯性力也不大，适用于精密定位领域。
[0051]用激光位移传感器测得的电机连续单步位移的最小值即为电机的分辨率，是压电蠕动电机的重要性能指标。图17所示为电机空载时IOHz的频率下多次测量得到的位移分辨率曲线。电机在50V ( 线条指示)、45V (?线条指示)和40V (▲线条指示)下的分辨率的平均值分别为0.08 μ m、0.07 μ m和0.05 μ m,40V以下激光位移传感器的测量值均为零，因此本电机的分辨率为0.05 μ m。
【权利要求】
1.一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:它包括导轨(11)、驱动机构(A)、两个圆环形垫圈(6)和两套箝位机构(B),每个所述垫圈(6)为圆环形,所述导轨(11)为圆柱形； 所述驱动机构(A)包括驱动套筒(I)、第一压电叠堆(4)和两个夹紧体(3);所述驱动套筒(I)为圆柱形，第一压电叠堆(4)为空心圆柱体，每个夹紧体(3)为空心圆柱体； 每套箝位机构(B)包括箝位体(2)、三个第二压电叠堆(10)和三个柔性体(12);每个箝位体(2)为空心圆柱体，每个第二压电叠堆(10)为长方体，每个柔性体(12)的截面呈{形； 驱动套筒(I)内的中部安装有第一压电叠堆(4)，驱动套筒(I)内由内向外左右对称安装有夹紧体(3)、垫圈(6)和箝位体(2)，且所述夹紧体(3)、垫圈(6)和箝位体(2)紧密贴靠连接为一体，夹紧体(3)与驱动套筒(I)螺纹连接，第一压电叠堆(4)通过两个夹紧体(3)轴向夹紧，箝位体(2)插装在驱动套筒(I)内，每个箝位体(2)的内表面上沿箝位体(2)的周向均布设置有三个柔性体(12)，三个柔性体(12)与相应的箝位体(2) —体制成，每个柔性体(12)的槽口指向相对应的箝位体(2)的内表面，每个柔性体(12)的槽内固装有一个第二压电叠堆(10)，第二压电叠堆(10)的长度方向与箝位体(2)的轴向垂直，导轨(11)伸入驱动套筒(1)内并穿过第一压电叠堆(4)的中心孔、两个夹紧体(3)的中心孔和两个垫圈(6)的中心孔，且每个箝位体(2)上的三个柔性体(12)的底部与导轨(11)过盈配合。
2.根据权利要求1所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:箝位体(2)与驱动套筒(1)间隙配合。
3.根据权利要求1或2所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:垫圈(6)与驱动套筒(1)间隙配合。
4.根据权利要求1所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:每个箝位体(2)上的三个柔性体(12)的底部与导轨(11)的接触面均为平面或V形面。
5.根据权利要求1、2或4所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:所述驱动套筒(1)的外侧面的中部沿其周向加工有一圈凹槽(1-1)，凹槽(1-1)的底部沿其周向开设有六个长方形开口(1-2)，位于凹槽(1-1)两侧的驱动套筒(I)内侧面分别由里向外主要由内螺纹面和光面组成，所述的驱动套筒I由硬铝合金或弹簧钢制成。
6.根据权利要求5所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:每个夹紧体(3)包括大直径空心圆柱体(3-1)和小直径空心圆柱体(3-2)，大直径圆柱体(3-1)与小直径圆柱体(3-2)同轴的设置并一体制成，大直径空心圆柱体(3-1)的外侧面加工外螺纹，第一压电叠堆(4)套装在小直径空心圆柱体(3-2)上，第一压电叠堆(4)通过与驱动套筒(I)螺纹连接的两个大直径空心圆柱体(3-1)夹紧。
7.根据权利要求1、2、4或6所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:所述驱动机构(A)还包括六个第一螺钉(7)，布置在驱动套筒(I)内的中部两侧的夹紧体(3)、垫圈(6)和箝位体(2)三者通过三个第一螺钉(7)紧密贴靠连接为一体。
8.根据权利要求7所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:所述每套箝位机构(B )还包括三个第二螺钉(8 )和三个垫片(9 )，每个柔性体(12 )的槽内固装垫片(9)，垫片(9)与第二压电叠堆(10)的一端相贴靠，每个第二压电叠堆(10)通过顶靠在垫片(9)上并与箝位体(2)螺纹连接的第二螺钉(8)压紧。
9.根据权利要求1、2、4、6或8所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:所述驱动机构(A)还包括两个第三螺钉(5)，每个夹紧体(3)通过与驱动套筒(I)螺纹连接的第三螺钉(5)径向定位和轴向锁紧。
10.根据权利要求6所述的一种圆柱形被动箝位式压电蠕动直线电机，其特征在于:所 述箝位体(2)和三个柔性体(12)均由硬铝合金或弹簧钢制成。
【文档编号】H02N2/04GK103762887SQ201410051781
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2014年2月14日 优先权日:2014年2月14日
【发明者】曲建俊, 黄辉, 郭文峰 申请人:哈尔滨工业大学