电源内置风扇的监控装置的制作方法

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种电源内置风扇的监控装置。

背景技术：

目前，半导体集成电路(IC)产业已经经历了指数式增长。IC材料和设计中的技术进步已经产生了数代IC，其中，每代IC都比前一代IC具有更小和更复杂的电路。在IC发展的过程中，功能密度(即每一芯片面积上互连器件的数量)已普遍增加，而几何尺寸(即使用制造工艺可以产生的最小部件)却已减小。除了IC部件变得更小和更复杂之外，在其上制造IC的晶圆变得越来越大，这就对晶圆的质量要求越来越高。

在晶圆的制造过程中，需要经过多步工艺，例如表面清洗、初次氧化、化学气相沉积镀膜、化学机械研磨、光刻、退火、离子注入等，而每一步工艺的实现都需要借助相应的制造设备。随着晶圆制造工艺过程中自动化程度的不断提高，完成晶圆制造工序的各种设备基本上都属于电子设备。而一种电子设备的正常运行，需要提供一个或多个电源。为了利于电源散热，通常在这些电源中都内置有散热风扇，以协助电源散热。

为了确保散热风扇正常运行，通常在对电源作周期性保养的过程中，也会对散热风扇进行周期性的检查。但是，人工检查的方式存在漏检性和延误性，不能及时、准确的发现散热风扇的缺陷。因此，如果没有及时知晓散热风扇的缺陷，而在设备运行过程中出现散热风扇失效的情况，不仅会严重影响电源的输出，而且还会使得电源因温度升高甚至烧焦，直接影响电源成本与机台效率，严重时还会对生成过程中的晶圆产品造成损伤。

因此，如何及时、准确的知晓电源内散热风扇的状况，避免散热风扇在使用过程中出现失效而带来的一系列影响，是目前亟待解决的技术问题。

技术实现要素：

本实用新型提供一种电源内置风扇的监控装置，用以解决现有技术中不能及时、准确的知晓电源内散热风扇的状况的问题，以避免在晶圆生产设备运行过程中出现散热风扇失效的现象。

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种电源内置风扇的监控装置，包括第一传感器和控制器；所述第一传感器，连接所述控制器，用于检测风扇内部的电信号并传输至所述控制器；所述控制器，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，所述电信号为电压信号，所述第一传感器为电压传感器。

优选的，所述电信号为电流信号，所述第一传感器为电流传感器。

优选的，所述第一传感器连接所述风扇的供电输入线或供电输出线。

优选的，还包括第二传感器；所述第二传感器，连接所述控制器，用于检测所述风扇的马达温度并传输至所述控制器；所述控制器还用于判断所述温度是否超出第二预设范围，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，还包括第三传感器；所述第三传感器，固定于所述风扇的支架上，用于检测所述第三传感器与所述风扇中一扇叶之间的距离并传输至所述控制器；所述控制器判断连续多次检测到的距离是否相同，若是，则确认所述风扇出现异常。

优选的，所述控制器包括显示屏，所述显示屏用于显示所述电信号。

优选的，还包括报警器；所述报警器，连接所述控制器，用于在所述风扇出现异常时发出报警信号。

优选的，所述报警器包括蜂鸣器和/或发光二极管。

本实用新型提供的电源内置风扇的监控装置，基于当风扇出现异常时，风扇内部的电信号必定发生异常的原理，通过第一传感器检测风扇内部的电信号并传输至控制器进行分析，就可以实时、准确的了解风扇是否出现异常，避免了人工检查方式的漏检性和延误性，防止了在晶圆生产设备运行过程中因风扇异常而导致的一系列问题，在提高设备使用寿命的同时，也确保了晶圆产品的质量。

附图说明

附图1是本实用新型具体实施方式的电源内置风扇的监控装置的结构框图；

附图2是本实用新型具体实施方式的电源内置风扇的监控装置与风扇连接的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型提供的电源内置风扇的监控装置的具体实施方式做详细说明。

本具体实施方式提供了一种电源内置风扇的监控装置，附图1是本实用新型具体实施方式的电源内置风扇的监控装置的结构框图，附图2是本实用新型具体实施方式的电源内置风扇的监控装置与风扇连接的结构示意图。

如图1、2所示，本具体实施方式提供的电源内置风扇的监控装置，包括第一传感器11和控制器12；所述第一传感器11，连接所述控制器12，用于检测风扇21内部的电信号并传输至所述控制器12；所述控制器12，用于判断所述电信号是否超出第一预设范围，若是，则确认所述风扇21出现异常。本具体实施方式中的风扇，是指内置于电源中、用于电源散热的风扇。本领域技术人员根据其掌握的普通技术知识可以知晓，当风扇出现异常时，其内部的电信号必定会发生变化，本具体实施方式基于这一原理，构建了包括所述第一传感器11与所述控制器12的监控装置，通过实时、自动的检测风扇内部的电信号来判断风扇是否出现异常，从而避免了现有人工检查方式的漏检性和延误性。其中，所述控制器12可以是置于电源内部，也可以是置于电源外部，为了不增加电源内部结构的复杂性、且便于工作人员实时的、直观的查看风扇状况，优选的，所述控制器12置于电源外部，所述电源是指内置有所述风扇21的电源。所述第一传感器11与所述风扇21的连接方式，本领域技术人员也可以根据实际需要进行设定，只要能检测到所述风扇21内部的电信号即可。所述第一预设范围的具体数值，本领域技术人员也可以根据实际需要进行设定，例如根据风扇的性质、电源散热的要求等，本具体实施方式对此不作限定。

本领域技术人员可以根据实际需要选择电信号的具体类型，为了提高检测的准确性，优选的，本具体实施方式中所述电信号为电压信号，所述第一传感器11为电压传感器。或者，本具体实施方式中的所述电信号为电流信号，所述第一传感器11为电流传感器。不仅如此，为了进一步提高检测的准确性，优选的，所述电信号还可以同时包括电流信号和电压信号，所述第一传感器11包括电流传感器和电压传感器。这样，通过同时对电流信号和电压信号的检测，从而提高了检测结果的可靠性。

为了实现对所述电信号的准确检测，同时又不造成所述风扇内部电路结构的复杂性，优选的，如图2所示，所述第一传感器11连接所述风扇21的供电输入线214或供电输出线。本具体实施方式中，所述供电输入线214，是指通过供电电源向所述风扇21传输供电电压的线路。

为了进一步提高电源内置风扇的监控装置检测的准确性、可靠性，优选的，如图1、2所示，本具体实施方式提供的电源内置风扇的监控装置还包括第二传感器；所述第二传感器13，连接所述控制器12，用于检测所述风扇21的马达212温度并传输至所述控制器12；所述控制器12还用于判断所述温度是否超出第二预设范围，若是，则确认所述风扇21出现异常。这是因为，在所述风扇21正常运转的过程中，所述马达212由于其自身的转动会产生一定的热量，从而使得马达的温度保持在一定范围内，当所述风扇21的转速下降或者停止转动时，所述马达212的温度就会降低；而当所述风扇21出现转速过快或者内部出现短路时，所述马达212的温度就会升高。因此，通过所述第二传感器13对所述马达212温度的检测，并通过所述控制器12对所述温度进行分析，从而使得电源内置风扇的监控装置检测结果的准确性和可靠性更高。为了能够准确的测得所述马达212的温度，更优选的，如图2所示，所述第二传感器13置于所述马达212表面。这样，通过所述第二传感器13与所述马达212的直接接触来检测所述马达212的温度，检测的准确性可以大幅度提高。

为了进一步提高电源内置风扇的监控装置检测的准确性、可靠性，优选的，如图1、2所示，本具体实施方式提供的电源内置风扇的监控装置还包括第三传感器14；所述第三传感器14，固定于所述风扇21的支架213上，用于检测所述第三传感器14与所述风扇21中一扇叶211之间的距离并传输至所述控制器12；所述控制器12判断连续多次检测到的距离是否相同，若是，则确认所述风扇21出现异常。由于所述第三传感器14是固定于所述支架213上的，即所述第三传感器14相对于所述支架213的位置是相对固定不变的，但是所述风扇21的运行过程中，所述扇叶211是在所述马达212的带动下不断的转动的，即在所述风扇正常运转过程中、所述扇叶211相对于所述第三传感器14的位置是不断变化的，当连续多次检测到的所述第三传感器14与所述扇叶211之间的距离相同时，则证明所述扇叶211没有进行转动，即确认所述风扇21出现了异常。结合电信号与风扇扇叶的转动信号来判断所述风扇是否出现异常，能够进一步提高监测的准确性和可靠性。其中，所述支架213可以是用于固定所述风扇21的扇叶211的支架。

为了使得用户可以直观的了解风扇运行过程中的电信号情况，优选的，所述控制器12包括显示屏121，所述显示屏121用于显示所述电信号。其中，所述显示屏121显示所述电信号的方式，可以是以数字形式显示，也可以是以图形方式显示。不仅如此，所述显示屏121还可以用于显示所述第二传感器13检测到的马达温度和/或所述第三传感器14检测到的所述第三传感器14与所述扇叶211之间的距离。更优选的，所述控制器12可以为一计算机。

为了在所述风扇发生异常时及时的提醒工作人员，以便工作人员及时采取措施，避免造成损失，优选的，本具体实施方式提供的电源内置风扇的监控装置还包括报警器15；所述报警器15，连接所述控制器12，用于在所述风扇21出现异常时发出报警信号。更优选的，所述报警器15包括蜂鸣器和/或发光二极管。当所述风扇21出现异常时，所述蜂鸣器发出一预设时间的蜂鸣声和/或所述发光二极管闪烁预定次数。

本具体实施方式提供的电源内置风扇的监控装置，基于当风扇出现异常时，风扇内部的电信号必定发生异常的原理，通过第一传感器检测风扇内部的电信号并传输至控制器进行分析，就可以实时、准确的了解风扇是否出现异常，避免了人工检查方式的漏检性和延误性，防止了在晶圆生产设备运行过程中因风扇异常而导致的一系列问题，在提高设备使用寿命的同时，也确保了晶圆产品的质量。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。