跨尺度精密运动平台

文档序号:26145883发布日期:2021-08-03 14:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种跨尺度精密运动平台,其特征在于,包括保护座及位于所述保护座内的运动机构,所述运动机构包括压电陶瓷、及设置在所述压电陶瓷两侧的运动组件和惯性组件,所述压电陶瓷接收外部驱动信号以驱动所述运动组件和惯性组件;

其中,所述惯性组件包括惯性传动件及与所述惯性传动件连接的惯性摩擦件,所述保护座上设置有导轨,所述惯性摩擦件与所述导轨滑动配合。

2.如权利要求1所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述惯性摩擦件包括与所述惯性传动件连接的弹性连接体、及与所述弹性连接体连接的摩擦体,所述摩擦体设置有滑块与所述导轨滑动配合。

3.如权利要求2所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述滑块与所述导轨相适配,所述滑块和所述导轨的横截面呈梯形状或矩形状或三角形状。

4.如权利要求2所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述惯性传动件具有第一斜面,所述弹性连接体具有与所述第一斜面相适配的第二斜面,所述第一斜面与所述第二斜面连接,以实现所述弹性连接体与所述惯性传动件的连接。

5.如权利要求2所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述摩擦体的材料为自润滑材料。

6.如权利要求1所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述惯性传动件包括与所述压电陶瓷连接的惯性输出体、及与所述惯性输出体连接的惯性传动体;所述惯性输出体呈t字型,所述压电陶瓷与t字型的所述惯性输出体连接。

7.如权利要求6所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述惯性输出体与所述惯性传动体一体成型设置。

8.如权利要求1所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述运动组件包括运动输出件及与所述运动输出件连接的运动传动件,所述运动传动件具有空腔,所述压电陶瓷设置在所述空腔内,且至少部分所述惯性传动件伸入至所述空腔设置。

9.如权利要求8所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述跨尺度精密运动平台还包括与外部器件对接的连接板,所述运动输出件与所述连接板螺纹连接。

10.如权利要求8所述的跨尺度精密运动平台,其特征在于,所述跨尺度精密运动平台还包括设置在所述保护座上的测量组件,所述运动输出件与所述测量组件连接。


技术总结
本申请涉及一种跨尺度精密运动平台,包括保护座及位于保护座内的运动机构,运动机构包括压电陶瓷、及设置在压电陶瓷两侧的运动组件和惯性组件,压电陶瓷接收外部驱动信号以驱动运动组件和惯性组件;其中,惯性组件包括惯性传动件及与惯性传动件连接的惯性摩擦件,保护座上设置有导轨,惯性摩擦件与导轨滑动配合。通过上述方式,其能够提高运动平台的运动稳定性,减小误差进而提高运动精度。

技术研发人员:钟博文
受保护的技术使用者:苏州大学
技术研发日:2021.05.31
技术公布日:2021.08.03
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