高洁净倍速电机机构的制作方法

1.本实用新型涉及倍速电机结构领域，具体为高洁净倍速电机机构。


背景技术：

2.目前常见的倍速电机机构一般结构较为复杂，在具体装配使用过程中需要较为繁琐的步骤与半导体机台进行配合，为了保障工艺标准还需要确保运送工作过程中的整体抗压防震效果，整体实现效果欠佳。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供高洁净倍速电机机构，能够有效应用于对洁净度、振动、速度及噪音均要求特别高的半导体领域，同时可以非常方便的集成于半导体机台内，提高工艺标准，提高成品良率。
4.本实用新型提供如下技术方案：高洁净倍速电机机构，包括基板和高速电机，所述基板的表面底部栓接有安装架，所述基板与安装架之间装配有高转速主轴执行机构，所述高转速主轴执行机构包括主轴、安装座、背对轴承和定位轴承，所述安装座嵌入式安装在基板的表面，所述安装座的内壁嵌入式装配有背对轴承，所述主轴活动安装至背对轴承内；
5.所述高速电机栓接至安装架的底部表面，且所述高速电机与主轴上配合安装有低发尘倍速机构。
6.优选的，所述低发尘倍速机构包括第一传动轮、第二传动轮和柔性皮带，所述第一传动轮键连接至主轴的表面，所述第二传动轮通过键与高速电机的输出端键连接，所述第一传动轮与第二传动轮之间通过柔性皮带传动连接。
7.优选的，所述定位轴承嵌入式安装至安装架的一侧表面，所述主轴的一端活动安装至定位轴承内。
8.优选的，所述基板的周边表面依次均匀开设有安装孔。
9.优选的，所述基板在高速电机与主轴之间的表面开设有开口槽。
10.优选的，所述基板在开口槽一侧的表面栓接有加强板，且所述加强板为钢结构材料制成的一体化结构。
11.优选的，所述基板在开口槽两侧的表面与主轴一侧的表面分别装配有第二减震块。
12.优选的，所述安装座在第一传动轮一侧的表面开设有开口槽，且所述安装座在开口槽处的表面上栓接有辅助支杆，所述辅助支杆的另一端栓接至安装架的表面。
13.优选的，所述高速电机的外壳表面对称式栓接有连接件，且两个所述连接件分别嵌入式插接至安装架的底部表面。
14.优选的，所述基板的底部表面通过连接机构配合与第一减震块固定连接，所述第一减震块的底部通过辅助连接组件配合与安装架的表面固定连接。
15.优选的，所述连接机构包括固定架、凹槽、连接架、内框架和卡勾，所述固定架栓接
至基板的底部表面，所述固定架的两侧对称式开设有凹槽，所述第一减震块嵌入式安装至连接架的一侧表面，所述连接架的表面栓接有内框架，所述内框架的两端一体化成型有卡勾，所述内框架通过两个卡勾配合与设置在固定架上的凹槽对应插接。
16.优选的，所述辅助连接组件包括连接座、连接杆和凸起块，所述第一减震块的底部嵌入式设置在连接座的表面，所述连接座的底部表面粘接有连接杆，所述连接杆的表面依次均匀设有凸起块，所述连接杆通过凸起块配合插接至安装架的表面，且所述连接杆的端部贯穿安装架。
17.本实用新型的技术效果和优点：
18.1、本实用新型主要由高速电机、低发尘倍速机构及高转速主轴执行机构三大部分组成，能够有效应用于对洁净度、振动、速度及噪音均要求特别高的半导体领域，同时可以非常方便的集成于半导体机台内，提高工艺标准，提高成品良率。
19.2、通过对内部结构的优化，利用柔性连接方式使得高转速主轴执行机构和低发尘倍速机构进行关联，达到提高终端速度的同时，降低振动和噪音，使得高转速主轴执行机构运行更加快速和平稳。
附图说明
20.图1为本实用新型的结构示意图；
21.图2为本实用新型的低发尘倍速机构和高转速主轴执行机构连接结构示意图；
22.图3为本实用新型的第一减震块安装部分结构示意图；
23.图4为图3中标记a部分结构示意图。
24.附图标记说明：1、基板；2、高速电机；3、低发尘倍速机构；4、高转速主轴执行机构；5、主轴；6、安装座；7、背对轴承；8、安装架；9、定位轴承；10、第一传动轮；11、第二传动轮；12、柔性皮带；13、第一减震块；14、第二减震块；15、安装孔；16、加强板；17、辅助支杆；18、连接件；19、连接机构；191、固定架；192、凹槽；193、连接架；194、内框架；195、卡勾；20、连接座；21、连接杆；211、凸起块。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.本实用新型提供了如图1
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4所示的高洁净倍速电机机构，包括基板1和高速电机2，基板1的表面底部栓接有安装架8，基板1与安装架8之间装配有高转速主轴执行机构4，高转速主轴执行机构4包括主轴5、安装座6、背对轴承7和定位轴承9，安装座6嵌入式安装在基板1的表面，安装座6的内壁嵌入式装配有背对轴承7，主轴5活动安装至背对轴承7内。
27.定位轴承9嵌入式安装至安装架8的一侧表面，主轴5的一端活动安装至定位轴承9内。利用定位轴承9配合安装架8进行组装，以使得定位轴承9能够对主轴5的端部提供稳定支撑，避免主轴5转动过程中轻易出现晃动。
28.基板1的周边表面依次均匀开设有安装孔15。设置预留安装孔15以便于基板1表面
配合其他紧固件进行安装工作。基板1在高速电机2与主轴5之间的表面开设有开口槽。易于进行干预，便于进行后续的维护维修。基板1在开口槽一侧的表面栓接有加强板16，且加强板16为钢结构材料制成的一体化结构。加强板16结构进一步确保了基板1表面的强度和刚度，能够对整体结构的抗压抗冲击效果进行提高。
29.高速电机2栓接至安装架8的底部表面，且高速电机2与主轴5上配合安装有低发尘倍速机构3。低发尘倍速机构3包括第一传动轮10、第二传动轮11和柔性皮带12，第一传动轮10键连接至主轴5的表面，第二传动轮11通过键与高速电机2的输出端键连接，第一传动轮10与第二传动轮11之间通过柔性皮带12传动连接。起到基本的传动效果，利用高速电机2驱动第二传动轮11来配合柔性皮带12对第一传动轮10进行驱动，进而使得主轴5能够进行有效工作，整体动作简单易实现。
30.安装座6在第一传动轮10一侧的表面开设有开口槽，且安装座6在开口槽处的表面上栓接有辅助支杆17，辅助支杆17的另一端栓接至安装架8的表面。利用辅助支杆17来将安装座6与安装架8之间的结构进一步关联，起到辅助固定效果，使得第一传动轮10、第二传动轮11和柔性皮带12的传动连接区域结构更加安全。高速电机2的外壳表面对称式栓接有连接件18，且两个连接件18分别嵌入式插接至安装架8的底部表面。起到辅助固定效果，进一步确保高速电机2的安装稳定性。
31.基板1在开口槽两侧的表面与主轴5一侧的表面分别装配有第二减震块14。设置减震块结构来使得基板1配合其他设备进行组装时对内部的高转速主轴执行机构4和低发尘倍速机构3提供良好的减震抗压效果。安装架8的一侧与基板1之间装配有第一减震块13，且第一减震块13的一端插接穿过安装架8的表面。高转速主轴执行机构4的下部为半圆形，便于柔性皮带12运动，支撑杆用于支撑高转速主轴执行机构4。
32.基板1的底部表面通过连接机构19配合与第一减震块13固定连接，第一减震块13的底部通过辅助连接组件配合与安装架8的表面固定连接。连接机构19包括固定架191、凹槽192、连接架193、内框架194和卡勾195，固定架191栓接至基板1的底部表面，固定架191的两侧对称式开设有凹槽192，第一减震块13嵌入式安装至连接架193的一侧表面，连接架193的表面栓接有内框架194，内框架194的两端一体化成型有卡勾195，内框架194通过两个卡勾195配合与设置在固定架191上的凹槽192对应插接。辅助连接组件包括连接座20、连接杆21和凸起块211，第一减震块13的底部嵌入式设置在连接座20的表面，连接座20的底部表面粘接有连接杆21，连接杆21的表面依次均匀设有凸起块211，连接杆21通过凸起块211配合插接至安装架8的表面，且连接杆21的端部贯穿安装架8。
33.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。