专利名称：频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统的制作方法
技术领域：
本公开总体涉及射频(RF)发生器，更具体地涉及RF发生器的频率控制。
背景技术：
这里提供背景技术描述的目的在于总体呈现本公开的背景。当前署名的发明人的工作，就本背景技术部分描述的工作而言，以及可能不是申请之时的现有技术的描述的方面，既非明示也非暗示承认为本公开的现有技术。在半导体制造中常常使用等离子体刻蚀。在等离子体刻蚀中，用电场加速离子来刻蚀衬底上的暴露的表面。基于射频(RF)功率系统的RF发生器生成的RF功率信号来生成电场。为有效地执行等离子体刻蚀，必须精确地控制RF发生器生成的RF功率信号。RF功率系统可包括RF发生器、匹配网络和负载(例如等离子体室)。RF发生器生成在匹配网络处接收的RF功率信号。匹配网络将匹配网络的输入阻抗与RF发生器和匹配网络之间的传输线路的特征阻抗相匹配。这种阻抗匹配有助于使前进到匹配网络的功率(前向功率)的量最大化，并使从匹配网络反射回RF发生器的功率(反向功率)的量最小化。当匹配网络的输入阻抗匹配传输线路的特征阻抗时，可使前向功率最大化以及使反向功率最小化。通常使用试探式、反馈或前馈方案来控制RF发生器以使传送到匹配网络的功率最大化。试探式方案包括一组规则，这些规则用于将基于梯度的搜索方法用于提供满足预定规范的感测到的响应。试探式方案可以包括执行搜索以调谐功率放大器电路的频率以最小化反向功率，增大搜索空间的步长，改变搜索的方向以及启动或终止搜索。试探式方案不能由传递函数表示。反馈方案通常包括反馈回路，其用于最小化功率设定点与从RF发生器和匹配网络传递的功率的量之间的误差。反馈回路可以包括传感器和控制模块。控制模块调节输出灵活频率的RF功率源(或功率放大器)的输出功率。传感器可以探测功率放大器外的电压、电流、前向功率和/或反向功率并生成传感器信号。确定传递的功率的量或者前向功率与反向功率之间的差。基于该差生成误差信号。控制模块可以基于误差信号生成功率控制信号。功率放大器基于来自控制模块的功率控制信号生成RF功率信号。尽管这种方案最小化功率中的误差以最大化从RF发生器传递到匹配网络的功率，但这种方案仅限于调节功率而不能最小化非零反射功率。另一种反馈方案包括探测基于功率放大器的电压和电流输出生成的传感器信号之间的相位差。响应于探测到的相位差，通过压控振荡器调节功率放大器的频率，以最小化相位差和/或反向功率。基于相位差的频率调节方案会导致定量误差，其与RF功率系统中的系统变化相关。系统变化可以包括相位差(或相位偏移)、失配负载、RF信号传送中与匹配网络的调谐和负载参数相关的未对准等等。系统变化可防止相位差降至零和/或防止史密斯圆图上的曲线的反射系数到达(0，0)点。系统变化还可防止需要的功率传送到负载。因此，需要校准方案来防止相位偏移和/或需要试探式方案来最小化这些系统变化。而且，当基于相位来调节功率放大器的频率时，需要指向性信号来确定向哪个方向调节频率以最小化相位差。再一种反馈方案探测前向功率和反向功率。基于前向功率和反向功率，通过压控振荡器来调节功率放大器的频率，以最小化反向功率。在该方案中并未利用相位信息来最小化反向功率。在一种前馈方案中，用前馈回路来调节匹配网络中的电容器的电容量。使用传感器来探测前向功率和反向功率。处理器调节发动机的操作以基于传感器的输出改变电容器的电容量。处理器调节电容量直至反向功率处于最小的水平。
发明内容
提供一种射频系统,其包括:功率放大器,该功率放大器经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络。传感器监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号。失真模块根据(i)所述第一传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值。第一校正电路(i )基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii )提供在所述匹配网络中执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。另一方面，提供一种操作射频系统的方法，其包括:经由功率放大器生成射频信号。所述射频信号经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路输出到所述匹配网络。所述射频信号被监控并且传感器信号基于所述射频信号生成。第一失真值根据(i)所述传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述传感器信号的互相关函数中的至少一个确定。第一阻抗调谐值基于所述第一失真值和第一预定值生成。在所述匹配网络内执行的阻抗匹配的前馈控制被提供，并且包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。本公开的另外的应用领域通过详细描述、权利要求书以及附图将变得更加明显。具体的描述和特定的实施例仅用于例示的目的，而不意在限制本公开的范围。
通过详细说明及所附的附图，将更充分地理解本公开，附图中:图1是根据本公开的合并有前馈控制的RF功率系统的功能框图；图2是根据本公开的合并有前馈控制和功率校正反馈控制的RF功率系统的功能框图；图3示出根据本公开的前馈和反馈控制方法；图4示出根据本公开的具有基于频率的阻抗匹配前向控制的前馈和反馈控制方法;图5A是根据本公开的示出使用电压和电流传感器同时在频率范围的低频率端初始化时反射系数的频率调谐轨迹的史密斯圆图；图5B是示出与图5A所示频率调谐轨迹相关的频率更新的图；图5C是示出与图5B的频率更新相对应的反射系数的幅度的改变的图6A是根据本公开的示出使用电压和电流传感器同时在频率范围的高频率端初始化时反射系数的频率调谐轨迹的史密斯圆图；图6B是示出与图6A所示频率调谐轨迹相关的频率更新的图；图6C是示出与图6B的频率更新相对应的反射系数的幅度的改变的图；图7A是根据本公开的示出使用定向耦合传感器同时在频率范围的低频率端初始化时反射系数的频率调谐轨迹的史密斯圆图；图7B是示出与图7A所示频率调谐轨迹相关的频率更新的图；图7C是示出与图7B的频率更新相对应的反射系数的幅度的改变的图；图8A是根据本公开的示出使用定向耦合传感器同时在频率范围的低频率端初始化时匹配网络中的反射系数的频率调谐轨迹的史密斯圆图；图8B是示出与图8A所示频率调谐轨迹相关的频率更新的图；图8C是示出与图8B的频率更新相对应的反射系数的幅度的改变的图；图9A是根据本公开的示出频率更新和重复的图；图9B是示出与图9A所示频率更新相关的失真变化的图；图9C是根据本公开的示出频率更新和重复的另一图；图9D是示出与图9C所示频率更新相关的失真变化的图；图10是根据本公开的示出频率调谐的史密斯圆图；图11是根据本公开的示出失真、相位角和阻抗值的图；图12是根据本公开的示出阻抗轨迹的图；以及图13是示出根据本公开的针对不同阻抗的功率失真对频率轨迹的图。
具体实施例方式前面的描述本质上仅仅为例示而不意图以任何方式限制本公开、其应用或使用。可以以多种形式实施本公开的广泛教导。因此，虽然本公开包括特定示例，但本公开的真正范围不应受限于此，这是因为在研究附图、说明书和所附权利要求时其它的更改会变得显而易见。为了清楚起见，在附图中将使用相同的附图标记来标识相似的元件。这里使用的短语“A、B和C中的至少一个”应当理解为意指使用非排他性逻辑“或”的逻辑(A或B或C)。应当理解，在不改变本公开的原理的情况下方法中的一个或多个步骤可以以不同的顺序(或同时)执行。这里，词语“模块”可以指或包括专用集成电路(ASIC)、电子电路、组合逻辑电路、现场编程门阵列(FPGA)、执行代码的(共享的、专用的或组)处理器、其它的提供所述功能的合适的硬件组件、或者例如在系统上芯片中的上述的某些或全部的组合，也可以指上述的一部分。词语“模块”可包括存储由处理器执行的代码的(共享、专用或组)存储器。以上使用的词语“代码”可以包括软件、固件和/或微代码，并且可以指程序、例程、函数、类和/或对象。以上使用的词语“共享”意指可以使用单个(共享)处理器执行来自多个模块的某些或全部代码。另外，可以通过单个(共享)存储器存储来自多个模块的某些或全部代码。以上使用的词语“组”意指可以使用一组处理器来执行来自单个模块的某些或全部代码。另外，可以使用一组存储器来存储来自单个模块的某些或全部代码。这里描述的装置和方法可以通过由一个或多个处理器执行的一个或多个计算机程序实施。计算机程序包括存储于非瞬时性的有形计算机可读介质上的处理器可执行指令。计算机程序还可以包括存储的数据。非瞬时性的有形计算机可读介质的非限制示例为非易失性存储器、磁储存器和光存储器。尽管在这里可能使用词语“第一”、“第二”、“第三”等来描述多个元件、部件、回路、电路和/或模块，但这些元件、部件、回路、电路和/或模块不应受这些词语限制。这些词语仅用于将一个元件、部件、回路、电路和/或模块区别于另一元件、部件、回路、电路和/或模块。除非上下文中明确指出，否则这里使用的诸如“第一”、“第二”及其他编号式的词语并不隐含次序或顺序。因此，以下讨论的第一元件、部件、回路、电路或模块也可以被称为第二元件、部件、回路、电路和/或模块，而不偏离这里公开的示例实施方式的教导。以下公开用于最大化RF功率系统的在功率放大器和/或RF功率发生器与匹配网络之间传递的功率的多项技术。这些技术包括用以伺服调谐灵活的RF功率源(称之为RF功率发生器)的前馈控制。前馈控制用于在RF功率系统内校正失真(或扰动)。失真是指传送到匹配网络的功率的量和/或由于负载阻抗中的无功变化而从匹配网络反射回的功率的量，和/或直接与传送到匹配网络的功率的量和/或由于负载阻抗中的无功变化而从匹配网络反射回的功率的量相关。所公开的技术结合反馈控制而使用前馈控制。使用前馈控制来最小化失真，同时使用反馈控制来最小化功率放大器的功率输出中的误差。使用反馈控制来基于功率输出与预定功率设定点之间的差来调节功率放大器的功率输出。前馈控制不影响与反馈控制相关的闭环性能(以及有关的反馈传递函数)。提供前馈控制是由于反馈控制器只限于在功率输出中的误差不等于零时提供误差校正调节。这限制了反馈控制器最小化失真的能力。前馈控制在误差等于零和不等于零时均能最小化失真。前馈控制不同于反馈控制之处还在于前馈控制包括与预定功率设定点无关的失真校正。这里公开的前馈技术包括探测和校正RF功率系统的失真。前馈控制作为反馈控制的补充改善RF功率系统的总体控制性能。图1中示出RF功率系统10。RF功率系统10包括RF发生器12、匹配网络14和匹配网络14的负载16。RF发生器12生成提供给匹配网络14的RF功率信号17。匹配网络14将匹配网络14的输入阻抗与RF发生器12和匹配网络14之间的传输线路18的特征阻抗相匹配。另一种方式，匹配网络14将负载16的阻抗与由RF发生器12的输出端看见的阻抗相匹配。匹配网络14和负载16可被看作RF发生器12上的负载。负载16可以为例如等离子体室或另一 RF负载。负载16的阻抗可以是静态的(即，不随时间改变)或动态的(即，随时间改变)。RF发生器12包括RF功率源20 (或功率放大器)和反馈回路22。功率放大器20生成输出到匹配网络14的RF功率信号17。功率放大器20可以基于从功率放大器20外部的功率源24接收的功率信号来生成RF功率信号17。尽管将功率源24示为RF发生器的部分，但功率源24可以处于RF发生器12之外。功率源24可以是例如直流(DC)功率源。反馈回路22包括一个或多个传感器(第一传感器)26、缩放模块28、第一加法器30和功率控制模块32。传感器26可以包括电压、电流和/或定向耦合器传感器。传感器26可以检测(i )功率放大器20的电压V和电流I输出，和/或(ii )功率放大器20和/或RF发生器12外的前向(或源)功率P.，以及从匹配网络14接收的反向(或反射)功率PKEV。电压V、电流1、前向功率P.和反向功率Pkev可以是功率放大器20的输出的实际电压、电流、前向功率和反向功率的缩放和/或滤波版本。传感器26可以是模拟和/或数字传感器。在数字实施方式中，传感器26可以包括模数(Α/D)转换器和具有相应采样速率的信号采样部件。传感器26生成由缩放模块26接收的传感器信号33。缩放模块28对传感器信号26进行缩放并生成功率反馈信号34。功率反馈信号34基于传感器信号33和缩放矩阵而生成。功率反馈信号34可以表示前向功率级别的传送功率的前向功率。功率反馈信号34可以表示传递给匹配网络14的RF功率或负载功率Pd并可以由等式I表示，其中V为功率放大器20和/或RF发生器12的电压输出，I为功率放大器20和/或RF发生器12的电流输出， 为功率放大器20的电压和电流输出V、I之间的相位差。 Pd= IVI 111 COS (Θ) =Pfwd-Peev(I)第一加法器30将功率反馈信号34与可以由功率设定点模块38生成的预定的功率设定点信号36相加。可以从预定功率设定点信号36减去功率反馈信号34以生成误差
信号efb。功率控制模块32接收误差信号efb并生成功率控制信号？以调整功率放大器20外的功率。功率控制信号*4被提供至功率放大器20。功率放大器20基于功率控制信号wj；来调节RF功率信号17。RF功率信号17可以是连续波形或脉冲波形。这里描述的伺服控制允许RF功率信号17由与伺服控制相关的更新速率脉冲化。功率控制模块32可以包括比例积分微分(PID)控制器和/或直接数字合成(DDS)部件。在一种实施方式中，功率控制模块32为具有标识为/#(=)的函数的第一 PID控制器。功率控制信号可以是驱动信号并且具有DC偏移或尾电压、频率和相位。然而，功率控制信号< 不调节RF功率信号17的频率。RF发生器12可以进一步`包括第一前馈回路40和第二前馈回路42。第一前馈回路40包括第一失真模块44和第一校正电路46。第一失真模块44确定表不在功率放大器20和/或RF发生器12的输出端看到的失真的失真值dt。第一失真值dt基于传感器信号33和失真函数生成。失真函数在下面更详细的描述。第一校正电路46基于第一失真值dt生成第一功率调谐值(或第一阻抗调谐值。调谐值《 τ被提供至匹配网络14，用于频率响应调谐和阻抗调节的目的。第一失真模块44可以基于正弦曲线函数和/或互相关函数确定第一失真值dt。ιΗ弦曲线函数这里公开多种技术，包括在具有动态负载(S卩:具有变化阻抗的负载)的RF功率系统中最大化最优功率传递。关于图1和图3描述的第一种技术包括连接至匹配网络14的RF功率源20。匹配网络14可以包括具有两个或更多可变调谐元件52 (例如可变电容器)的阻抗匹配电路50。可变调谐元件52可以处于“L”配置中(一个电容器与RF发生器12并联，一个电容器与负载16串联)。可变调谐元件52用于调节匹配网络14的调谐和负载参数，并可相应地具有相关调谐输入54和负载输入56。调谐和负载参数是指在匹配网络14中经由可变调谐元素52执行的阻抗调节。例如，调谐参数和负载参数可以与匹配网络14中的电容器的各自的电容量相关。关于图2和图4描述的第二种技术将可变频率调节引入到功率放大器20，并且可以与第一技术交替或结合使用。在使用第二种技术时，各个调谐和负载参数可以是固定的、离散可选的和/或可调的。在第一和第二种技术中，都使从功率放大器20到匹配网络14的传递的RF功率Pd最大化。这可以在到匹配网络14的前向功率P.被最大化和/或来自匹配网络的反向功率Pkev被最小化时发生。传递的RF功率Pd可以由等式2表示。最大传递的RF功率Pmax可以由等式3表示。Pd= IVI 111 cos (Θ)(2)Pmx=max (| V | I cos (Θ)) =max (Pfwd) —min (Peev)(3)当相位Θ尽提供功率给无功负载或无功阻抗(例如负载16)的RF功率系统10所能的接近于零时，传递的RF功率Pd得以最大化。无功阻抗是指具有变化的阻抗的负载。第一和第二种技术通过调节匹配网络14的调谐和负载参数使相位 最小化。由于相位Θ取决于无功阻抗，因此相位 的减少是功率放大器20的频率f的函数。结果，相位减少可被执行为频率f的函数，或者换言之，可以通过调节功率放大器20的频率f进而调节功率放大器20的输出频率f而将相位&减小到零或接近零。频率调节由图2和图4的实施方式提供。虽然可以使用第一种和第二种技术来最小化相位 ，但这些技术不能直接探测或调节相位 。这些技术可以包括确定C0S( )(这里称之为“余弦函数”)U-Sin2O (这里称之为“正弦函数”)或/或其它一次函数和/或正弦曲线函数。相位 可以称为二次函数。可以在不确定相位 的情况下经由第一失真模块44使用矢量计算来确定第一失真值dt。第一失真值dt可以等于正弦曲线函数和/或由正弦曲线函数表示。例如，可以用例如等式4来表示两个自变量X、Y的余弦函数cos ( O )，其中，X可以是电压或反向功率，Y可以是电流或正向功率，<χγ>是X和Y的点积。
权利要求
1.一种射频系统，包括: 功率放大器，经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络； 传感器，监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号； 失真模块，根据(i)所述第一传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值；以及 第一校正电路，(i)基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii)提供在所述匹配网络内执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。
2.根据权利要求1所述的射频系统，其中所述第一校正电路包括: 第一输入模块，生成所述第一预定值； 第一加法器，将所述第一失真值与所述第一预定值相加以生成第一校正值；以及 调谐控制模块，基于所述第一校正值生成所述第一阻抗调谐值。
3.根据权利要求1所述的射频系统，其中: 所述第一校正电路将所述第一阻抗调谐值向前馈送到所述匹配网络的调谐输入端；并且 所述射频系统进一步包括: 第二失真模块，基于所述第一传感器信号确定第二失真值，和 第二校正电路，(i)基于所述第二失真值和负载设定点值生成第二阻抗调谐值，以及(ii)将所述第二阻抗调谐值向前馈送到所述匹配网络的负载输入端。
4.根据权利要求3所述的射频系统，其中: 所述第一失真值基于所述传感器信号的点积和所述传感器信号的幅度生成；并且 所述第二失真值基于所述传感器信号的幅度的比生成。
5.根据权利要求3所述的射频系统，其中: 所述第一校正电路包括: 第一输入模块，生成所述第一预定值， 第一加法器，将所述第一失真值与所述第一预定值相加，以生成第一校正值，和调谐控制模块，基于所述第一校正值生成所述第一阻抗调谐值；并且所述第二校正电路包括: 负载设定点模块，生成所述负载设定点值， 第二加法器，将所述第二失真值与所述负载设定点值相加以生成第二校正值，和 负载控制模块，基于所述第二校正值生成所述第二阻抗调谐值。
6.根据权利要求3所述的射频系统，进一步包括第三校正电路，该第三校正电路基于所述第一失真值和第二预定值确定第三阻抗调谐值， 其中所述第三校正电路将所述第三阻抗调谐值输出到所述功率放大器。
7.根据权利要求6所述的射频系统，其中: 所述第一校正电路包括: 第一输入模块，生成所述第一预定值， 第一加法器，将所述第一失真值与所述第一预定值相加，以生成第一校正值，和调谐控制模块，基于所述第一校正值生成所述第一阻抗调谐值； 所述第二校正电路包括: 负载设定点模块，生成所述负载设定点值， 第二加法器，将所述第二失真值与所述负载设定点值相加，以生成第二校正值，和负载控制模块，基于所述第二校正值生成所述第二阻抗调谐值；并且所述第三校正电路包括: 第二输入模块，生成所述第二预定值， 第三加法器，将所述第一失真值与所述第二预定值相加，以生成第三校正值，和 频率控制模块，基于所述第三校正值生成所述第三阻抗调谐值。
8.根据权利要求1所述的射频系统，其中: 所述第一校正电路将所述第一阻抗调谐值输出到所述匹配网络； 所述射频系统进一步包括第二校正电路，该第二校正电路基于所述第一失真值和第二预定值确定第二阻抗调谐值；并且 所述第二校正电路将所述第二阻抗调谐值输出到所述功率放大器。
9.根据权利要求1所述的射频系统，其中: 所述第一校正电路将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器；并且 所述功率放大器根据所述第一阻抗调谐值生成所述射频信号。
10.根据权利要求9所述的射频系统，其中所述功率放大器基于所述第一阻抗调谐值调节所述射频信号的频率。
11.根据权利要求10所述的射频系统，进一步包括功率控制模块，该功率控制模块调整所述功率放大器的功率， 其中所述功率放大器在所述功率放大器的功率被所述功率控制模块调整时调节所述频率，以联合功率调整和频率调谐。
12.根据权利要求11所述的射频系统，其中所述功率放大器的功率即使在所述射频系统的更新中断期间也被调整，并且所述频率在所述射频系统的奇数个更新中断期间被调节。
13.根据权利要求11所述的射频系统，其中所述第一校正电路包括: 频率控制模块，在更新所述频率时，加速通过所述RF频率系统的操作带宽以将所述频率会聚到与所述RF功率系统和负载之间的最大功率传递相关的频率设定点。
14.根据权利要求1所述的射频系统，进一步包括频率控制模块，该频率控制模块: 在所述第一失真值大于最大值时提供第一控制模块响应；并且 在所述第一失真值小于或等于所述最大值时提供第二控制模块响应。
15.根据权利要求14所述的射频系统，其中: 所述第一控制模块响应提供第一频率会聚速率； 所述第二控制模块响应提供第二频率会聚速率；并且 所述第二频率会聚速率快于所述第一频率会聚速率。
16.根据权利要求1所述的射频系统，进一步包括所述匹配网络，其中所述匹配网络将所述功率放大器上的负载的阻抗与所述传输线路的阻抗相匹配。
17.根据权利要求16所述的射频系统，其中所述匹配网络包括:第二传感器，监控所述射频信号并生成第二传感器信号；和 阻抗匹配电路，基于所述第二传感器信号将所述功率放大器上的所述负载的匹配阻抗与所述传输线路的所述阻抗相匹配。
18.根据权利要求17所述的射频系统，其中所述第二传感器与所述第一传感器分离。
19.根据权利要求1所述的射频系统,其中: 所述第一传感器信号包括电压信号和电流信号； 所述电压信号指示所述射频信号的电压；并且 所述电流信号指示所述射频信号的电流。
20.根据权利要求19所述的射频系统，其中所述正弦曲线函数包括所述电压信号和所述电流信号的点积、所述电压信号的幅度以及所述电流信号的幅度。
21.根据权利要求1所述的射频系统，其中: 所述第一传感器包括定向耦合器传感器，该定向耦合器传感器探测从所述匹配网络反射回到所述功率放大器的反向功率；并且 所述射频信号进一步包括第二定向耦合器传感器，该第二定向耦合器传感器探测由所述功率放大器提供给所述传输线路的前向功率。
22.根据权利要求21所述的射频系统，其中所述正弦曲线函数包括:所述反向功率和所述前向功率的点积、所述反向功率的幅度以及所述前向功率的幅度。
23.一种操作射频系统的方法，包括: 经由功率放大器生成射频信号； 经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将所述射频信号输出到所述匹配网络； 监控所述射频信号并基于所述射频信号生成传感器信号； 根据(i)所述传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值； 基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值；以及提供在所述匹配网络内执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。
24.根据权利要求23所述的方法，其中: 所述第一阻抗调谐值被前馈到所述匹配网络的调谐输入端；并且 所述方法包括: 基于所述传感器信号的幅度的比确定第二失真值， 基于所述第二失真值和负载设定点值生成第二阻抗调谐值，以及向前馈送所述第二阻抗调谐值，以输出到所述匹配网络的负载输入端，其中所述第一失真值基于所述传感器信号的点积和所述传感器信号的幅度确定。
25.根据权利要求23所述的方法，进一步包括: 将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器；以及 经由所述功率放大器基于所述第一阻抗调谐值调节所述射频信号的频率。
全文摘要
本申请公开了频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统。一种射频系统包括功率放大器，该功率放大器经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络。传感器监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号。失真模块根据(i)所述第一传感器信号的正弦曲线函数和(ii)所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值。第一校正电路(i)基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及(ii)提供在所述匹配网络中执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。
文档编号H03L5/02GK103187968SQ20121058712
公开日2013年7月3日 申请日期2012年12月28日 优先权日2011年12月29日
发明者戴维·J·库莫 申请人:Mks仪器有限公司