本发明涉及弹性波滤波器、双工器以及弹性波滤波器模块。
背景技术：
弹性波滤波器、双工器、以及包含它们的模块等弹性波器件被广泛用于便携式电话机等移动体通信设备。
在此，对现有的弹性波器件进行说明。例如，在下述的专利文献1记载的弹性波滤波器中，对设置在压电基板上的输入端子和输出端子之间的两个纵向耦合谐振器型弹性波滤波器进行连接的信号布线与将各纵向耦合谐振器型弹性波滤波器连接到接地端子的接地布线隔着绝缘膜而立体交叉。
此外，在下述的专利文献2的弹性波滤波器中，在压电基板上形成有输入端子、输出端子、以及绝缘膜，并在绝缘膜上形成有接地端子。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2007-259430号公报
专利文献2：日本特开2015-002511号公报
技术实现要素：
发明要解决的课题
在专利文献1以及2的弹性波滤波器中，从输入端子输入的信号的一部分成为经由压电基板的直达波，有时该直达波会传播到输出端子。因此，在专利文献1以及2的弹性波滤波器中，有时不能充分增大带外衰减量。
此外，在双工器中，作为发送滤波器的弹性波滤波器和作为接收滤波器的弹性波滤波器在天线侧被共同连接，因此有时信号会从一个弹性波滤波器绕入到另一个弹性波滤波器。特别是，在将专利文献1或者专利文献2的弹性波滤波器用于双工器的情况下，有时在一个弹性波滤波器中产生的直达波会绕入到另一个弹性波滤波器。因此，有时双工器的隔离度特性会劣化。
本发明的目的在于，提供一种信号的直达波难以传播到输出端子而能够增大带外衰减量的弹性波滤波器以及弹性波滤波器模块。此外，本发明的目的在于，提供一种能够改善隔离度特性的双工器。
用于解决课题的技术方案
本发明涉及的弹性波滤波器具备：压电基板；idt电极，设置在所述压电基板上；第一屏蔽电极，设置在所述压电基板上；第一绝缘膜，层叠在所述压电基板上，使得到达所述第一屏蔽电极上；第一信号端子，设置在所述第一绝缘膜上；第二信号端子，设置在所述压电基板上；以及接地端子，设置在所述压电基板上，并与接地电位连接，所述第一屏蔽电极不与所述idt电极以及所述第一信号端子、所述第二信号端子电连接，在俯视下，所述第一信号端子包含于所述第一屏蔽电极，所述第一信号端子以及所述第二信号端子中的一者为输出端子，所述第一信号端子以及所述第二信号端子中的另一者为输入端子。
在本发明涉及的弹性波滤波器的某个特定的局面中，所述接地端子具有第一接地端子，在该第一接地端子连接有所述第一屏蔽电极。在该情况下，能够使信号的直达波传播到第一接地端子。因而，信号的直达波更加难以传播到输出端子，从而能够进一步增大带外衰减量。
在本发明涉及的弹性波滤波器的另一个特定的局面中，具有至少一个所述第一接地端子以外的接地端子，所述第一接地端子不与其它所述接地端子以及所述idt电极连接。在该情况下，更加能够使信号的直达波传播到第一接地端子。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，所述第一屏蔽电极的面积比所述第一信号端子的面积大。在该情况下，能够进一步提高第一信号端子与压电基板之间的电磁屏蔽的效果。因而，信号的直达波更加难以传播到输出端子，能够进一步增大带外衰减量。
在本发明涉及的弹性波滤波器的另一个特定的局面中，所述第一绝缘膜的介电常数比所述压电基板的介电常数低。在该情况下，信号的直达波更加难以传播到第一绝缘膜。因而，信号的直达波更加难以传播到输出端子，能够进一步增大带外衰减量。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，还具备：第二屏蔽电极，设置在所述压电基板上；以及第二绝缘膜，层叠在所述压电基板上，使得到达所述第二屏蔽电极上，在所述第二绝缘膜上设置有所述第二信号端子以及所述接地端子中的至少一个端子，在俯视下，该端子包含于所述第二屏蔽电极。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，在所述第二绝缘膜上设置有所述第二信号端子。在该情况下，通过第一屏蔽电极、第二屏蔽电极在压电基板与第一信号端子、第二信号端子之间实现电磁屏蔽的效果。因而，信号的直达波更加难以传播到输出端子，能够进一步增大带外衰减量。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，具有多个所述第二屏蔽电极，具有多个所述第二绝缘膜，在各所述第二绝缘膜上分别设置有所述第二信号端子以及所述接地端子。在该情况下，信号的直达波更加难以传播到输出端子，能够进一步增大带外衰减量。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，在除所述第二绝缘膜以外的部分，设置有所述第二信号端子以及所述接地端子中的至少一个端子。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，所述第一信号端子、所述第二信号端子以及所述接地端子的与所述压电基板侧相反侧的各面的高度位置均为实质上相同的位置。在该情况下，在经由凸块将弹性波滤波器与安装基板接合时，能够使各端子与安装基板的接合强度均匀。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，与所述第二信号端子以及所述接地端子中的设置在所述第二绝缘膜上的端子的面积相比，在俯视下与该端子相互重叠的所述第二屏蔽电极的面积大。在该情况下，能够进一步提高设置在第二绝缘膜上的端子与压电基板之间的电磁屏蔽的效果。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，所述第二绝缘膜的介电常数比所述压电基板的介电常数低。在该情况下，信号的直达波更加难以传播到第二绝缘膜。
在本发明涉及的弹性波滤波器的又一个特定的局面中，所述第一信号端子为输出端子，所述第二信号端子为输入端子。在该情况下，信号的直达波更加难以传播到输出端子，能够进一步增大带外衰减量。
本发明涉及的双工器具备：第一带通型滤波器，是按照本发明构成的弹性波滤波器；以及第二带通型滤波器，通带与所述第一带通型滤波器不同。
在本发明涉及的双工器的某个特定的局面中，所述第一带通型滤波器为接收滤波器，所述第二带通型滤波器为发送滤波器。在该情况下，能够有效地提高双工器的隔离度特性。
在本发明涉及的弹性波滤波器模块的某个广泛的局面中，具备：安装基板；以及按照本发明构成的弹性波滤波器，安装在所述安装基板上。
在本发明涉及的弹性波滤波器模块的另一个特定的局面中，所述弹性波滤波器的所述第一信号端子经由凸块与所述安装基板接合，所述第一屏蔽电极的面积比所述凸块与所述第一端子电极接合的面积大。在该情况下，能够更加可靠地接合第一信号端子和安装基板。
在本发明涉及的弹性波滤波器模块的另一个广泛的局面中，具备：安装基板；以及按照本发明构成的弹性波滤波器，安装在所述安装基板上，所述弹性波滤波器的所述第二信号端子以及所述接地端子经由凸块与所述安装基板接合，在俯视下，相比所述第二信号端子以及所述接地端子中的与所述第二屏蔽电极重叠的端子和所述凸块接合的面积，与该端子重叠的所述第二屏蔽电极的面积大。在该情况下，能够更加可靠地将经由第二绝缘膜以及第二屏蔽端子设置在压电基板上的各端子和安装基板进行接合。
发明效果
在本发明涉及的弹性波滤波器以及弹性波滤波器模块中，信号的直达波难以传播到输出端子。因此，能够增大带外衰减量。在本发明涉及的双工器中，能够改善隔离度特性。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图2是本发明的第一实施方式涉及的弹性波滤波器的电路图。
图3是示出本发明的第一实施方式以及比较例的衰减量频率特性的图。
图4是在宽频带中示出本发明的第一实施方式以及比较例的衰减量频率特性的图。
图5是示出本发明的第一实施方式的第一变形例涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图6(a)是示出本发明的第一实施方式、第一实施方式的第一变形例以及比较例的衰减量频率特性的图。图6(b)是图6(a)的放大图。
图7是在宽频带中示出本发明的第一实施方式、第一实施方式的第一变形例以及比较例的衰减量频率特性的图。
图8是示出本发明的第一实施方式的第二变形例涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图9是示出本发明的第一实施方式的第三变形例涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图10(a)以及图10(b)是用于说明本发明的第一实施方式涉及的弹性波滤波器的制造方法的简图式俯视图。
图11是示出本发明的第二实施方式涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图12(a)以及图12(b)是用于说明本发明的第二实施方式涉及的弹性波滤波器的制造方法的简图式俯视图。
图13是示出本发明的第二实施方式的变形例涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
图14是本发明的第三实施方式涉及的双工器的电路图。
图15是示出本发明的第三实施方式以及比较例的双工器的隔离度特性的图。
图16(a)是示出本发明的第三实施方式、第三实施方式的变形例以及比较例的隔离度特性的图。图16(b)是图16(a)的放大图。
图17是本发明的第四实施方式涉及的弹性波滤波器模块的正面剖视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。
另外，需要指出的是，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
图1是示出本发明的第一实施方式涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。图2是第一实施方式涉及的弹性波滤波器的电路图。在图1中，用在矩形中画出两条对角线的简图来表示各弹性波谐振器。在后述的图5、图8～图13以及图17中也是同样的。
如图1所示，弹性波滤波器1具有压电基板2。压电基板2例如包含linbo3、litao3等压电单晶或者适当的压电陶瓷。
弹性波滤波器1是由多个弹性波谐振器构成通带的带通型滤波器。更具体地，弹性波滤波器1具有构成于压电基板2的弹性波谐振器。作为这些多个弹性波谐振器，设置有多个串联臂谐振器s1～s3以及多个并联臂谐振器p1、p2。由此，构成梯型滤波器。各串联臂谐振器s1～s3以及各并联臂谐振器p1、p2分别具有idt电极。另外，弹性波滤波器1并不限定于梯型滤波器，idt电极的个数也没有特别限定。
如图1所示，在压电基板2上设置有第一屏蔽电极6a。第一屏蔽电极6a的厚度没有特别限定，在本实施方式中为200nm以上且500nm以下。
在压电基板2上设置有第一绝缘膜5a，使得到达第一屏蔽电极6a上。第一绝缘膜5a覆盖第一屏蔽电极6a的上表面整体。另外，第一绝缘膜5a只要将第一屏蔽电极6a与后述的信号布线电绝缘即可，也可以不覆盖第一屏蔽电极6a的上表面整体。
第一绝缘膜5a的厚度没有特别限定，在本实施方式中为4000nm。后面将详细叙述，第一绝缘膜5a优选包含介电常数比压电基板2低的绝缘性材料。
在第一绝缘膜5a上设置有作为输出端子的第一信号端子4。第一信号端子4经由信号布线8与上述串联臂谐振器s3连接。在俯视下，第一信号端子4包含于第一屏蔽电极6a。第一屏蔽电极6a在第一信号端子4与压电基板2之间实现电磁屏蔽的效果。
另一方面，在压电基板2上直接设置有作为输入端子的第二信号端子3。另外，也可以是，第一信号端子4为输入端子，第二信号端子3为输出端子。此外，虽然没有特别限定，但是在本实施方式中，第一信号端子4、第二信号端子3的厚度为3000nm。
如图2所示，在第一信号端子4与第二信号端子3之间相互串联地连接有串联臂谐振器s1～s3。在串联臂谐振器s1和串联臂谐振器s2之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p1。在串联臂谐振器s2和串联臂谐振器s3之间的连接点与接地电位之间，连接有并联臂谐振器p2。
返回到图1，在压电基板2上设置有与接地电位连接的第一接地端子7a、第二接地端子7b。第一接地端子7a不与第一信号端子4、第二信号端子3以及串联臂谐振器s1～s3连接。进而，虽然没有特别限定，但是第一接地端子7a与第二接地端子7b以及并联臂谐振器p1、p2中的任一者都不连接。第一接地端子7a经由连接布线9与第一屏蔽电极6a连接。
第二接地端子7b设置有多个。各第二接地端子7b分别与并联臂谐振器p1、p2连接。
在压电基板2上设置有与第一信号端子4、第二信号端子3、串联臂谐振器s1～s3以及并联臂谐振器p1、p2中的任一者都不连接的端子10。端子10也不与接地电位连接。另外，也可以不设置端子10。
弹性波滤波器1是梯型滤波器，但是弹性波滤波器1的电路结构没有特别限定。例如，弹性波滤波器1也可以是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器等。
本实施方式的特征在于，在俯视下，第一信号端子4包含于第一屏蔽电极6a，并且第一信号端子4与第一屏蔽电极6a被第一绝缘膜5a电绝缘。
在此，从外部输入到第二信号端子3的信号有时会在不经由由串联臂谐振器s1～s3以及并联臂谐振器p1、p2构成的滤波器部的情况下作为直达波在压电基板2中传播。在弹性波滤波器1中，经由了压电基板2的信号的直达波难以传播到第一信号端子4，能够增大带外衰减量。通过对第一实施方式和比较例的衰减量频率特性进行比较，从而示出这一点。
另外，比较例的弹性波滤波器除了不具有第一屏蔽电极以及第一绝缘膜这一点以外，具有与第一实施方式的弹性波滤波器1同样的结构。
图3是示出第一实施方式以及比较例的衰减量频率特性的图。图4是在宽频带中示出第一实施方式以及比较例的衰减量频率特性的图。实线示出第一实施方式的结果。虚线示出比较例的结果。
如图3以及图4所示，可知第一实施方式中的通带附近的带外衰减量比比较例中的带外衰减量大。在比较例中，不能充分抑制经由了压电基板的信号的直达波传播到第一信号端子。因而，在比较例中，弹性波滤波器的带外衰减量小。
相对于此，在图1所示的第一实施方式中，具有第一屏蔽电极6a。第一屏蔽电极6a在第一信号端子4与压电基板2之间实现电磁屏蔽的效果。由此，经由了压电基板2的信号的直达波难以传播到第一信号端子4。因此，能够增大弹性波滤波器1的带外衰减量。
像图5所示的第一实施方式的第一变形例那样，第一屏蔽电极6a也可以不与第一接地端子7a连接。
图6(a)是示出第一实施方式、第一实施方式的第一变形例以及比较例的衰减量频率特性的图。图6(b)是图6(a)的放大图。图7是在宽频带中示出第一实施方式、第一实施方式的第一变形例以及比较例的衰减量频率特性的图。实线示出第一实施方式的结果。虚线示出第一变形例的结果。单点划线示出比较例的结果。
如图6(a)、图6(b)以及图7所示，在第一实施方式的第一变形例中，与比较例相比，也能够增大带外衰减量。进而，在通带的附近，第一实施方式的带外衰减量远远大于第一变形例的带外衰减量。像这样，可知第一实施方式的结构更优选。在图1所示的第一实施方式中，第一屏蔽电极6a与第一接地端子7a连接。由此，能够使传播到第一屏蔽电极6a的信号的直达波传播到接地电位。
除此以外，在第一实施方式中，第一接地端子7a不与各第二接地端子7b以及并联臂谐振器p1、p2电连接。由此，信号不会从并联臂谐振器p1、p2直接流入到第一接地端子7a。因而，信号的直达波更加容易从第一屏蔽电极6a传播到接地电位。因此，在第一实施方式中，信号的直达波更加难以传播到第一信号端子4。
不过，也可以像图8所示的第一实施方式的第二变形例那样，第一屏蔽电极6a与第一接地端子7a连接，并且第一接地端子7a与第二接地端子7b连接。在第二变形例的情况下，信号的直达波也难以传播到第一信号端子4。
在第一实施方式中，作为输出端子的第一信号端子4经由第一屏蔽电极6a以及第一绝缘膜5a设置在压电基板2上。另外，也可以像图9所示的第一实施方式的第三变形例那样，作为输入端子的第二信号端子3经由第一屏蔽电极6a以及第一绝缘膜5a设置在压电基板2上。
图1所示的第一绝缘膜5a的介电常数优选比压电基板2的介电常数低。由此，信号的直达波更加难以传播到第一绝缘膜5a。
另外，也可以在第一屏蔽电极6a与压电基板2之间设置有第一绝缘膜5a以外的绝缘膜。该绝缘膜的介电常数也优选比压电基板2的介电常数低。在该情况下，信号的直达波也更加难以传播到第一信号端子4。
优选第一屏蔽电极6a的面积比第一信号端子4的面积大。由此，能够进一步提高第一信号端子4与压电基板2之间的电磁屏蔽的效果。
以下，对第一实施方式涉及的弹性波滤波器1的制造方法的例子进行说明。
图10(a)以及图10(b)是用于说明第一实施方式涉及的弹性波滤波器的制造方法的简图式俯视图。另外，图10(b)的斜线部表示在图10(b)所示的工序中形成的电极。
如图10(a)所示，准备压电基板2。接着，在压电基板2上形成第一电极层。更具体地，形成第一屏蔽电极6a、上述多个idt电极以及将上述多个idt电极间进行连接的布线。此时，也形成信号布线以及连接布线的一部分。第一电极层例如能够通过溅射法、cvd法等来形成。
接着，如图10(b)所示，在压电基板2上形成第一绝缘膜5a，使得覆盖第一屏蔽电极6a的上表面。第一绝缘膜5a例如能够通过溅射法、cvd法等来形成。
接着，在压电基板2上、第一绝缘膜5a上以及第一电极层上形成第二电极层。更具体地，形成第一信号端子4、第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b、信号布线8、连接布线9以及将多个idt电极间进行连接的布线。第二电极层例如能够通过溅射法、cvd法等来形成。
因为与多个idt电极同时设置第一屏蔽电极6a，所以能够提高生产效率。
图11是示出第二实施方式涉及的弹性波滤波器的电极构造的简图式俯视图。
在弹性波滤波器21中，第一信号端子4、第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10的全部端子经由屏蔽电极以及绝缘膜设置在压电基板2上。在上述以外的方面，弹性波滤波器21具有与第一实施方式的弹性波滤波器同样的结构。
更具体地，弹性波滤波器21具有多个第二屏蔽电极26b以及多个第二绝缘膜25b。在压电基板2上，设置有用虚线示出的多个第二屏蔽电极26b。在压电基板2上层叠有各第二绝缘膜25b，使得到达各第二屏蔽电极26b上。在各第二绝缘膜25b上设置有第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10。第二屏蔽电极26b可以包含与第一屏蔽电极6a相同的材料。第二绝缘膜25b可以包含与第一绝缘膜5a相同的材料。
虽然没有特别限定，但是在本实施方式中，多个第二屏蔽电极26b的厚度是与第一屏蔽电极6a的厚度实质上相同的厚度。同样地，多个第二绝缘膜25b的厚度和第一绝缘膜5a的厚度是实质上相同的厚度。进而，第一信号端子4、第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10的各厚度是实质上相同的厚度。因而，第一信号端子4、第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10的与压电基板2侧相反侧的各面的高度位置均为实质上相同的位置。
另外，所谓高度位置，是指作为与层叠有第一绝缘膜5a等的压电基板2的主面垂直的方向的高度方向上的位置。
弹性波滤波器21可以安装在安装基板。此时，例如，第一信号端子4、第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10的与压电基板2侧相反侧的各面经由凸块与安装基板接合。在此，将上述各端子的与压电基板2侧相反侧设为安装侧。此时，因为上述各端子的安装侧的各面的高度位置均为实质上相同的位置，所以能够使上述各端子与安装基板的接合强度均匀。
除此以外，在本实施方式中，第一信号端子4、第二信号端子3分别经由第一绝缘膜5a、第二绝缘膜25b以及第一屏蔽电极6a、第二屏蔽电极26b设置在压电基板2上。由此，通过第一屏蔽电极6a、第二屏蔽电极26b在压电基板2与第一信号端子4、第二信号端子3之间实现电磁屏蔽的效果。因而，除了第一实施方式的效果以外，还能够抑制信号从作为输入端子的第二信号端子3向压电基板2的传播。因此，信号的直达波更加难以传播到第一信号端子4。
第二绝缘膜25b的介电常数优选与第一绝缘膜5a同样地比压电基板2的介电常数低。由此，信号的直达波更加难以传播到第二绝缘膜25b。因而，能够进一步抑制信号从第二信号端子3向压电基板2的传播。
以下，对第二实施方式涉及的弹性波滤波器21的制造方法的例子进行说明。
图12(a)以及图12(b)是用于说明第二实施方式涉及的弹性波滤波器的制造方法的简图式俯视图。另外，图12(b)的斜线部表示在图12(b)所示的工序中形成的电极。
如图12(a)所示，与第一实施方式同样地，在压电基板2上形成第一电极层。在此，作为第一电极层，也形成多个第二屏蔽电极26b。
接着，如图12(b)所示，形成第一绝缘膜5a、第二绝缘膜25b。更具体地，在压电基板2上形成第一绝缘膜5a，使得覆盖第一屏蔽电极6a的上表面。在压电基板2上形成多个第二绝缘膜25b，使得覆盖各第二屏蔽电极26b的各上表面。接着，与第一实施方式同样地，形成第二电极层。
像图13所示的第二实施方式的变形例那样，端子10以及多个第二接地端子7b中的一个可以设置在除第二绝缘膜25b以外的部分。此时，弹性波滤波器51的端子10的安装侧的面位于比经由第二屏蔽电极26b以及第二绝缘膜25b设置在压电基板2上的各端子的安装侧的各面靠压电基板2侧。同样地，直接设置在压电基板2上的第二接地端子7b的安装侧的面也位于比端子10以外的各端子的安装侧的各面靠压电基板2侧。
例如，有时会在安装弹性波滤波器51的安装基板产生翘曲。此时，弹性波滤波器51的各端子的安装侧的各面的高度位置成为与安装基板的翘曲对应的位置关系。因此，能够与安装基板的翘曲对应地使各端子与安装基板的接合强度均匀。
另外，不限于图13所示的第二实施方式的变形例，也可以是，第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10中的至少一个端子设置在除第二绝缘膜25b以外的部分。像这样，能够与安装基板的翘曲对应地调整各端子的高度位置。
本发明并不限于弹性波滤波器，也能够适当地应用于双工器。以下对该例子进行说明。
图14是第三实施方式涉及的双工器的电路图。
双工器30没有特别限定，是作为band5的通带的双工器。更具体地，双工器30的发送频段为824mhz以上且849mhz以下。双工器30的接收频段为869mhz以上且894mhz以下。
双工器30具有第一带通型滤波器31a，其具有与第一实施方式同样的结构。第一带通型滤波器31a是梯型滤波器，但是电路结构并没有特别限定。第一带通型滤波器31a例如可以是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
双工器30具有通带与第一带通型滤波器31a不同的第二带通型滤波器31b。第二带通型滤波器31b的电路结构没有特别限定，在图14中由虚线的区域示出。第二带通型滤波器31b例如可以是梯型滤波器，或者可以是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器。
双工器30具有与天线连接的天线端子33。第一带通型滤波器31a和第二带通型滤波器31b共同连接于天线端子33。
在本实施方式中，第一带通型滤波器31a为接收滤波器，第二带通型滤波器31b为发送滤波器。另外，也可以是，第一带通型滤波器31a为发送滤波器，第二带通型滤波器31b为接收滤波器。
以下，通过对第三实施方式以及比较例的双工器进行比较，从而说明第三实施方式的效果。另外，比较例的双工器除了接收滤波器不具有第一屏蔽电极以及第一绝缘膜这一点以外，具有与第三实施方式的双工器30同样的结构。
图15是示出第三实施方式以及比较例的双工器的隔离度特性的图。另外，图15中的区域a表示第三实施方式以及比较例的双工器的发送频段。区域b表示第三实施方式以及比较例的双工器的接收频段。实线示出第三实施方式的结果。虚线示出比较例的结果。
如图15所示，与比较例相比，第三实施方式在发送频段中能够增大衰减量。因而，可知通过第三实施方式的双工器能够改善隔离度特性。
返回到图14，有时从第二带通型滤波器31b绕入的信号会从第二信号端子3流入到第一带通型滤波器31a。在本实施方式中，与第一实施方式同样地，第一屏蔽电极在压电基板与第一信号端子4之间实现电磁屏蔽的效果。因而，即使在产生了上述信号的绕入的情况下，信号的直达波也难以传播到第一信号端子4。因此，能够使双工器30的隔离度特性良好。
另外，与发送滤波器相比，接收滤波器产生上述信号的绕入的情况更多。因而，在本实施方式中，能够使隔离度特性更加良好。
在第一带通型滤波器具有图5所示的第一实施方式的第一变形例的结构的、第三实施方式的变形例的双工器中，也能够改善隔离度特性。
图16(a)是示出第三实施方式、第三实施方式的变形例以及比较例的隔离度特性的图。图16(b)是图16(a)的放大图。实线示出第三实施方式的结果。虚线示出变形例的结果。单点划线示出比较例的结果。
如图16(a)以及图16(b)所示，通过第三实施方式的变形例，能够改善隔离度特性。进而，与变形例相比，第三实施方式更能够进一步改善隔离度特性。
图14所示的双工器30可以构成为第一带通型滤波器31a、第二带通型滤波器31b构成在同一压电基板的一个芯片。或者，双工器30也可以构成为第一带通型滤波器31a和第二带通型滤波器31b分别构成在不同的压电基板的多个芯片。
双工器30可以安装在安装基板。在该情况下，天线端子33可以设置在安装基板上。此时，只要在第一带通型滤波器31a、第二带通型滤波器31b安装在安装基板的状态下第一带通型滤波器31a、第二带通型滤波器31b与天线端子33电连接即可。
如上所述，本发明的弹性波滤波器可以安装在安装基板。因而，本发明也能够适当地应用于这样的弹性波滤波器模块。以下对该例子进行说明。
图17是第四实施方式涉及的弹性波滤波器模块的正面剖视图。
弹性波滤波器模块40具有安装基板42。在安装基板42上安装有具有与第二实施方式同样的结构的弹性波滤波器21。更具体地，在安装基板42上设置有多个安装端子43。第一信号端子4、端子10以及第二接地端子7b经由凸块46与各安装端子43接合。另外，虽然未图示，但是第二信号端子以及第一接地端子也经由凸块46与各安装端子43接合。
在本实施方式中，信号的直达波难以传播到第一信号端子4，能够增大带外衰减量。
在此，在第一绝缘膜5a的安装基板42侧的面中，在第一绝缘膜5a设置在第一屏蔽电极6a上的部分，平坦度特别高。在第一信号端子4中，如下部分的平坦度特别高，该部分设置在第一绝缘膜5a的平坦度高的部分。
在弹性波滤波器模块40中，第一屏蔽电极6a的面积比凸块46与第一信号端子4接合的面积大。由此，能够增大第一绝缘膜5a以及第一信号端子4中的平坦度高的部分的面积。因此，在将弹性波滤波器21安装到安装基板42时，能够经由凸块46更加可靠地接合第一信号端子4和安装端子43。
图11所示的第二信号端子3、第一接地端子7a、第二接地端子7b以及端子10在俯视下与各第二屏蔽电极26b重叠。与这些各端子和凸块46接合的面积相比，与该端子重叠的第二屏蔽电极26b的面积大。因而，能够经由凸块更加可靠地接合上述各端子和安装端子43。
附图标记说明
1：弹性波滤波器；
2：压电基板；
3：第二信号端子；
4：第一信号端子；
5a：第一绝缘膜；
6a：第一屏蔽电极；
7a、7b：第一接地端子、第二接地端子；
8：信号布线；
9：连接布线；
10：端子；
21：弹性波滤波器；
25b：第二绝缘膜；
26b：第二屏蔽电极；
30：双工器；
31a、31b：第一带通型滤波器、第二带通型滤波器；
33：天线端子；
40：弹性波滤波器模块；
42：安装基板；
43：安装端子；
46：凸块；
51：弹性波滤波器；
s1～s3：串联臂谐振器；
p1、p2：并联臂谐振器。