声表面波滤波器、高频模块以及多工器的制作方法

本发明涉及声表面波滤波器以及使用了声表面波滤波器的高频模块等。

背景技术：

以往，作为移动体通信设备的电路模块，开发了使用了声表面波(surfaceacousticwave：saw)滤波器的高频模块。伴随着近年来的通信频带的宽带化，为了提高高频模块的接收灵敏度，对于接收电路模块，低损耗且低噪声化的要求提高。因此，高频模块在声表面波滤波器的后级或前级具备低噪声放大器(lownoiseamplifier：lna)等其它部件(例如，参照专利文献1)。

一般来说，在高频模块连接有其它部件的情况下，对声表面波滤波器的输出阻抗进行调整，使得被连接了其它部件侧的声表面波滤波器的输出端处的阻抗(输出阻抗)与其它部件的输入端处的阻抗(输入阻抗)匹配。

声表面波滤波器的输出阻抗的调整一般通过如下方式来进行，即，对构成声表面波滤波器的谐振器中的idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极的交叉宽度、电极指的间距或对数等进行变更而使idt电极的电容变化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-301223号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

但是，在通过对idt(interdigitaltransducer，叉指换能器)电极的交叉宽度、电极指的间距或对数等进行变更来调整声表面波滤波器的输出阻抗的情况下，产生了难以在维持低损耗特性的同时使通带宽度扩大这样的问题。

鉴于上述课题，本发明的目的在于，提供一种能够在实现宽带化、低损耗化的同时调整声表面波滤波器的输出阻抗的声表面波滤波器以及高频模块以及多工器。

用于解决课题的技术方案

为了达到上述目的，本发明涉及的声表面波滤波器的一个方式是纵向耦合型的声表面波滤波器，其中，所述声表面波滤波器具备在声表面波的传播方向上连续地配置的多个谐振器，所述多个谐振器各自具有一对梳形电极，所述梳形电极具有汇流条电极和连接于所述汇流条电极的彼此平行的多个电极指，一对所述梳形电极被配置为，所述多个电极指交替地位于所述声表面波传播方向上，所述多个谐振器中的与所述声表面波滤波器的输出端子连接的第一谐振器具有所述电极指的间距不同的四个以上的区域，在所述四个以上的区域各自中，所述电极指的间距恒定，在所述四个以上的区域之中，与配置在所述谐振器的声表面波的传播方向上的两端侧的一对第一区域中的所述电极指的间距相比，所述一对第一区域以外的区域中的所述电极指的间距大，与所述一对第一区域中的一个邻接的第二区域中的所述电极指的间距不同于与所述一对第一区域中的另一个邻接的第三区域中的所述电极指的间距。

由此，能够包含电阻、电容性以及电感性的阻抗对声表面波滤波器的输出阻抗进行调整。因此，在史密斯圆图中，能够使声表面波滤波器的输出阻抗在两个以上的方向上移动。由此，能够在不使通带宽度狭小化的情况下对声表面波滤波器的输出阻抗进行调整。

此外，所述第三区域中的所述电极指的间距可以比所述第二区域中的所述电极指的间距大。

由此，不仅能够使声表面波滤波器的输出阻抗向电阻移动，还能够使声表面波滤波器的输出阻抗向电感性的阻抗移动。

此外，所述第二区域中的所述电极指的间距可以比所述第三区域中的所述电极指的间距大。

由此，不仅能够使声表面波滤波器的输出阻抗向电阻移动，还能够使声表面波滤波器的输出阻抗向电容性的阻抗移动。

此外，所述四个以上的区域可以是五个区域。

由此，与将电极指的间距按四个区域中的每一个设为不同的值的情况相比，能够更细微地对声表面波滤波器的输出阻抗进行调整。

此外，所述五个区域中的配置在中央的第四区域中的所述电极指的间距可以比所述第二区域中的所述电极指的间距以及所述第三区域中的所述电极指的间距中的至少任一者小。

由此，能够使声表面波滤波器的输出阻抗向电感性移动。

此外，所述一对第一区域以外的区域各自中的所述电极指的对数可以是相同的数。

由此，即使在电极指的对数为相同的数的情况下，在史密斯圆图中，也能够使声表面波滤波器的输出阻抗在两个以上的方向上移动。

此外，为了达到上述目的，本发明涉及的高频模块的一个方式具备：具有上述的特征的声表面波滤波器；以及低噪声放大器，与所述声表面波滤波器连接，将通过了所述声表面波滤波器的高频信号放大。

由此，在史密斯圆图中，通过使声表面波滤波器的输出阻抗在两个以上的方向上移动，从而能够在不使高频模块的通带宽度狭小化的情况下对输出阻抗进行调整。

此外，为了达到上述目的，本发明涉及的多工器的一个方式具备多个具有上述的特征的声表面波滤波器，多个所述声表面波滤波器各自与公共端子连接。

由此，在史密斯圆图中，通过使声表面波滤波器的输出阻抗在两个以上的方向上移动，从而能够在不使多工器的通带宽度狭小化的情况下对输出阻抗进行调整。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够在不使通带宽度狭小化的情况下对声表面波滤波器的输出阻抗进行调整的声表面波滤波器以及高频模块以及多工器。

附图说明

图1是示出实施方式1涉及的高频模块的结构的概念图。

图2a是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的结构的概略图。

图2b是示出图2a所示的声表面波滤波器的结构的具体例的概略图。

图3是示出一般的声表面波滤波器的结构的概略图，(a)是俯视图，(b)是(a)所示的单点划线处的向视剖视图。

图4是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的结构的概略图。

图5是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的一个谐振器的结构的概略图。

图6是示出比较例涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图7是示出实施方式1中的实施例1涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图8是示出实施方式1中的实施例2涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图9是示出实施方式1中的实施例3涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图10是示出实施方式1中的实施例4涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图11a是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图11b是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的通过特性的图。

图11c是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的通过特性的图。

图11d是示出实施方式1涉及的声表面波滤波器的通过特性的图。

图12是示出实施方式2中的实施例5涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

图13是示出实施方式2中的实施例6涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。

具体实施方式

以下，对本发明的实施方式进行说明。另外，以下说明的实施方式均为示出本发明的优选的一个具体例的实施方式。因此，在以下的实施方式中示出的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接方式等是一个例子，其主旨并不在于限定本发明。因而，对于以下的实施方式中的构成要素之中未记载于示出本发明的最上位概念的独立权利要求的构成要素，作为任意的构成要素而进行说明。

此外，各图是示意图，未必是严谨地进行了图示的图。在各图中，对于实质上相同的结构标注相同的附图标记，并省略或简化重复的说明。此外，在图示的电极构造中，为了使本发明容易理解，将谐振器以及反射器中的电极指的根数图示为少于实际的电极指的根数。此外，在图示的史密斯圆图中，用粗线示出了声表面波滤波器的通带中的输出阻抗的部分。

(实施方式1)

以下，使用图1～图11d对实施方式进行说明。

[1.声表面波滤波器以及高频模块的结构]

首先，对本实施方式涉及的高频模块1的结构进行说明。图1是示出本实施方式涉及的高频模块1的结构的概念图。

如图1所示，本实施方式涉及的高频模块1具备声表面波滤波器10和低噪声放大器(lownoiseamplifier：lna)20。声表面波滤波器10的一旦与天线(未图示)连接，另一端与低噪声放大器20连接。低噪声放大器20是在尽可能不增加噪声的情况下将接收后的微弱的电波放大的放大器。

另外，在声表面波滤波器10中，所谓输入阻抗，是指从高频模块1的输入端子in侧观察声表面波滤波器10时的声表面波滤波器10的阻抗。也就是说，是指在图1用箭头示出的saw(surfaceacousticwave，声表面波)输入侧阻抗。此外，所谓输出阻抗，是指从连接了作为高频信号的输出目的地的低噪声放大器20的端子(未图示)观察声表面波滤波器10时的声表面波滤波器10的阻抗。也就是说，是指在图1用箭头示出的saw输出侧阻抗。

声表面波滤波器10是纵向耦合型的声表面波滤波器。如图2a所示，声表面波滤波器10在输入端子11与输出端子12之间具备谐振器13、谐振器14以及谐振器15和反射器16以及反射器17。谐振器13、谐振器14以及谐振器15从反射器16侧向反射器17侧依次配置。

如图2b所示，谐振器13成为将两个idt电极13a以及13b组合的结构。谐振器13的idt电极13a与输入端子11连接。idt电极13b与接地连接。同样地，谐振器15成为将两个idt电极15a以及15b组合的结构。谐振器15的idt电极15a与输入端子11连接。idt电极15b与接地连接。此外，配置在谐振器13与谐振器15之间的谐振器14成为将两个idt电极14a以及14b组合的结构。谐振器14的idt电极14a与接地连接。idt电极14b与输出端子12连接。

此外，反射器16具备两个汇流条电极16a以及汇流条电极16b和电极指16c，电极指16c在汇流条电极16a与汇流条电极16b之间设置有多个，两端分别与汇流条电极16a以及汇流条电极16b连接。同样地，反射器17具备两个汇流条电极17a以及汇流条电极17b和电极指17c，电极指17c在汇流条电极17a与汇流条电极17b之间设置有多个，两端分别与汇流条电极17a以及汇流条电极17b连接。

在此，使用一般的谐振器100对谐振器的结构进行更详细的说明。图3是示出一般的声表面波滤波器的结构的概略图，(a)是俯视图，(b)是(a)所示的单点划线处的向视剖视图。

如图3的(a)以及(b)所示，谐振器100由压电基板123和作为具有梳形形状的电极(梳形电极)的idt电极101a以及idt电极101b构成。

压电基板123例如由以给定的切割角切断的linbo3的单晶构成。在压电基板123中，声表面波在给定的方向上传播。

如图3的(a)所示，在压电基板123上，形成有对置的一对idt电极101a以及idt电极101b。idt电极101a由彼此平行的多个电极指110a和将多个电极指110a连接的汇流条电极111a构成。此外，idt电极101b由彼此平行的多个电极指110b和将多个电极指110b连接的汇流条电极111b构成。idt电极101a和idt电极101b被配置为，彼此的多个电极指110a以及110b交替地位于声表面波传播方向上。即，idt电极101a和idt电极101b成为如下结构，即，idt电极101b的多个电极指110b中的每一个配置在idt电极101a的多个电极指110a中的每一个之间。

此外，如图3的(b)所示，idt电极101a以及idt电极101b成为层叠了密接层124a和主电极层124b的构造。

密接层124a是用于使压电基板123与主电极层124b的密接性提高的层，作为材料，例如使用nicr。

关于主电极层124b，作为材料，例如使用pt。主电极层124b可以是由一个层构成的单层构造，也可以是层叠了多个层的层叠构造。

保护层125形成为覆盖idt电极101a以及idt电极101b。保护层125是以从外部环境保护主电极层124b、调整频率温度特性、以及提高耐湿性等为目的的层。保护层125例如是以二氧化硅为主成分的膜。保护层125可以是单层构造，也可以是层叠构造。

另外，构成密接层124a、主电极层124b以及保护层125的材料并不限定于上述的材料。进而，idt电极101a以及idt电极101b也可以不是上述层叠构造。idt电极101a以及idt电极101b例如可以由ti、al、cu、pt、au、ag、pd等金属或合金构成，此外，也可以由层叠了多个由上述的金属或合金构成的层的层叠构造构成。此外，也可以不形成保护层125。

在此，对idt电极101a以及idt电极101b的设计参数进行说明。图3的(b)所示的λ是指，构成idt电极101a以及idt电极101b的电极指110a以及电极指110b的间距。在声表面波滤波器中，波长由构成idt电极101a以及idt电极101b的多个电极指110a以及电极指110b的间距λ规定。所谓间距λ，详细地说，是指在连接于同一汇流条电极的相邻的电极指中，从一个电极指的宽度的中央到另一个电极指的宽度的中央的长度。例如，在图3的(b)中，是从连接于汇流条电极111a的一个电极指110a的宽度的中央到连接于与连接了该一个电极指110a的汇流条电极111a是同一个的汇流条电极111a并与一个电极指110a相邻的另一个电极指110a的宽度的中央的长度。

另外，图3的(b)所示的w是指谐振器100中的idt电极101a的电极指110a以及idt电极101b的电极指110b的宽度。此外，图3的(b)所示的s是指电极指110a与电极指110b的间隔。此外，图3的(a)所示的l是指idt电极101a与idt电极101b的交叉宽度，是指idt电极101a的电极指110a与idt电极101b的电极指110b重复的电极指的长度。此外，所谓对数，是指电极指110a或电极指110b的根数。

另外，谐振器100的构造并不限定于图3的(a)以及(b)记载的构造。此外，本实施方式涉及的谐振器13、谐振器14以及谐振器15并不限于上述的结构。如以下所示，谐振器13、谐振器14以及谐振器15也可以是电极指的间距以及对数分别不同的结构。

在图2a以及图2b所示的三个谐振器13、谐振器14以及谐振器15之中，与声表面波滤波器10的输出端子12连接的谐振器14从反射器16侧向反射器17侧依次具有电极指的间距不同的五个区域141～145。

图4是示出谐振器14的结构的概略图，按间距不同的每个区域来分割区域而示出结构。图5是更具体地示出谐振器14的结构的概略图。

详细地说，如图4所示，谐振器14具有：在谐振器14中配置在声表面波的传播方向上的两端侧的第一区域141以及145；与第一区域141邻接的第二区域142；与第一区域145邻接的第三区域144；以及作为第二区域142与第三区域144之间的区域的第四区域143。

此外，如图5所示，谐振器14由idt电极14a和idt电极14b构成。idt电极14a以及idt电极14b相当于本发明中的梳形电极。由idt电极14a和idt电极14b构成一对梳形电极。

idt电极14a具有公共地配置在区域141～145的汇流条电极140a。此外，idt电极14a在区域141～145各自中具有一端与汇流条电极140a连接的多个电极指141a、142a、143a、144a以及145a。

同样地，idt电极14b具有公共地配置在区域141～145的汇流条电极140b。此外，idt电极14b在区域141～145各自中具有一端与汇流条电极140b连接的多个电极指141b、142b、143b、144b以及145b。电极指的间距在区域141～145中不同。

另外，第一区域141以及145是间距比其它区域窄的所谓的窄间距区域。此外，窄间距区域以外的第二区域、第三区域以及第四区域是电极指的间距比窄间距区域中的电极指的间距大的所谓的主间距区域。

在此，如图5所示，将第一区域141中的电极指的间距设为λ1，将第二区域142中的电极指的间距设为λ2，将第四区域143中的电极指的间距设为λ3，将第三区域144中的电极指的间距设为λ4，将第一区域145中的电极指的间距设为λ5。各个区域中的电极指的间距的关系如下。

第二区域142、第三区域144以及第四区域143各自中的电极指的间距λ2、λ4以及λ3比第一区域141以及145中的电极指的间距λ1、λ5大。此外，第二区域142中的电极指的间距λ2与第三区域144中的电极指的间距λ4不同。

例如，第二区域142中的电极指的间距λ2比第三区域144中的电极指的间距λ4小。也就是说，第二区域142的电极指142a以及142b和第三区域144的电极指144a以及144b形成为满足λ2＜λ4的关系。作为一个例子，λ2＝5.00μm，λ4＝5.20μm。此外，第二区域142中的电极指142a以及142b的对数为3，第三区域144中的电极指144a以及144b的对数为5。

由此，像在后面详细叙述的那样，声表面波滤波器10的输出阻抗向电感性侧变化。

另外，关于第二区域142中的电极指的间距λ2与第三区域144中的电极指的间距λ4的关系，也可以设为第三区域144中的电极指的间距λ4比第二区域142中的电极指的间距λ2小。也就是说，也可以将第二区域142的电极指142a以及142b和第三区域144的电极指144a以及144b形成为满足λ4＜λ2的关系。作为一个例子，也可以设为λ2＝5.30μm，λ4＝5.14μm。此外，也可以将第二区域142中的电极指142a以及142b的对数设为3，将第三区域144中的电极指144a以及144b的对数设为5。

由此，像在后面详细叙述的那样，声表面波滤波器10的输出阻抗向电容性侧变化。

此外，第四区域143中的电极指的间距λ3比第二区域142中的电极指的间距λ2以及第三区域144中的电极指的间距λ4中的至少任一者小。作为一个例子，λ3＝5.09μm。此外，第四区域143中的电极指143a以及143b的对数为2。

由此，像在后面详细叙述的那样，声表面波滤波器10的输出阻抗向电容性侧变化。

另外，关于第一区域141中的电极指的间距λ1和第一区域145中的电极指的间距λ5，只要满足λ1＜λ2和λ1＜λ4以及λ5＜λ2和λ5＜λ4的关系，则可以相同，也可以不同。作为一个例子，λ1＝4.69μm，λ5＝4.77μm。此外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，作为一个例子，分别为3、2、5。

另外，谐振器14的各区域中的电极指的对数并不限于上述的对数，也可以变更。

此外，与谐振器14邻接的谐振器13从反射器16侧向反射器17侧依次具有电极指的间距不同的两个区域131以及132。也就是说，区域132配置在声表面波滤波器10中的中央侧，即，配置在靠近谐振器14的位置。区域131配置在声表面波滤波器10中的外侧，即，配置在靠近反射器16侧。

区域132中的电极指的间距形成得比区域131中的电极指的间距小。区域132是所谓的窄间距区域。例如，区域131中的电极指的间距为5.15μm，区域132中的电极指的间距为4.61μm。此外，区域131中的电极指的对数为22，区域132中的电极指的对数为3。

此外，与谐振器14邻接并相对于谐振器14配置在与谐振器13相反侧的谐振器15从反射器16侧向反射器17侧依次具有电极指的间距不同的两个区域151以及152。也就是说，区域151配置在声表面波滤波器10中的中央侧，即，配置在靠近谐振器14的位置。区域152配置在声表面波滤波器10中的外侧，即，配置在靠近反射器17侧。

区域151中的电极指的间距形成得比区域152中的电极指的间距小。区域151是所谓的窄间距区域。例如，区域151中的电极指的间距为4.87μm，区域152中的电极指的间距为5.12μm。此外，区域151中的电极指的对数为5，区域152中的电极指的对数为20。

另外，区域132以及151中的电极指的间距可以与谐振器14中的第一区域141或145相同，也可以不同。此外，区域131以及区域152中的电极指的间距可以相同，也可以不同。此外，各区域中的电极指的对数并不限于上述的对数，也可以进行变更。例如，如后所述，各区域中的电极指的对数也可以相同。

[2.声表面波滤波器的阻抗特性]

接着，对本实施方式涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。以下，对将谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系设为λ3＜λ2＜λ4(实施例1)、λ2＜λ3＜λ4(实施例2)、λ3＜λ4＜λ2(实施例3)、λ4＜λ3＜λ2(实施例4)时的输出阻抗进行说明。

[2-1.比较例]

首先，为了容易对本实施方式涉及的声表面波滤波器中的输出阻抗进行理解，对比较例涉及的声表面波滤波器10的阻抗特性进行说明。图6是示出比较例涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗特性的图。

作为比较例，对如下情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗进行说明，该情况是，使第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3相同，并使该相同的电极指的间距变更为“小”、“中”、“大”。

在此，电极指的间距为“小”时的该电极指的间距为5.08μm。电极指的间距为“中”时的该电极指的间距为5.02μm。电极指的间距为“大”时的该电极指的间距为5.14μm。此外，第一区域141中的电极指的间距λ1为λ1＝4.69μm，第一区域145中的电极指的间距λ5为4.77μm。此外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，作为一个例子，分别为3、2、5。此外，此时的第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

另外，在图6中，分别用虚线、单点划线、实线示出电极指的间距为“小”、“中”、“大”的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗。

随着使谐振器14的电极指的间距增大为“小”、“中”、“大”，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在图6所示的史密斯圆图中向从左至右的方向移动。即，可知随着使谐振器14的电极指的间距增大为“小”、“中”、“大”，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗增加。详细地说，可知输出阻抗的实数分量增加。

也就是说，通过增加第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3，从而能够使4的电阻增加。

[2-2.实施例1]

接着，对谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距的关系为λ3＜λ2＜λ4的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。另外，关于第一区域141以及145中的电极指的间距λ1以及λ5，设为未从上述的比较例时的值进行变更。也就是说，电极指的间距λ1以及λ5比第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3小。

图7是示出本实施例涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗特性的图。在图7中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，所谓未变更电极指的间距的情况，是未将比较例所示的电极指的间距从“小”时的结构进行变更的情况。此外，所谓仅变更了电极指的间距的情况，是从比较例所示的电极指的间距为“小”时变更为“中”时的情况。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ2＜λ4的情况。例如，作为满足λ3＜λ2＜λ4的电极指的间距，设为λ2＝5.00μm，λ3＝4.80μm，λ4＝5.19μm。此外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，作为一个例子，分别为3、2、5。另外，此时的第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图7所示，在将电极指的间距变更为成为λ3＜λ2＜λ4的关系的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在图7所示的史密斯圆图中向右方向以及上方向移动。即，与仅变更了电极指的间距的比较例的情况不同，声表面波滤波器10的输出阻抗在史密斯圆图中向右上的方向移动。

这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ2＜λ4，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大，并且向电容性的阻抗移动。

因此，通过将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系成为λ3＜λ2＜λ4，从而能够对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整，使得电阻以及电容性的阻抗变大。

[2-3.实施例2]

接着，对谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距的关系为λ2＜λ3＜λ4的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。另外，在本实施例中，也与实施例1同样，电极指的间距λ1以及λ5比第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3小。

图8是示出本实施例涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。在图8中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，关于未变更电极指的间距的情况以及仅变更了电极指的间距的情况，与实施例1的情况是同样的。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ2＜λ3＜λ4的情况。例如，作为满足λ2＜λ3＜λ4的电极指的间距，设为λ2＝4.90μm，λ3＝5.00μm，λ4＝5.19μm。另外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，与实施例1同样，作为一个例子，分别为3、2、5。此外，第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图8所示，在像上述的那样变更了电极指的间距的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在图8所示的史密斯圆图中向右方向移动。此时，与实施例1的情况相比，史密斯圆图中的向上方向的移动小。

这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ2＜λ3＜λ4，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大。此外，表示虽然也有向电容性的移动，但是与实施例1的情况相比，向电容性的移动变弱。

因此，通过将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系成为λ2＜λ3＜λ4，从而能够对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整，使得电阻变大，且电容性的阻抗稍微变大。

[2-4.实施例3]

接着，对谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距的关系为λ3＜λ4＜λ2的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。另外，在本实施例中，也与实施例1同样，电极指的间距λ1以及λ5比第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3小。

图9是示出本实施例涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。在图9中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，关于未变更电极指的间距的情况以及仅变更了电极指的间距的情况，与实施例1的情况是同样的。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ4＜λ2的情况。例如，作为满足λ3＜λ4＜λ2的电极指的间距，设为λ2＝5.29μm，λ3＝5.09μm，λ4＝5.14μm。另外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，与实施例1同样，作为一个例子，分别为3、2、5。此外，第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图9所示，在像上述的那样变更了电极指的间距的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的输出阻抗在图9所示的史密斯圆图中向右方向以及下方向移动。即，与仅变更了电极指的间距的比较例的情况不同，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在史密斯圆图中向右下的方向移动。

这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ4＜λ2，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大，并且向电感性移动。

因此，通过将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系成为λ3＜λ4＜λ2，从而能够对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整，使得电阻以及电感性的阻抗变大。

[2-5.实施例4]

接着，对谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距的关系为λ4＜λ3＜λ2的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。另外，在本实施例中，也与实施例1同样，电极指的间距λ1以及λ5比第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3小。

图10是示出本实施例涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。在图10中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，关于未变更电极指的间距的情况以及仅变更了电极指的间距的情况，与实施例1的情况是同样的。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ4＜λ3＜λ2的情况。例如，作为满足λ4＜λ3＜λ2的电极指的间距，设为λ2＝5.29μm，λ3＝5.16μm，λ4＝5.14μm。另外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，与实施例1同样，作为一个例子，分别为3、2、5。此外，第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图10所示，在像上述的那样变更了电极指的间距的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的输出阻抗在图10所示的史密斯圆图中向右方向以及下方向移动。即，与仅变更了电极指的间距的比较例的情况不同，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在史密斯圆图中向右下的方向移动。此时，与实施例3的情况相比，史密斯圆图中的向下方向的移动大。

这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ4＜λ3＜λ2，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大，并且比实施例3的情况向电感性移动得大。

因此，通过将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系成为λ4＜λ3＜λ2，从而能够对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整，使得电阻变大，且电容性的阻抗变得更大。

[3.声表面波滤波器的传输特性]

接着，对声表面波滤波器10的传输特性进行说明。以下，对未变更谐振器14的电极指的间距的情况、变更谐振器14的交叉宽度的情况、以及将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况进行说明。

图11a是示出本实施方式涉及的声表面波滤波器的输出阻抗特性的图。在图11a中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出变更了电极指的交叉宽度的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，所谓未变更电极指的间距的情况，是未将比较例所示的电极指的间距从“小”时的结构进行变更的情况。此外，所谓变更了电极指的交叉宽度的情况，是从比较例所示的电极指的间距为“小”时的结构仅变更了交叉宽度的情况。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ4＜λ2的情况。例如，作为满足λ3＜λ4＜λ2的电极指的间距，设为λ2＝5.07μm，λ3＝5.02μm，λ4＝5.06μm。

如图11a所示，在变更了电极指的交叉宽度的情况下，与比较例所示的将电极指的间距设为“小”时相比，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在史密斯圆图上向右方向移动。此外，在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的输出阻抗在图11a所示的史密斯圆图中进一步向右方向移动。

也就是说，无论是在变更了电极指的交叉宽度的情况下，还是在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗均增加。在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下，与变更电极指的交叉宽度的情况相比，能够使声表面波滤波器10的输出阻抗变化得更大。

此外，图11b～图11d是示出本实施方式1涉及的声表面波滤波器10的通过特性的图。另外，在图11c中，为了使带宽的变化易懂，示出了除去了不匹配损耗时的声表面波滤波器10的通过特性。在图11b～图11d中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出变更了电极指的交叉宽度的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

如图11b以及图11c所示，在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下，与未变更电极指的间距的情况以及变更了电极指的交叉宽度的情况相比，声表面波滤波器10的通带宽度变宽。特别是，若观察图11c，则容易知道，低频侧的通带变宽。因此，将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距，比变更电极指的交叉宽度对宽带化有效。

这是因为，如图11d所示，声表面波滤波器10的零阶的谐振模式的谐振频率以及二阶的谐振模式的谐振频率向低频侧移动。如图11d所示，关于将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下的声表面波滤波器10的通过特性，与未变更电极指的间距的情况以及变更了电极指的交叉宽度的情况下的声表面波滤波器的通过特性相比，零阶的谐振模式的谐振频率向低频侧移动。因此，在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下，声表面波滤波器10的通带宽度比未变更电极指的间距的情况以及变更了电极指的交叉宽度的情况下的声表面波滤波器的通过特性扩大。

此外，零阶的谐振模式的谐振频率以及二阶的谐振模式的谐振频率的双方向低频侧移动。此时，二阶的谐振模式的谐振频率比零阶的谐振模式的谐振频率更向低频率侧移动。因此，零阶的谐振模式与二阶的谐振模式的谐振频率的间隔变宽，因此这些谐振模式的耦合变弱。

此外，因为零阶的谐振模式与二阶的谐振模式的耦合变弱，所以在将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况下的声表面波滤波器10中，如图11a所示，通带内的输入阻抗与未变更电极指的间距的情况以及变更了电极指的交叉宽度的情况下的声表面波滤波器的输入阻抗相比，从史密斯圆图的中心脱离。也就是说，声表面波滤波器10的输出阻抗向电阻增加的方向变化。

像这样，通过将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距，从而能够在使声表面波滤波器10的通带宽度变宽的同时变更输出阻抗。也就是说，能够在不使声表面波滤波器10的通过特性劣化的情况下对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。此外，与变更声表面波滤波器10的电极指的交叉宽度的情况相比，将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距更能够在良好地保持通过特性的同时调整输出阻抗。

[4.效果等]

以上，根据本实施方式涉及的声表面波滤波器10，能够在不使声表面波滤波器10的通过特性劣化的情况下对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。

此时，通过将谐振器14的第二区域142以及第三区域144中的电极指的间距λ2、λ4的关系设为λ2＜λ4，从而不仅能够使声表面波滤波器10的输出阻抗向电阻移动，还能够使声表面波滤波器10的输出阻抗向电感性的阻抗移动。此外，通过将电极指的间距λ2、λ4的关系设为λ4＜λ2，从而不仅能够使声表面波滤波器10的输出阻抗向电阻移动，还能够使声表面波滤波器10的输出阻抗向电容性的阻抗移动。

此外，通过使谐振器14的第四区域143中的电极指的间距λ3比第二区域142以及第三区域144中的电极指的间距λ2、λ4小，从而能够使声表面波滤波器10的输出阻抗向电感性移动。

像这样，根据本实施方式涉及的声表面波滤波器10，能够使输出阻抗在两个以上的方向上移动。即，能够包含电阻、电容性以及电感性的阻抗而对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。

另外，虽然在本实施方式中设为了将谐振器14分割为电极指间距不同的五个区域，但是并不限于五个区域，也可以是四个区域，还可以是六个以上的区域。通过将电极指的间距按五个区域的每一个设为不同的值，从而与设为四个区域的情况相比，能够更细微地对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。

此外，虽然在本实施方式中声表面波滤波器10设为了具备三个谐振器的结构，但是谐振器的数目并不限于此，也可以进行变更。例如，声表面波滤波器也可以具备五个谐振器。

此外，电极指的间距以及电极指的对数并不限于上述的电极指的间距以及电极指的对数，也可以适当地进行变更。此外，第四区域中的电极指的间距可以小于第二区域以及第三区域中的任一者中的电极指的间距，也可以小于双方的区域中的电极指的间距。

(实施方式2)

接着，对实施方式2进行说明。本实施方式涉及的高频模块1与实施方式1涉及的高频模块1的不同点在于，第一区域以外的区域各自中的电极指的对数为相同的数。

以下，一边与上述的实施方式1的实施例1中的声表面波滤波器10进行比较，一边对本实施方式涉及的声表面波滤波器10进行说明。另外，在实施例1中，对谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距的关系为λ3＜λ2＜λ4的声表面波滤波器10进行了说明。在实施例1中的声表面波滤波器10中，电极指的间距设为λ2＝5.00μm，λ3＝4.79μm，λ4＝5.19μm。此外，关于第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的根数，作为一个例子，分别设为3、2、5。另外，此时的第一区域141以及145中的电极指的根数分别设为3根以及8根。

以下，对将谐振器14的第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3的关系设为λ3＜λ2＜λ4(实施例5)、λ2＜λ3＜λ4(实施例6)并将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数设为相同时的输出阻抗进行说明。

[5.实施例5]

首先，对谐振器14中的电极指的间距的关系为λ3＜λ2＜λ4且第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数相同的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。

图12是示出本实施例涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗特性的图。在图12中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，所谓未变更电极指的间距的情况，与实施例1同样，是未将比较例所示的电极指的间距从“小”时的结构进行变更的情况。此外，所谓仅变更了电极指的间距的情况，是从比较例所示的电极指的间距从“小”时变更为“中”时的情况。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ2＜λ4的情况。例如，作为满足λ3＜λ2＜λ4的电极指的间距，设为λ2＝5.00μm，λ3＝4.79μm，λ4＝5.19μm。此外，第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的根数相同，作为一个例子，分别为6根。另外，此时的第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图12所示，在使第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的根数相同并将电极指的间距变更为成为λ3＜λ2＜λ4的关系的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在图12所示的史密斯圆图中向右上的方向移动。

这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ3＜λ2＜λ4，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大，并且向电容性的阻抗移动。

此外，若与图7所示的实施例1中的声表面波滤波器10相比较，则本实施例涉及的声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗虽然在整体上变化小，但是比实施例1中的声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗稍微向电感性的阻抗变化。可以说，这是因为，由于将第四区域143中的电极指的对数从2增加为3，并将第三区域144中的电极指的对数从5减少为3，从而在史密斯圆图中，通带内的输出阻抗示出向左方向旋转的变化。另外，在图12中，史密斯圆图中的输出阻抗的卷绕扩展，因此也可以说通带内的输出阻抗容易产生偏差。

像这样，通过将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数设为相同的数，从而能够对声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗进行微调。由此，能够在不使声表面波滤波器10的通过特性劣化的情况下对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。

[6.实施例6]

接着，对谐振器14中的电极指的间距的关系为λ2＜λ3＜λ4且第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数相同的情况下的声表面波滤波器10的输出阻抗特性进行说明。

图13是示出本实施例涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗特性的图。在图13中，用虚线示出未变更电极指的间距的情况，用单点划线示出仅变更了电极指的间距的情况，用实线示出将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况。

在此，所谓未变更电极指的间距的情况，与实施例1同样，是未将比较例所示的电极指的间距从“小”时的结构进行变更的情况。此外，所谓仅变更了电极指的间距的情况，是从比较例所示的电极指的间距从“小”时变更为“中”时的情况。所谓将电极指的间距按多个区域的每一个进行分割而变更为成为不同的间距的情况，是将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距λ2、λ4、λ3变更为电极指的间距的关系成为λ2＜λ3＜λ4的情况。例如，作为满足λ2＜λ3＜λ4的电极指的间距，设为λ2＝4.89μm，λ3＝5.00μm，λ4＝5.19μm。此外，与实施例5同样，第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的根数相同，作为一个例子，分别为6根。另外，此时的第一区域141以及145中的电极指的根数分别为3根以及8根。

如图13所示，在将第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的根数设为相同并将电极指的间距变更为成为λ2＜λ3＜λ4的关系的情况下，与未变更电极指的间距的情况相比，声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗在图13所示的史密斯圆图中向右方向移动。这表示，通过将谐振器14的电极指的间距变更为电极指的间距的关系成为λ2＜λ3＜λ4，从而关于声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗，电阻变大。

此外，若与图8所示的实施例2中的声表面波滤波器10进行比较，则本实施例涉及的声表面波滤波器10的输出阻抗与实施例5的情况同样，虽然整体上变化小，但是与实施例2中的声表面波滤波器10的通带内的输出阻抗相比，向电容性的移动变大。可以说，这是因为，由于将第四区域143中的电极指的对数从2增加为3，并将第三区域144中的电极指的对数从5减少为3，从而在史密斯圆图中，通带内的输出阻抗示出向左方向旋转的变化。也就是说，通过将电极指的对数设为相同的数，从而第三区域144中的电极指的间距示出的向电感性的阻抗的变化变小。另外，在图13中，史密斯圆图中的通带内的输出阻抗的卷绕扩展，因此也可以说输出阻抗容易产生偏差。

像这样，通过使第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数为相同的数，从而能够平衡良好地将声表面波滤波器10的输出阻抗调整为电容性以及电感性。即，在史密斯圆图中，能够使声表面波滤波器的输出阻抗在两个以上的方向上移动。

因此，不仅是变更第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的间距，通过变更第二区域142、第三区域144、第四区域143中的电极指的对数，也能够对声表面波滤波器10的输出阻抗进行调整。

(其它实施方式)

另外，本发明并不限定于上述的实施方式记载的结构，例如，也可以像以下所示的变形例那样，适当地施加变更。

例如，上述的实施方式涉及的声表面波滤波器也可以用于高频模块。此时，如图1所示，声表面波滤波器10也可以与将通过了声表面波滤波器10的高频信号放大的低噪声放大器20连接。

此外，上述的实施方式涉及的声表面波滤波器也可以用于多工器。在该情况下，多工器具有多个声表面波滤波器，多个声表面波滤波器各自成为与公共端子连接的结构。

此外，虽然在上述的实施方式中将谐振器分割为了电极指间距不同的五个区域，但是并不限于五个区域，也可以是四个区域，还可以是六个以上的区域。

此外，虽然在本实施方式中声表面波滤波器10设为了具备三个谐振器的结构，但是谐振器的数目并不限于此，也可以进行变更。例如，声表面波滤波器也可以具备五个谐振器。

此外，电极指的间距以及电极指的对数并不限于上述的电极指的间距以及电极指的对数，也可以适当地进行变更。此外，第四区域中的电极指的间距可以小于第二区域以及第三区域中的任一者中的电极指的间距，也可以小于双方的区域中的电极指的间距。

此外，在上述的实施方式中，设为了用于声表面波滤波器的三个谐振器中的配置在中央部分的谐振器具有电极指的间距不同的四个以上的区域。但是，并不限于此，该谐振器也可以具有四个区域，只要是包含三个以上的区域的结构，还可以进一步增多区域数。

此外，具有电极指的间距不同的三个以上的区域的谐振器并不限于一个，也可以是用于声表面波滤波器的三个谐振器中的配置在两端的两个谐振器。在该情况下，可以使两个谐振器的对应的各区域中的电极指的间距相同，也可以不同。此外，可以使两个谐振器的对应的各区域中的电极指的对数相同，也可以不同。

此外，构成谐振器的基板、电极、保护层等的材料并不限于上述的材料，也可以适当地进行变更。此外，关于各谐振器的电极指的间距以及对数，只要满足上述的条件，就可以进行变更。

除此以外，对上述的实施方式以及变形例实施本领域技术人员想到的各种变形而得到的方式、或者通过在不脱离本发明的主旨的范围内对上述的实施方式以及变形例中的构成要素以及功能进行任意组合而实现的方式也包含于本发明。

产业上的可利用性

本发明能够利用于使用了声表面波滤波器的高频模块、双工器、多工器、接收装置等。

附图标记说明

1：高频模块；

10：声表面波滤波器；

11：输入端子；

12：输出端子；

13、14、15、100：谐振器；

13a、13b、14a、14b、15a、15b、101a、101b：idt电极；

16、17：反射器；

16a、16b、17a、17b、111a、111b、140a、140b：汇流条电极；

110a、110b、141a、141b、142a、142b、143a、143b、144a、144b、145a、145b：电极指；

123：压电基板；

124a：密接层；

124b：主电极层；

125：保护层；

131、132、151、152：区域；

141、145：第一区域；

142：第二区域；

143：第四区域；

144：第三区域。