弹性波装置的制作方法

本发明涉及弹性波装置。

背景技术：

以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。在专利文献1记载的弹性波装置具有压电性基板和设置在压电性基板上的idt电极。在idt电极的弹性波传播方向两侧设置有反射器。反射器具有相互对置的两根汇流条和与两根汇流条连接的多根电极指。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2000-312126号公报

技术实现要素：

发明要解决的课题

在专利文献1记载的弹性波装置的反射器中，全部的电极指与相互对置的汇流条连接，因此在汇流条附近，声速下降，有时产生横模杂散。因此，有时插入损耗等滤波器特性劣化。

本发明的目的在于，提供一种能够抑制横模杂散的弹性波装置。

用于解决课题的技术方案

本发明涉及的弹性波装置具备：压电性基板；idt电极，设置在所述压电性基板上；以及两个反射器，设置在所述压电性基板上，且设置在所述idt电极的弹性波传播方向两侧，所述各反射器具有：第一汇流条以及第二汇流条，彼此相互对置；以及多根电极指，与所述第一汇流条以及所述第二汇流条中的至少一者连接，所述第一汇流条和所述第二汇流条通过至少一根所述电极指而连接，在将所述电极指延伸的方向设为长度方向时，所述各反射器具有位于所述长度方向中央的中央区域和位于所述中央区域与所述第一汇流条之间的第一外侧区域，所述第一外侧区域是声速比所述中央区域高的第一高声速区域。

在本发明涉及的弹性波装置的某个特定的方式中，在所述第一外侧区域中，在不同于与所述第一汇流条以及所述第二汇流条连接的所述电极指的至少一根所述电极指和所述第一汇流条之间设置有缝隙，由此构成所述第一高声速区域。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，在将所述多根电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，与所述第一汇流条以及所述第二汇流条连接的至少一根所述电极指的宽度比与所述第一汇流条以及所述第二汇流条中的一者连接的所述电极指的宽度宽。在该情况下，将第一汇流条和第二汇流条连接的电极指不易断线。因而，能够更加可靠地将第一汇流条、第二汇流条以及多根电极指设为同电位。因此，能够更加可靠地使弹性波装置的滤波器特性不易劣化。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条通过位于所述反射器的弹性波传播方向上的一端部的电极指而连接，在所述第一外侧区域中，在位于所述反射器的所述一端部的所述电极指以外的全部的所述电极指与所述第一汇流条之间设置有缝隙，全部的所述电极指与所述第二汇流条连接。

在本发明涉及的弹性波装置的另一个特定的方式中，在将所述多根电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，在与所述第一汇流条以及所述第二汇流条连接的至少一根所述电极指中，所述第一外侧区域中的宽度比所述中央区域中的宽度窄，由此构成所述第一高声速区域。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述反射器具有位于所述中央区域与所述第二汇流条之间的第二外侧区域，所述第二外侧区域是声速比所述中央区域高的第二高声速区域。在该情况下，能够更进一步抑制横模杂散。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，在所述第二外侧区域中，在不同于与所述第一汇流条以及所述第二汇流条连接的所述电极指的至少一根所述电极指和所述第二汇流条之间设置有缝隙，由此构成所述第二高声速区域。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条通过一根所述电极指而连接，该电极指以外的全部的所述电极指与所述第一汇流条以及所述第二汇流条中的一者连接。在该情况下，在通过剥离法形成反射器时，能够容易地剥离抗蚀剂。因此，不易产生反射器的形成不良。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条通过位于所述反射器的弹性波传播方向上的一端部的电极指而连接。在该情况下，不易产生反射器的形成不良。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条通过位于所述反射器的弹性波传播方向上的两端部中的至少一者的电极指而连接，位于所述反射器的所述两端部的所述电极指以外的全部的所述电极指与所述第一汇流条以及所述第二汇流条中的一者连接，所述第一汇流条被分割为弹性波传播方向上的一侧的部分和另一侧的部分。在该情况下，不易产生反射器的形成不良。

在本发明涉及的弹性波装置的又一个特定的方式中，在将所述多根电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，在与所述第一汇流条以及所述第二汇流条连接的至少一根所述电极指中，所述第二外侧区域中的宽度比所述中央区域中的宽度窄，由此构成所述第二高声速区域。

发明效果

根据本发明，能够提供一种能够抑制横模杂散的弹性波装置。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图2是示出本发明的第一实施方式以及第一比较例的弹性波装置的回波损耗的图。

图3是本发明的第一实施方式的第一变形例中的反射器的示意性俯视图。

图4是本发明的第一实施方式的第二变形例中的反射器的示意性俯视图。

图5是本发明的第一实施方式的第三变形例中的反射器的示意性俯视图。

图6是本发明的第二实施方式中的反射器的示意性俯视图。

图7是本发明的第二实施方式的第一变形例中的反射器的示意性俯视图。

图8是本发明的第二实施方式的第二变形例中的反射器的示意性俯视图。

图9是本发明的第二实施方式的第三变形例中的反射器的示意性俯视图。

图10是本发明的第三实施方式中的反射器的示意性俯视图。

图11是本发明的第四实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

图12是本发明的第五实施方式涉及的弹性波装置的示意性电路图。

图13是示出本发明的第五实施方式以及第二比较例中的发送滤波器的衰减量频率特性的图。

具体实施方式

以下，通过参照附图对本发明的具体的实施方式进行说明，从而明确本发明。

另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。

图1是本发明的第一实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

弹性波装置1具有压电性基板2。压电性基板2由linbo3构成。另外，压电性基板2也可以由litao3等linbo3以外的压电单晶构成，或者也可以由适当的压电陶瓷构成。此外，也可以使用在支承基板上层叠有压电膜的压电性基板。作为该压电膜，能够适当地使用上述压电单晶等。

在压电性基板2上设置有idt电极3。idt电极3具有彼此相互对置的第一汇流条3a以及第二汇流条3b。idt电极3具有一端与第一汇流条3a连接的多根第一电极指4a和一端与第二汇流条3b连接的多根第二电极指4b。多根第一电极指4a和多根第二电极指4b相互交替插入。在从弹性波传播方向观察时，idt电极3具有第一电极指4a和第二电极指4b相互重叠的交叉区域。若对idt电极3施加交流电压，则可激励弹性波。

弹性波装置1具有设置在压电性基板2上且设置在idt电极3的弹性波传播方向两侧的两个反射器5、7。本实施方式的弹性波装置1是单端口型的弹性波谐振器。

反射器5具有彼此相互对置的第一汇流条5a以及第二汇流条5b。反射器5具有一端与第一汇流条5a连接的多根第一电极指6a和一端与第二汇流条5b连接的多根第二电极指6b。在第一电极指6a与第二汇流条5b之间以及第二电极指6b与第一汇流条5a之间设置有缝隙g。在本实施方式中，多根第一电极指6a和多根第二电极指6b相互交替插入。

反射器5具有将第一汇流条5a和第二汇流条5b连接的第三电极指6c。由此，能够将反射器5的第一汇流条5a、第二汇流条5b以及第一电极指6a～第三电极指6c设为同电位。因此，可适当地激励驻波。因此，弹性波装置1的插入损耗等滤波器特性不易劣化。

在本实施方式中，反射器5具有一根第三电极指6c。另外，反射器5也可以具有多根第三电极指6c。在此，将第一电极指6a～第三电极指6c的沿着弹性波传播方向的尺寸设为第一电极指6a～第三电极指6c的宽度。在本实施方式中，第一电极指6a～第三电极指6c的宽度相同。另外，第一电极指6a～第三电极指6c的宽度也可以不同。

将第一电极指6a～第三电极指6c延伸的方向设为反射器5的长度方向。反射器5具有位于长度方向中央的中央区域a。在本实施方式中，反射器5中的中央区域a相当于idt电极3中的交叉区域。反射器5具有位于中央区域a与第一汇流条5a之间的第一外侧区域ba。同样地，反射器5具有位于中央区域a与第二汇流条5b之间的第二外侧区域bb。

设置在多根第二电极指6b与第一汇流条5a之间的缝隙g位于第一外侧区域ba。因而，在反射器5中位于第一外侧区域ba的部分仅为第一电极指6a。同样地，设置在多根第一电极指6a与第二汇流条5b之间的缝隙g位于第二外侧区域bb。因而，在反射器5中位于第二外侧区域bb的部分仅为第二电极指6b。由此，与中央区域a中的弹性波的声速相比，第一外侧区域ba以及第二外侧区域bb中的弹性波的声速成为高速。在此，将中央区域a中的声速设为v1，将第一外侧区域ba、第二外侧区域bb中的声速设为v2。此时，成为v2＞v1。像这样，第一外侧区域ba以及第二外侧区域bb是声速比中央区域a高的第一高声速区域以及第二高声速区域。

反射器7具有与反射器5同样的结构。反射器7具有第一汇流条7a、第二汇流条7b以及第一电极指8a～第三电极指8c。反射器7具有中央区域a以及第一外侧区域ba、第二外侧区域bb。通过在第二电极指8b与第一汇流条7a之间设置有缝隙g，从而构成第一高声速区域。通过在第一电极指8a与第二汇流条7b之间设置有缝隙g，从而构成第二高声速区域。因而，在反射器7中，第一外侧区域ba、第二外侧区域bb也是声速比中央区域a高的第一高声速区域、第二高声速区域。

将上述那样的各声速v1、v2的关系示于图1。另外，示出声速随着朝向图1中的右侧而变高。

另外，与各反射器5、7同样地，idt电极3也在交叉区域与第一汇流条3a之间以及交叉区域与第二汇流条3b之间具有第一高声速区域以及第二高声速区域。在idt电极3中，第一高声速区域、第二高声速区域的声速比交叉区域的声速高。在弹性波装置1中，反射器5、idt电极3以及反射器7的第一高声速区域沿着弹性波传播方向相连。反射器5、idt电极3以及反射器7的第二高声速区域也沿着弹性波传播方向相连。

在此，将第一电极指4a、第二电极指4b延伸的方向设为idt电极3中的长度方向。在idt电极3中，将交叉区域的沿着长度方向的尺寸设为交叉宽度。在各反射器5、7中，将中央区域a的沿着长度方向的尺寸设为中央区域a的宽度。将由电极指间距规定的波长设为λ。此时，在本实施方式中，idt电极3的波长λ为4μm，交叉宽度为17.5λ，电极指的对数为100对，膜厚为700nm。各反射器5、7的波长λ为4μm，中央区域a的宽度为17.5λ，电极指的对数为10对，膜厚为700nm。

本实施方式的特征在于，反射器5以及反射器7分别具有第一高声速区域以及第二高声速区域。由此，能够抑制横模杂散。以下，通过对本实施方式和第一比较例进行比较，从而对此进行说明。

另外，第一比较例与本实施方式的不同点在于，各反射器的全部的电极指与第一汇流条以及第二汇流条双方连接。

图2是示出第一实施方式以及第一比较例的弹性波装置的回波损耗的图。在图2中，实线示出第一实施方式的结果，虚线示出第一比较例的结果。

如图2所示，在第一比较例中，回波损耗劣化。在第一比较例中，idt电极具有第一高声速区域、第二高声速区域，但是各反射器不具有第一高声速区域、第二高声速区域。因此，在弹性波从idt电极的第一高声速区域传播到各反射器的第一汇流条附近的区域时，声速变低。由此，产生横模杂散。同样地，在弹性波从idt电极的第二高声速区域传播到各反射器的第二汇流条附近的区域时，声速变低，因此产生横模杂散。因此，在第一比较例中，回波损耗劣化。

相对于此，在第一实施方式中，如图1所示，各反射器5、7分别具有第一高声速区域以及第二高声速区域。由此，在弹性波从idt电极3传播到各反射器5、7时，声速不易变低。因此，能够在各反射器5、7中抑制横模杂散的产生。由此，如图2所示，能够改善回波损耗。

在此，在弹性波装置1的制造工序中，图1所示的反射器5例如通过剥离法(lift-offmethod)来形成。在反射器5中，第一电极指6a～第三电极指6c间的区域以及各缝隙g彼此相连，且第一电极指6a～第三电极指6c间的区域以及各缝隙g与反射器5的外侧的区域相连。因此，用于将反射器5图案化的抗蚀剂也能够设为像上述那样各部分相连的结构。因而，在形成反射器5时，能够容易地剥离抗蚀剂。同样地，在形成反射器7时，也能够容易地剥离抗蚀剂。因此，不易产生各反射器5、7的形成不良。

在像第一实施方式那样通过设置有缝隙g而构成了第一高声速区域的情况下，反射器5只要具有至少一根第二电极指6b即可。不过，优选具有多根第二电极指6b。由此，能够提高第一高声速区域中的声速。因而，从idt电极3传播到反射器5的弹性波的声速更加不易变低。因此，能够更进一步抑制横模杂散。

在通过设置有缝隙g而构成了第二高声速区域的情况下，反射器5只要具有至少一根第一电极指6a即可。不过，优选具有多根第一电极指6a。由此，从idt电极3传播到反射器5的弹性波的声速更加不易变低。

更优选地，反射器5具有一根第三电极指6c，该第三电极指6c以外的全部的电极指为第一电极指6a或第二电极指6b。由此，能够更进一步提高第一高声速区域或第二高声速区域的声速。因此，从idt电极3传播到反射器5的弹性波的声速更加不易变低。除此以外，像上述的那样，不易产生反射器5的形成不良。

第三电极指6c优选位于弹性波传播方向上的与idt电极3侧相反侧的端部。由此，能够在idt电极3侧的端部配置第一电极指6a或第二电极指6b。由此，在反射器5中，能够在idt电极3侧提高声速。因此，能够更进一步抑制横模杂散。另外，第三电极指6c也可以位于反射器5的弹性波传播方向上的idt电极3侧的端部。

在以下所示的第一实施方式的第一变形例～第三变形例中，也能够抑制横模杂散，且不易产生反射器的形成不良。

在图3所示的第一实施方式的第一变形例中，第三电极指6c位于反射器55的弹性波传播方向上的中央附近。像这样，在第三电极指6c为一根的情况下，能够与第三电极指6c的位置无关地将第一电极指6a～第三电极指6c间的区域以及各缝隙和反射器55的外侧的区域相连。

在图4所示的第一实施方式的第二变形例中，第三电极指6c配置在反射器65的弹性波传播方向上的两端部。第一汇流条65a在弹性波传播方向上被分割为第一部分69a和第二部分69b。由此，第一电极指6a～第三电极指6c间的区域以及各缝隙与反射器65的外侧的区域相连。

在图5所示的第一实施方式的第三变形例中，反射器75具有第一高声速区域，不具有第二高声速区域。更具体地，反射器75具有一根第三电极指6c。第三电极指6c位于弹性波传播方向上的与idt电极侧相反侧的端部。第三电极指6c以外的全部的电极指为第二电极指6b，与第二汇流条5b连接。不过，优选像第一实施方式那样具有第一高声速区域以及第二高声速区域。由此，能够更进一步抑制横模杂散。

反射器7也可以具有与反射器5不同的结构。不过，反射器7优选具有与反射器5同样的结构。由此，可更可靠地激励驻波。因此，弹性波装置1的滤波器特性不易劣化。

图6是第二实施方式中的反射器的示意性俯视图。

第二实施方式的弹性波装置与第一实施方式的不同点在于，反射器15的第三电极指16c的宽度比第一电极指6a的宽度以及第二电极指6b的宽度宽。在上述以外的方面，第二实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。

第三电极指16c的宽度宽，因此在制造弹性波装置时，第三电极指16c不易断线。因而，能够更加可靠地将反射器15的第一汇流条5a、第二汇流条5b、第一电极指6a、第二电极指6b以及第三电极指16c设为同电位。因此，能够更加可靠地使弹性波装置的滤波器特性不易劣化。

除此以外，与第一实施方式同样地，能够抑制横模杂散，且不易产生反射器15的形成不良。

在具有多根第三电极指16c的情况下，优选至少一根第三电极指16c的宽度比第一电极指6a、第二电极指6b的宽度宽。由此，弹性波装置的滤波器特性不易劣化。

将第二实施方式的第一变形例～第三变形例中的各反射器示于图7～图9。第二实施方式的第一变形例～第三变形例的各反射器55x、65x、75x相当于在第一实施方式中的第一变形例～第三变形例中第三电极指的宽度比第一电极指的宽度以及第二电极指的宽度宽的各反射器。在各反射器55x、65x、75x中，也与第二实施方式同样地，不易产生第三电极指16c的断线。由此，能够更加可靠地使弹性波装置的滤波器特性不易劣化。

图10是第三实施方式中的反射器的示意性俯视图。

在本实施方式的弹性波装置中，反射器25的全部的电极指为将第一汇流条5a和第二汇流条5b连接的第三电极指26c，并且第一外侧区域ba、第二外侧区域bb的结构与第一实施方式不同，在除此以外的方面，本实施方式的弹性波装置具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。

在反射器25中，全部的第三电极指26c的第一外侧区域ba中的宽度比中央区域a中的宽度窄。由此，第一外侧区域ba的声速比中央区域a的声速高。因而，第一外侧区域ba是第一高声速区域。同样地，全部的第三电极指26c的第二外侧区域bb中的宽度比中央区域a中的宽度窄。由此，第二外侧区域bb的声速比中央区域a的声速高。因而，第二外侧区域bb是第二高声速区域。

在本实施方式中，也与第一实施方式同样地，能够抑制横模杂散。

在本实施方式中，在第一汇流条5a与电极指之间未设置缝隙。在这样的情况下，在至少一根第三电极指26c中，第一外侧区域ba中的宽度比中央区域a中的宽度窄，由此也构成第一高声速区域。不过，优选在多根第三电极指26c中，第一外侧区域ba中的宽度比中央区域a中的宽度窄。优选像本实施方式那样，在全部的第三电极指26c中，第一外侧区域ba中的宽度比中央区域a中的宽度窄。由此，能够更进一步提高第一高声速区域中的声速。在第二外侧区域bb中也是同样的。

另外，反射器25也可以具有与第一汇流条5a之间设置了缝隙的第二电极指和在第一外侧区域ba中宽度窄的第三电极指26c。在该情况下，也在第一外侧区域ba中构成了第一高声速区域。反射器25也可以具有与第二汇流条5b之间设置了缝隙的第一电极指和在第二外侧区域bb中宽度窄的第三电极指26c。在该情况下，也在第二外侧区域bb中构成了第二高声速区域。

图11是第四实施方式涉及的弹性波装置的示意性俯视图。

在弹性波装置31中，与第一实施方式的不同点在于，在idt电极33的第一电极指4a上以及第二电极指4b上设置有质量附加膜39。与第一实施方式的不同点还在于，在反射器35的第一电极指6a～第三电极指6c上以及反射器37的第一电极指8a～第三电极指8c上设置有质量附加膜39。在上述的方面以外，本实施方式的弹性波装置31具有与第一实施方式的弹性波装置1同样的结构。

更具体地，反射器35具有第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb。第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb位于中央区域a的长度方向两侧。第一边缘区域ca位于中央区域a与第一外侧区域ba之间，第二边缘区域cb位于中央区域a与第二外侧区域bb之间。

质量附加膜39位于反射器35的第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb。由此，第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb中的弹性波的声速被降低。在此，在将第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb的声速设为v3时，成为v1＞v3。像这样，第一边缘区域ca以及第二边缘区域cb是声速比中央区域a低的第一低声速区域以及第二低声速区域。

在本实施方式中，各声速的关系为v2＞v1＞v3。将该关系示于图11。

同样地，idt电极33以及反射器37也分别具有第一低声速区域以及第二低声速区域。在本实施方式中，idt电极33的交叉区域具有位于长度方向中央的中央区域和位于中央区域的长度方向两侧的第一边缘区域、第二边缘区域。各反射器35、37中的中央区域a相当于idt电极33中的中央区域。

在idt电极33中，通过在中央区域的外侧配置有第一低声速区域、第二低声速区域，并在第一低声速区域、第二低声速区域的外侧配置有第一高声速区域、第二高声速区域，从而能够抑制无用波。像这样，弹性波装置31利用了活塞模式。

在弹性波装置31中，反射器35、idt电极33以及反射器37的第一低声速区域沿着弹性波传播方向相连。同样地，反射器35、idt电极33以及反射器37的第二低声速区域、中央区域、第一高声速区域以及第二高声速区域也沿着弹性波传播方向分别相连。因而，从idt电极传播到各反射器35、37的弹性波的声速不易变化。因此，在本实施方式中，也与第一实施方式同样地，能够抑制横模杂散。

在第一实施方式～第四实施方式以及各变形例中，示出了弹性波装置为单端口型的弹性波谐振器的例子。本发明涉及的弹性波装置例如也可以是纵向耦合谐振器型弹性波滤波器、梯型滤波器、双工器。以下，示出弹性波装置为双工器的例子。

图12是第五实施方式涉及的弹性波装置的示意性电路图。

弹性波装置40是具有发送滤波器41a和通带与发送滤波器41a不同的接收滤波器41b的双工器。弹性波装置40具有与天线连接的天线端子42。发送滤波器41a以及接收滤波器41b公共连接于天线端子42。

发送滤波器41a具有串联臂谐振器s1～s4以及并联臂谐振器p1～p4。发送滤波器41a是作为本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置的梯型滤波器。更具体地，在串联臂谐振器s1与串联臂谐振器s2之间的连接点和接地电位之间连接有并联臂谐振器p1。并联臂谐振器p2～p4的一端分别连接于串联臂谐振器s1与串联臂谐振器s2之间的连接点、串联臂谐振器s2与串联臂谐振器s3之间的连接点、以及串联臂谐振器s3与串联臂谐振器s4之间的连接点，另一端在被公共化之后与接地电位连接。另一方面，框图所示的接收滤波器41b的结构没有特别限定。

在本实施方式中，串联臂谐振器s1～s4以及并联臂谐振器p1～p4全部是具有与第一实施方式同样的结构的弹性波谐振器。由此，能够有效地抑制横模杂散。另外，只要串联臂谐振器s1～s4以及并联臂谐振器p1～p4中的至少一个是按照本发明构成的弹性波谐振器即可。

串联臂谐振器s1～s4以及并联臂谐振器p1～p4的设计参数根据所希望的滤波器特性而不同。更具体地，发送滤波器41a的各弹性波谐振器的设计参数如下述的表1。

[表1]

虽然在本实施方式中，发送滤波器41a为本发明的一个实施方式涉及的弹性波装置，但是只要发送滤波器41a以及接收滤波器41b中的至少一者为按照本发明构成的弹性波装置即可。

以下，通过对本实施方式和第二比较例进行比较，从而对本实施方式的效果进行说明。

另外，在第二比较例中，在全部的弹性波谐振器的全部的反射器中，全部的电极指将第一汇流条和第二汇流条连接。上述全部的反射器不具有第一高声速区域以及第二高声速区域中的任一者。在这些方面，第二比较例与第五实施方式不同。

图13是示出第五实施方式以及第二比较例中的发送滤波器的衰减量频率特性的图。在图13中，实线示出第五实施方式的结果，虚线示出第二比较例的结果。

如图13所示，可知在第二比较例中，插入损耗劣化。在第二比较例中，在各弹性波谐振器的反射器中容易产生横模杂散。因此，如图13所示，可知由横模杂散造成的纹波变大。

相对于此，在第五实施方式中，各弹性波谐振器的反射器具有与第一实施方式同样的结构，因此能够有效地抑制横模杂散。由此，能够减小由横模杂散造成的纹波。进而，能够减小插入损耗。

附图标记说明

1：弹性波装置；

2：压电性基板；

3：idt电极；

3a、3b：第一汇流条、第二汇流条；

4a、4b：第一电极指、第二电极指；

5：反射器；

5a、5b：第一汇流条、第二汇流条；

6a～6c：第一电极指～第三电极指；

7：反射器；

7a、7b：第一汇流条、第二汇流条；

8a～8c：第一电极指～第三电极指；

15：反射器；

16c：第三电极指；

23：idt电极；

25：反射器；

26c：第三电极指；

27：反射器；

29：质量附加膜；

31：弹性波装置；

33：idt电极；

35：反射器；

37：反射器；

39：质量附加膜；

40：弹性波装置；

41a：发送滤波器；

41b：接收滤波器；

42：天线端子；

55、55x、65、65x：反射器；

65a：第一汇流条；

69a、69b：第一部分、第二部分；

75、75x：反射器；

p1～p4：并联臂谐振器；

s1～s4：串联臂谐振器。