振动元件及其频率调整方法、振子、电子设备和移动体与流程

本发明涉及振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体。

背景技术：

例如，在专利文献1中记载了压电器件，该压电器件具有：音叉型的振动片，其具有一对振动臂；以及封装，其收纳该振动片。此外，在振动臂的双面上设置有频率调整用的施重部。在这种压电器件中，在将振动片固定于封装的状态下，从上方朝施重部照射激光，去除施重部的一部分，由此，进行振动片的驱动频率的调整。

专利文献1：日本特开2006-311444号公报

但是，在专利文献1所记载的振动片中，由于在振动臂的双面设置有施重部，因此，当照射激光时，不仅去除了振动臂的上表面(与封装的底面相反侧的面)的施重部，也去除了下表面(封装的底面侧的面)的施重部。振动臂的下表面与封装的底面相对，因此，从下表面的施重部挥发的飞沫(渣滓)容易附着于封装的底面。在封装的底面引绕有布线，当所述飞沫附着在封装的底面上时，可能产生布线之间的短路、或不期望的寄生电容，压电器件的电特性恶化。此外，当临时附着在封装上的飞沫由于撞击等而脱离并再次附着于振动片时，还可能发生电极彼此间的短路，或者，振动特性由于质量的变化而恶化。

此外，在专利文献1的振动片中，配置于振动臂的上表面的施重部和配置于下表面的施重部的厚度(质量)不同，因此，振动臂的重心从振动臂的厚度方向的中心偏移。因此，在驱动时，振动臂还会在表面外(振动臂的厚度方向上)振动，振动泄漏可能变大。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供抑制振动泄漏且飞沫不易残留的振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体。

本发明正是为了解决上述课题的至少一部分而完成的，可作为以下应用例实现。

本发明的振动元件的频率调整方法的特征在于，具有以下步骤：准备振动元件，该振动元件具有：振动臂；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域；准备具有布线部的基板，将所述振动元件的所述另一个主面侧朝向所述基板侧而将所述振动元件固定于所述基板；以及从所述一个主面侧向所述第1施重部的所述非重叠区域照射能量束，去除所述第1施重部的所述非重叠区域的一部分，调整所述振动臂的谐振频率。

由此，能够提供抑制振动泄漏且使飞沫难以残留的振动元件的频率调整方法。

在本发明的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第1施重部在所述俯视时配置于包含所述振动臂的宽度方向的中央的位置处。

由此，容易向第1施重部照射能量束。

在本发明的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中所准备的所述振动元件中，所述第2施重部在所述俯视时配置于包含夹着所述振动臂的宽度方向的中央的两侧部的位置处。

由此，容易在第1施重部上形成非重叠区域。

在本发明的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述准备的步骤中，所述第1施重部的质量大于所述第2施重部的质量。

由此，容易取得能量束照射后的第1施重部与第2施重部的质量平衡。

在本发明的振动元件的频率调整方法中，优选的是，在所述调整的步骤中，在从所述振动臂的横截面观察时设所述振动臂的厚度为t、由所述第1施重部及所述第2施重部构成的施重部的重心与所述振动臂的重心在所述振动臂的厚度方向上的隔开距离为d的情况下，以满足0≤d≤0.2t的关系的方式去除所述第1施重部的一部分。

由此，能够更加有效地抑制振动泄漏。

本发明的振动元件的特征在于，具有：基部；振动臂，其从基部朝第1方向延伸；第1施重部，其配置于所述振动臂的一个主面；以及第2施重部，其配置于所述振动臂的另一个主面，在从所述主面的法线方向俯视时，所述第1施重部在包含所述振动臂的宽度方向的中央的位置处具有不与所述第2施重部重叠的非重叠区域，在从所述振动臂的横截面观察时设所述振动臂的厚度为t、由所述第1施重部及所述第2施重部构成的施重部的重心与所述振动臂的重心在所述振动臂的厚度方向上的隔开距离为d的情况下，满足0≤d≤0.2t的关系。

由此，成为能够抑制振动泄漏的振动元件。

在本发明的振动元件中，优选的是，所述第1施重部和所述第2施重部是在第2方向上的尺寸比所述基部侧大的扩宽部，并且被设置于与所述基部相反侧的末端区域，所述第2方向是与所述振动臂的所述第1方向正交并与所述主面平行的方向，所述第1施重部的所述第2方向上的长度和所述第2施重部的所述第2方向上的长度中的至少一方为所述扩宽部的所述第2方向的长度的1/2以上。

由此，能够利用施重部提高振动臂的刚性(特别是扭转刚性)。

本发明的振子的特征在于，该振子具有：本发明的振动元件；以及封装，其收纳所述振动元件。

由此，成为能够发挥本发明的振动元件的效果、可靠性高的振子。

本发明的电子设备的特征在于，该电子设备具有本发明的振动元件。

由此，成为能够发挥本发明的振动元件的效果、可靠性高的电子设备。

本发明的移动体的特征在于，该移动体具有本发明的振动元件。

由此，成为能够发挥本发明的振动元件的效果、可靠性高的移动体。

附图说明

图1是本发明第1实施方式的振子的剖视图。

图2是图1所示的振子具有的振动元件的俯视图。

图3是图2中的a-a线剖视图。

图4是图2中的b-b线剖视图。

图5是示出图2所示的振动元件的驱动振动模式的示意图。

图6是示出图2所示的振动元件的检测振动模式的示意图。

图7是示出图2所示的振动元件具有的施重部的俯视图。

图8是示出图2所示的振动元件具有的驱动臂的部分放大俯视图。

图9是图8中的c-c线剖视图。

图10是图1所示的振子具有的支承基板的俯视图。

图11是示出图2所示的振动元件的变形例的俯视图。

图12是示出振动元件的频率调整步骤的流程图。

图13是用于说明振动元件的频率调整方法的俯视图。

图14是用于说明振动元件的频率调整方法的剖视图。

图15是用于说明振动元件的频率调整方法的剖视图。

图16是本发明第2实施方式的振子具有的振动元件的部分放大俯视图。

图17是本发明第3实施方式的振子具有的振动元件的部分放大剖视图。

图18是本发明第4实施方式的振子具有的振动元件的俯视图。

图19是示出图18所示的振动元件具有的施重部的俯视图。

图20是示出本发明第5实施方式的电子设备的立体图。

图21是示出本发明第6实施方式的电子设备的立体图。

图22是示出本发明第7实施方式的电子设备的立体图。

图23是示出本发明第8实施方式的移动体的立体图。

图24是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。

图25是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。

图26是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。

图27是示出施重部的变形例的部分放大俯视图。

标号说明

1：振子；3：封装；31：基座；311：凹部；32：盖；321：槽；331、332：内部端子；333：外部端子；39：接缝环；4：振动元件；40：石英晶片；41：振动体；42、420：基部；431：检测臂；431a：扩宽部；432：检测臂；432a：扩宽部；441、442：连结臂；451：驱动臂；451a：扩宽部；451a”、451a’：缘部；451b、451c：槽；452：驱动臂；452a：扩宽部；452b、452c：槽、453：驱动臂；453a：扩宽部、453b、453c：槽；454：驱动臂；454a：扩宽部；454b、454c：槽；46：施重部；461：第1施重部；461a：非重叠区域；461a’：重叠区域、461b：基部；461c：突出部；461f：基部；461g：突出部；462：第2施重部；462a：第1部位；462b：第2部位；462c：基部；462d：第1延伸部；462e：第2延伸部；462f：基部；462g：突出部；47：施重部；48：电极；481：驱动信号电极；482：驱动接地电极；483：第1检测信号电极；484：第1检测接地电极；485：第2检测信号电极；486：第2检测接地电极；5：支承基板；51：基部；52：引线；58、59：接合部件；6：振动元件；61：振动体；62：基部；631：检测臂；631a：扩宽部；632：检测臂；632a：扩宽部、651：驱动臂；651a：扩宽部；652：驱动臂；652a：扩宽部；68：电极、681：驱动信号电极；682：驱动接地电极；683：第1检测信号电极；684：第2检测信号电极；685：第1检测接地电极；686：第2检测接地电极；1100：个人计算机；1102：键盘；1104：主体部；6：ic芯片；1106：显示单元；1108：显示部；1200：移动电话机；1202：操作按钮；1204：接听口；1206：通话口；1208：显示部；1300：数字静态照相机；1302：外壳；1304：受光单元；1306：快门按钮；1308：存储器；1310：显示部；1500：汽车；1501：车体；1502：车体姿势控制装置；1503：车轮；bw：键合线；d：隔开距离；f：xy面；g1、g2：重心；l：中心线；ll：激光；r：照射痕；s：内部空间；ωz、ωy：角速度。

具体实施方式

以下，根据附图所示的实施方式，详细地说明本发明的振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体。

<第1实施方式>

首先，对本发明第1实施方式的振动元件的频率调整方法、振动元件、振子进行说明。

图1是本发明第1实施方式的振子的剖视图。图2是图1所示的振子具有的振动元件的俯视图。图3是图2中的a-a线剖视图。图4是图2中的b-b线剖视图。图5是示出图2所示的振动元件的驱动振动模式的示意图。图6是示出图2所示的振动元件的检测振动模式的示意图。图7是示出图2所示的振动元件具有的施重部的俯视图。图8是图2所示的振动元件具有的驱动臂的部分放大俯视图。图9是图8中的c-c线剖视图。图10是图1所示的振子具有的支承基板的俯视图。图11是示出图2所示的振动元件的变形例的俯视图。图12是示出振动元件的频率调整步骤的流程图。图13是用于说明振动元件的频率调整方法的俯视图。图14和图15分别是用于说明振动元件的频率调整方法的剖视图。另外，以下为了方便说明，设相互正交的3个轴为x轴、y轴和z轴。

图1所示的振子1是能够检测角速度的角速度传感器器件。由此，成为能够在需要进行姿势检测的各种电子设备中使用的、便利性较高的振子1。这种振子1具有封装3、收纳在封装3内的振动元件4、支承基板5和ic芯片6(电路元件)。由此，可得到能够发挥后述的振动元件4的效果、可靠性较高的振子1。

-封装-

如图1所示，封装3具有：腔室状的基座31，其呈矩形的俯视形状，具有在上表面开口的凹部311；以及板状的盖32，其经由接缝环39与基座31的上表面接合(焊缝)，封闭凹部311的开口。封装3具有通过用盖32堵塞凹部311的开口而形成的内部空间s，在该内部空间s中收纳有振动元件4、支承基板5和ic芯片6。内部空间s被气密地密封，成为减压状态(优选为真空状态)。由此，内部空间s内的粘滞阻力减少，能够有效地驱动振动元件4。但是，内部空间s的环境没有特别限定，可以为大气压状态，也可以为加压状态。

此外，在盖32上形成有槽321，该槽321在未熔融状态下将内部空间s的内外连通。在图中，槽321通过激光等能量束的照射而被熔融，由此，对内部空间s进行了气密密封。槽321在置换内部空间s内的环境时使用，在置换了内部空间s内之后，通过基于激光照射的熔融而被密封。由此，能够容易地使内部空间s成为期望的环境。

另外，作为盖32的结构，没有特别限定，例如，也可以构成为具有在厚度方向上贯穿并连通内部空间s的内外的贯通孔，利用密封材料对该贯通孔进行了密封。

此外，基座31具有面对内部空间s而设置的多个内部端子331和多个内部端子332、及设置于底面的多个外部端子333。各内部端子331经由键合线bw与ic芯片6电连接。此外，在多个内部端子331中具有经由形成在基座31上的未图示的内部布线与内部端子332电连接的内部端子、及与外部端子333电连接的内部端子。此外，各内部端子332经由导电性的接合部件59与支承基板5电连接。另外，作为内部端子331、332和外部端子333的数量及配置，没有特别限定，根据需要适当地设定即可。

作为基座31的结构材料，没有特别限定，能够使用例如氧化铝、二氧化硅、二氧化钛、氧化锆等氧化物陶瓷、氮化硅、氮化铝、氮化钛等氮化物陶瓷等各种陶瓷。此外，作为盖32的构成材料，没有特别限定，为线膨胀系数与底座31的构成材料近似的部件即可。例如，在使底座31的构成材料采用所述陶瓷的情况下，优选的是盖32的构成材料采用金属材料(例如可伐合金等合金)。

-振动元件-

振动元件4是能够检测绕z轴的角速度ωz的角速度传感器元件。如图2所示，这种振动元件4具有振动体41。振动体41由z切石英板形成，在xy平面上扩展，在z轴(光轴)方向上具有厚度，xy平面由作为石英晶轴的x轴(电轴)和y轴(机械轴)规定。

此外，如图2所示，振动体41具有：基部42、从基部42朝y轴方向两侧延伸的检测臂431、432、从基部42朝x轴方向两侧延伸的连结臂441、442、从连结臂441的末端部朝y轴方向两侧延伸的驱动臂451、452、以及从连结臂442的末端部朝y轴方向两侧延伸的驱动臂453、454。

另外，以下，将基部42、连结臂441与驱动臂451、452的连接部、连结臂441的基部42与所述连接部之间的部分、连结臂442与驱动臂453、454的连接部、连结臂442的基部42与所述连接部之间的部分也称为基部420。该基部420主要作为支承驱动臂451、452、453、454的基部发挥功能。

各驱动臂451、452、453、454在末端部具有宽度(x轴方向的长度)比基端侧宽的扩宽部451a、452a、453a、454a(锤头)。此外，各检测臂431、432在末端部具有宽度比基端部宽的扩宽部431a、432a(锤头)。由此，在以相同频率进行比较的情况下，能够缩短驱动臂451、452、453、454和检测臂431、432，能够实现振动元件4的小型化。此外，驱动臂451、452、453、454的长度变短，由此，粘滞阻力减少，振荡特性(q值)提高。但是，作为各驱动臂451、452、453、454和各检测臂431、432的结构，不限于此，例如也可以不具有扩宽部。

此外，如图3所示，驱动臂451具有形成在上表面的槽451b和形成在下表面的槽451c。此外，如图4所示，驱动臂452具有形成在上表面的槽452b和形成在下表面的槽452c。此外，如图3所示，驱动臂453具有形成在上表面的槽453b和形成在下表面的槽453c。此外，如图4所示，驱动臂454具有形成在上表面的槽454b和形成在下表面的槽454c。由此，后述的驱动振动模式中的热弹性损失减少，能够提高振动元件4的q值。另外，不限定于此，例如，各驱动臂451、452、453、454也可以不具有槽。

此外，如图2所示，振动元件4具有电极48，该电极48配置在振动体41上。电极48具有驱动信号电极481、驱动接地电极482、第1检测信号电极483、第1检测接地电极484、第2检测信号电极485和第2检测接地电极486。

驱动信号电极481配置于驱动臂451、452的上表面和下表面、及驱动臂453、454的两侧面。另一方面，驱动接地电极482配置于驱动臂451、452的两侧面、及驱动臂453、454的上表面和下表面。

此外，第1检测信号电极483配置于检测臂431的上表面和下表面，第1检测接地电极484配置于检测臂431的两侧面。另一方面，第2检测信号电极485配置于检测臂432的上表面和下表面，第2检测接地电极486配置于检测臂432的两侧面。此外，这些各电极481、482、483、484、485、486分别引绕于基部42，在基部42处与支承基板5电连接。

另外，作为电极48的结构，没有特别限定，例如能够由金属覆盖膜构成，该金属覆盖膜在cr(铬)、ni(镍)等基底层上层叠au(金)或al(铝)及以au(金)或al(铝)为主要成分的合金而形成。

振动元件4能够如下所述地检测绕作为检测轴的z轴的角速度ωz。首先，当对驱动信号电极481和驱动接地电极482之间施加驱动信号时，驱动臂451、452、453、454以图5所示的驱动振动模式进行振动。当在以驱动振动模式进行驱动的状态下对振动元件4施加绕z轴的角速度ωz时，新激励出图6所示的检测振动模式。在检测振动模式中，对驱动臂451、452、453、454作用科氏力，激励出箭头a所示的方向的振动，检测臂431、432以与该振动呼应的方式，在箭头b所示的方向(x轴方向)上进行弯曲振动。能够利用这种检测振动模式，从第1、第2检测信号电极483、485和第1、第2检测接地电极484、486之间取出在检测臂431、432上产生的电荷作为检测信号，根据该信号检测角速度ωz。

这里，驱动振动模式的频率(驱动臂451、452、453、454的谐振频率)fd、及检测振动模式的频率(检测臂431、432的谐振频率)fs设定为相互不同，将它们的差的绝对值(|fd-fs|)称作“失谐频率δf”。另外，既可以是fd>fs，也可以是fd<fs。

此外，如图7所示，振动元件4具有配置于振动体41的施重部46、47。施重部46设置于各驱动臂451、452、453、454的扩宽部451a、452a、453a、454a，施重部47设置于各检测臂431、432的扩宽部431a、432a。施重部46用于调整驱动臂451、452、453、454的频率，施重部47用于调整检测臂431、432的频率。另外，为了方便说明，在图2中省略了施重部46、47的图示，在图7中省略了电极48的图示。

首先，对施重部46进行说明。施重部46的结构对于各驱动臂451、452、453、454而言是相同的。因此，以下，为了方便说明，代表性地说明设置在驱动臂451上的施重部46，省略关于设置在其他驱动臂452、453、454上的施重部46的说明。

如图8和图9所示，施重部46具有：第1施重部461，其配置于扩宽部451a的一个主面(设z轴方向为法线方向时的正侧的主面)；以及第2施重部462，其配置于扩宽部451a的另一个主面(设z轴方向为法线方向时的负侧的主面)。即，施重部46配置于扩宽部451a的双面。另外，准确地说，第1施重部461配置于扩宽部451a的上表面所配置的电极48上，第2施重部462配置于扩宽部451a的下表面所配置的电极48上。

另外，第1施重部461和第2施重部462的配置也可以相反。即，也可以是，在扩宽部451a的z轴方向负侧的主面上配置第1施重部461，在正侧的主面上配置第2施重部462。

此外，在从z轴方向(扩宽部451a的两主面的法线方向)观察的俯视时，第1施重部461具有不与第2施重部462重叠的非重叠区域461a。在本实施方式中，第1施重部461在其整个区域中不与第2施重部462重叠，该整个区域由非重叠区域461a构成。但是，作为第1施重部461的结构，只要具有非重叠区域461a，则没有特别限定，例如也可以是一部分与第2施重部462重叠。

第1施重部461、第2施重部462中的第1施重部461主要具有调整频率fd的功能。具体而言，如在后述的频率调整方法中所述，对第1施重部461照射激光ll而减少第1施重部461的质量，由此，调整频率fd。

另一方面，第2施重部462主要具有取得与第1施重部461的质量平衡、减少振动元件4的振动泄漏的功能。具体而言，在施重部46仅由第1施重部461构成的情况下，包含施重部46的驱动臂451整体的重心偏向上表面侧(第1施重部461侧)。因此，在驱动振动模式中，驱动臂451向z轴方向振动(无用振动)，这成为振动泄漏的原因。因此，在振动元件4中，在第1施重部461的相反侧设置第2施重部462，减少上述的重心偏移。由此，能够抑制驱动振动模式中的驱动臂451向z轴方向的振动(无用振动)，减少振动泄漏。

第1施重部461位于除扩宽部451a的缘部以外的扩宽部451a的中央部。具体而言，在从z轴方向观察的俯视时，在设通过驱动臂451的宽度方向(x轴方向)的中央并在y轴方向上延伸的假想线为中心线l时，第1施重部461配置成与中心线l重叠。这样，通过将第1施重部461配置于扩宽部451a的中央部，容易向第1施重部461照射激光ll(参照图15)。此外，通过激光ll的照射，去除了第1施重部461的一部分，其结果，即使在中心线l的两侧、第1施重部461的质量产生差异，也能够将由于该差异而产生的驱动臂451的绕中心轴的惯性力矩抑制得较小。因此，能够有效地抑制驱动振动模式中的驱动臂451的y轴扭转振动(无用振动)。但是，作为第1施重部461的配置，没有特别限定，例如，也可以配置于扩宽部451a的缘部。

如上所述，第1施重部461用于照射激光ll而去除其一部分，由此调整频率fd。因此，如图8所示，在第1施重部461上形成有激光ll的照射痕r。但是，在频率fd从最初起位于目标范围内的情况下，无需对第1施重部461照射激光ll，因此，也可以未形成有照射痕r。

另一方面，第2施重部462沿着除扩宽部451a的中央部以外的扩宽部451a的缘部配置。在本实施方式中，第2施重部462沿着扩宽部451a的末端侧的缘部451a’、及x轴方向两侧的缘部451a”配置。通过相对于配置在扩宽部451a的中央部上的第1施重部461、将第2施重部462配置于扩宽部451a的缘部，能够容易地在第1施重部461上形成非重叠区域461a。此外，能够将第2施重部462配置得足够大，能够容易地取得第1施重部461与第2施重部462的质量平衡。但是，作为第2施重部462的配置，没有特别限定，例如也可以配置于扩宽部451a的中央部。

如上所述，第2施重部462是为了取得与第1施重部461的质量平衡、减少振动元件4的振动泄漏而设置。因此，与第1施重部461不同，不向第2施重部462照射激光ll。即，在第2施重部462上未形成有激光ll的照射痕r。这样，由于不向第2施重部462照射激光ll，因此，即使将第2施重部462配置于作为难以照射激光ll的区域的扩宽部451a的缘部，频率fd的调整也不会变得复杂或变得困难。但是，也可以将第2施重部462用于频率fd的调整，在该情况下，向第2施重部462照射激光ll，形成照射痕r。

此外，在设第1施重部461的质量为m1、第2施重部462的质量为m2时，m1、m2满足|m1-m2|<m1的关系，特别在本实施方式中，m1和m2大致相等。而且，如图9所示，在从与驱动臂451的延伸方向垂直的截面观察即横截面观察时，设驱动臂451的厚度(z轴方向的长度)为t、由第1施重部461及第2施重部462构成的施重部46的重心g1与驱动臂451的重心g2在z轴方向上的隔开距离为d时，满足0≤d≤0.2t的关系。另外，在本实施方式中，驱动臂451形成为实质性的上下对称，因此，重心g2与驱动臂451的厚度方向的中心大致一致。

通过满足这种关系，能够使包含施重部46和电极48的驱动臂451整体的重心与xy面f一致、或者位于xy面f的附近，该xy面f与驱动臂451的重心g2相交。因此，能够有效地抑制驱动振动模式中的驱动臂451在z轴方向的振动(无用振动)。其结果，抑制驱动振动模式中的无用振动(x轴方向以外的振动)的产生，能够有效地抑制振动元件4的振动泄漏。

与此相对，在不满足0≤d≤0.2t的关系的情况、即d>0.2t的情况下，包含施重部46的驱动臂451整体的重心与驱动臂451的重心g2隔开较远。因此，包含施重部46的驱动臂451整体的质量平衡在z轴方向上严重破坏，在驱动振动模式中，驱动臂451容易在z轴方向上进行振动。因此，无法充分抑制驱动振动模式中的无用振动(x轴方向以外的振动)，振动元件4的振动泄漏变大。

另外，作为厚度t与隔开距离d的关系，满足0≤d≤0.2t的关系即可，但还优选的是满足0≤d≤0.1t的关系，更优选的是满足0≤d≤0.05t的关系。由此，上述效果变得更加显著。

此外，通过在扩宽部451a的上表面配置第1施重部461、在下表面配置第2施重部462，由于第1施重部461而引起的应力在扩宽部451a的上表面发挥作用，由于第2施重部462而引起的应力在扩宽部451a的下表面发挥作用。因此，能够取得在扩宽部451a的上表面作用的应力与在下表面作用的应力的平衡，能够减少扩宽部451a在z轴方向上的翘曲。由此，也能够有效地抑制驱动振动模式中的驱动臂451在z轴方向上的振动(无用振动)。

在本实施方式中，第1施重部461和第2施重部462分别配置成在被激光照射之前关于中心线l对称。由此，能够使施重部46的质量在中心线l的两侧大致相等。因此，能够使驱动臂451平衡良好地在x轴方向上振动。但是，不限定于此，第1施重部461和第2施重部462也可以分别配置成在俯视时关于中心线l不对称。但是，在该情况下，优选的是，在观察整个施重部46时，质量在中心线l的两侧大致相等。

此外，如图8所示，第1施重部461的宽度w1(x轴方向的长度)和第2施重部462的宽度w2(x轴方向的长度)分别优选是扩宽部451a的宽度w(x轴方向的长度)的1/2以上，更优选是1/2以上、9/10以下。由此，能够利用施重部46提高扩宽部451a的刚性(特别是扭转刚性)。此外，能够取得由于第1施重部461而施加到扩宽部451a的上表面的应力与由于第2施重部462而施加到扩宽部451a的下表面的应力的平衡，能够更有效地抑制扩宽部451a的翘曲。另外，宽度w1例如表示第1施重部461的x轴方向的两端部的最大隔开距离，宽度w2例如表示第2施重部462的x轴方向的两端部的最大隔开距离。

接着，对施重部47进行说明。施重部47主要是为了调整检测振动模式的频率fs而设置。向施重部47照射激光ll，去除施重部47的一部分，减少检测臂431、432的质量，由此，能够调整频率fs。

如图7所示，施重部47配置于扩宽部431a、432a的一个主面(z轴方向正侧的主面)。即，施重部47未如施重部46那样配置于扩宽部431a、432a的双面。这是因为，检测臂431、432在驱动振动模式中实质上不进行振动，因此，即使在由于施重部47使检测臂431、432的质量平衡在z轴方向上破坏，也不会影响振动泄漏。因此，施重部47仅配置于扩宽部431a、432a的一个主面，由此，与配置于双面的情况相比，施重部47的配置变得简单。但是，不限定于此，施重部47也可以配置于z轴方向负侧的主面，也可以与施重部46相同地配置于扩宽部431a、432a的双面。

作为施重部46、47的结构材料，没有特别限定，例如能够使用au(金)、及以au(金)为主要成分的合金。此外，作为第1施重部461、第2施重部462和施重部47的厚度，优选远远厚于电极48的厚度，例如能够设为0.5μm以上10μm以下。由此，通过激光ll的一次照射而去除的施重部46、47的质量变得适量，能够有效且容易地进行频率fd、fs的调整。

另外，第1施重部461的厚度和第2施重部462的厚度优选大致相等。由此，仅考虑面积，就能够取得第1施重部461与第2施重部462的质量平衡。因此，振动元件4的设计和制造变得更加容易。但是，施重部46(第1施重部461、第2施重部462)和施重部47的厚度分别可以在其形成区域的整个区域中均匀，也可以具有厚度不同的部位。

以上说明了振动元件4。如上所述，这种振动元件4具有：基部420；作为振动臂的驱动臂451，其从基部420朝y轴方向(第1方向)延伸；第1施重部461，其配置于驱动臂451的一个主面(上表面)；以及第2施重部462，其配置于驱动臂451的另一个主面。此外，在从所述主面的法线方向俯视时，第1施重部461在包含驱动臂451的宽度方向的中央的位置处具有不与第2施重部462重叠的非重叠区域461a。此外，在从驱动臂451的横截面观察时，设驱动臂451的厚度为t、由第1施重部461和第2施重部462构成的施重部46的重心g1与驱动臂451的重心g2在振动臂451的厚度方向上的隔开距离为d时，满足0≤d≤0.2t的关系。由此，如上所述，可抑制驱动振动模式中的无用振动(x轴方向以外的振动)的产生，能够有效地抑制振动元件4的振动泄漏。

此外，如上所述，在振动元件4中，第1施重部461和第2施重部462分别设置于驱动臂451的宽度方向(作为与第1方向正交并与所述主面平行的方向的第2方向。即x轴方向)的大小大于基部侧的扩宽部451a的、与基部420相反侧的末端区域。而且，第1施重部461的x轴方向的长度和第2施重部462的x轴方向的长度分别为扩宽部451a的x轴方向的长度的1/2以上。由此，能够利用施重部46提高扩宽部451a的刚性(特别是扭转刚性)。此外，能够减少由于第1施重部461而施加到扩宽部451a的上表面的应力与由于第2施重部462而施加到扩宽部451a的下表面的应力之差，能够更有效地抑制扩宽部451a的翘曲。另外，不限定于此，例如，第1施重部461的x轴方向的长度和第2施重部462的x轴方向的长度中的至少一方可以为扩宽部451a的x轴方向的长度的1/2以上。

-支承基板-

支承基板5(基板)是公知的tab(tapeautomatedbonding)安装用的基板。如图10所示，这种支承基板5具有框状的基部51、以及设置在基部51上的多根(在本实施方式中为6根)引线52(布线部)。基部51通过导电性的接合部件59固定在基座31上，并且，经由该接合部件59对各引线52与内部端子332进行电连接。此外，利用导电性的接合部件58将振动元件4的基部42固定在各引线52的末端部，对引线52和各电极481～486进行电连接。因此，振动元件4经由支承基板5支承在基座31上，并与ic芯片6电连接。

-ic芯片-

如图1所示，ic芯片6(电路元件)固定于凹部311的底面。ic芯片6例如包含与外部的主器件进行通信的接口部、以及驱动振动元件4并检测施加到振动元件4的角速度ωz的驱动/检测电路。

以上，对振子1进行了说明，但作为振子1，没有特别限定，例如，也可以省略支承基板5，将振动元件4固定于基座31或ic芯片6。另外，在将振动元件4固定于基座31的情况下，基座31相当于本发明的“基板”，在将振动元件4固定于ic芯片6的情况下，ic芯片6相当于本发明的“基板”。

此外，在本实施方式中，使用角速度传感器元件作为振动元件4，使用振子1作为角速度传感器器件，但不限于此。例如，也可以使用加速度传感器元件作为振动元件4，使用振子1作为加速度传感器器件，还可以使用振荡元件作为振动元件4，使用振子1作为振荡器。

此外，作为振动元件4的结构，也没有特别限定。例如，如图11所示，也可以是，各扩宽部431a、432a、451a、452a、453a、454a的角部进行了倒角。另外，在图11中，为了方便说明，省略了电极48和施重部46、47的图示。

此外，例如，可以省略驱动臂451、452、453、454中的1根至3根，也可以具有其他驱动臂。同样，可以省略检测臂431、432中的一方，也可以具有其他检测臂。此外，作为振动元件4的检测轴，不限定于z轴，例如也可以为x轴，还可以为y轴。此外，也可以具有x轴、y轴和z轴中的多个检测轴。

接着，对振动元件4的频率调整方法(振子1的制造方法)进行说明。如图12所示，振动元件4的频率调整方法包含：准备步骤，准备振动元件4；第1频率调整步骤，在石英晶片40上调整振动元件4的频率；安装步骤，将振动元件4安装到封装3上；第2频率调整步骤，调整振动元件4的频率；以及密封步骤，对封装3进行密封。

[准备步骤]

首先，如图13所示，通过准备石英晶片40，使用光刻法和蚀刻法对石英晶片40进行构图，在石英晶片40上形成多个振动体41。接着，通过溅射等，在振动体41的表面上形成电极48。并且，通过溅射等，在各扩宽部451a、452a、453a、454a上形成施重部46(第1施重部461和第2施重部462)，并且在扩宽部431a、432a上形成施重部47。

这里，在本步骤中，以使第1施重部461的质量大于第2施重部462的质量的方式形成施重部46。如上所述，第1施重部461、第2施重部462中的、仅第1施重部461的一部分之后通过激光ll的照射而被去除。因此，考虑到这一点，通过使第1施重部461的质量大于第2施重部462的质量，能够缩小照射激光ll之后的第1施重部461的质量与第2施重部462的质量之差。其结果，可更有效地抑制驱动振动模式中的无用振动，能够抑制振动元件4的振动泄漏。另外，第1施重部461的质量与第2施重部462的质量之差没有特别限定，优选与通过激光ll的照射而从第1施重部461去除的质量大致相等。通过激光ll的照射而从第1施重部461去除的质量例如能够根据实验、仿真等预先进行计算。

此外，在本步骤所准备的振动元件4中，配置于驱动臂451的第1施重部461配置在扩宽部451a的中央部(参照图8)。即，第1施重部461配置于包含驱动臂451的中心线l的位置处。由此，容易向第1施重部461照射激光ll。关于配置于驱动臂452、453、454的第1施重部461，也同样如此。

此外，在本步骤所准备的振动元件4中，配置于驱动臂451的第2施重部462避开扩宽部451a的中央部，沿着末端侧的缘部451a’和x轴方向两侧的缘部451a”配置(参照图8)。即，第2施重部462配置于包含夹着驱动臂451的宽度方向的中央的两侧部的位置处。由此，能够容易地在第1施重部461上设置非重叠区域461a。此外，能够将第2施重部462配置得足够大，能够容易地取得第1施重部461与第2施重部462的质量平衡。

[第1频率调整步骤]

接着，在石英晶片40上对振动元件4的频率fd、fs进行粗调。具体而言，根据需要，对设置于驱动臂451、452、453、454的第1施重部461照射激光ll(能量束)，去除第1施重部461的一部分来减少质量，由此，调整驱动振动模式的频率fd(例如，以使频率的偏差成为500ppm左右的方式进行粗调)。同样，根据需要，对设置于检测臂431、432的施重部47照射激光ll，去除施重部47的一部分来减少质量，由此，调整检测振动模式的频率fs。另外，作为激光ll，没有特别限定，例如，能够使用yag、yvo4、准分子激光等脉冲状激光、二氧化碳气体激光等连续振荡激光。此外，作为能量束，不限于激光ll，例如也可以使用电子束。

这样，通过在石英晶片40上、即、在将振动元件4与封装3接合之前调整频率fd、fs，能够抑制由于在调整时挥发的施重部46、47附着于封装3而产生的不良影响。另外，在本实施方式中，去除设置于驱动臂451、452、453、454的第1施重部461的一部分而调整了频率fd，但不限定于此，也可以去除第2施重部462的一部分来调整频率fd，还可以去除第1施重部461、第2施重部462的一部分来调整频率fd。

[安装步骤]

接着，如图14所示，将振动元件4从石英晶片40切掉，经由支承基板5与基座31接合。另外，此时，以使第1施重部461朝向盖32侧、第2施重部462朝向基座31的底面侧的方式配置振动元件4。这样，在将振动元件4收纳到封装3中时，振动元件4的驱动振动模式的频率fd由于应力等环境变化而发生变化。

[第2频率调整步骤]

如上所述，在安装步骤中，频率fd发生变化，因此，在本步骤中，通过再次使用激光ll来去除第1施重部461的一部分，调整频率fd。

具体而言，如图15所示，对驱动臂451、452、453、454的第1施重部461(非重叠区域461a)照射激光ll，使频率fd与目标值一致。在本步骤中，不对第2施重部462照射激光ll，第2施重部462的一部分不会被激光ll去除。因此，能够发挥如下的效果。

在大气压下，在装置内进行该激光ll的照射，该装置在基座31的开口附近具有排气口，第1施重部461配置于振动元件4的上表面(盖32侧的面)，因此，通过激光照射而挥发的飞沫(渣滓)容易经由基座31的开口，借助朝向排气口的气流排出到封装3外。与此相对，第2施重部462配置于振动元件4的下表面，因此，与第1施重部461的飞沫相比，通过激光照射而挥发的飞沫(渣滓)难以排出到封装3外。因此，通过仅对第1施重部461进行激光照射，第1施重部461的飞沫难以残留在封装3内。

当残留在封装3内的施重部46的飞沫附着于支承基板5或基座31时，例如，产生引线52之间的短路或内部端子331之间的短路，或者形成不期望的寄生电容，从而使振子1的电特性恶化。特别是，配置有第2施重部462的振动元件4的下表面与支承基板5以及基座31的底面相对，因此，从第2施重部462挥发的飞沫容易附着于支承基板5或基座31，产生上述问题的可能性变高。此外，一旦附着于支承基板5或基座31的飞沫由于冲击等而脱离并再次附着于振动元件4，可能产生电极之间的短路，或振动特性由于质量的变化而恶化。

这样，通过仅对第1施重部461照射激光ll，不对第2施重部462照射激光ll，施重部46的飞沫难以残留在封装3内，能够有效地抑制振子1的电特性和振动元件4的振动特性的恶化(包含随着时间的变化)。

另外，贯穿第1施重部461的激光ll照射到配置在扩宽部451a的下表面的电极48，电极48可能挥发。但是，与第2施重部462相比，电极48形成得足够薄，因此，挥发的量极少。因此，即使配置在扩宽部451a的下表面上的电极的一部分挥发，也不会实质上产生由于第2施重部462挥发而引起的上述问题。此外，该激光ll的照射也可以在真空装置内的真空下进行，而不是在大气压下进行。

在本步骤的结束时，在设驱动臂451的厚度(z轴方向的长度)为t、由第1施重部461及第2施重部462构成的施重部46的重心g1与驱动臂451的重心g2在z轴方向上的隔开距离为d时，满足0≤d≤0.2t的关系。关于驱动臂452、453、454也同样如此。由此，如上所述，能够有效地抑制驱动振动模式中的驱动臂451在z轴方向的振动(无用振动)。其结果，可抑制驱动振动模式中的无用振动(x轴方向以外的振动)的产生，能够有效地抑制振动元件4的振动泄漏。

[密封步骤]

接着，通过经由接缝环39在基座31的上表面上对盖32进行缝焊，将盖32与基座31接合。接着，经由盖32的槽321使封装3内成为减压状态，对槽321照射激光，使槽321熔融，由此，堵塞槽321。由此，将内部空间s气密地密封，得到振子1。

以上，对振动元件4的频率调整方法进行了说明。如上所述，这种振动元件4的频率调整方法具有如下步骤：准备振动元件4的步骤(准备步骤)，该振动元件4具有驱动臂451、452、453、454(振动臂)；第1施重部461，其配置于驱动臂451、452、453、454的上表面(一个主面)；以及第2施重部462，其配置于驱动臂451、452、453、454的下表面(另一个主面)，在从主面的法线方向俯视时，第1施重部461具有不与第2施重部462重叠的非重叠区域461a；准备具有引线52(布线部)的支承基板5(基板)、使振动元件4的下表面侧朝向支承基板5侧并将振动元件4固定于支承基板5的步骤(安装步骤)；以及从上表面侧对第1施重部461的非重叠区域461a照射激光ll(能量束)、去除第1施重部461的非重叠区域461a的一部分、调整驱动臂451、452、453、454的谐振频率的步骤(第2频率调整步骤)。由此，如上所述，施重部46的飞沫难以附着于支承基板5，能够有效地抑制振子1的电特性和振动元件4的振动特性的恶化(包含随着时间的变化)。

此外，如上所述，在准备步骤所准备的振动元件4中，第1施重部461在俯视时配置于包含驱动臂451、452、453、454的宽度方向的中央的位置处。由此，在各驱动臂451、452、453、454处，容易对第1施重部461照射激光ll。

此外，如上所述，在准备步骤所准备的振动元件4中，第2施重部462在俯视时配置于包含夹着驱动臂451、452、453、454的宽度方向的中央的两侧部的位置处。由此，能够容易地在第1施重部461上设置非重叠区域461a。此外，能够将第2施重部462配置得足够大，能够容易地取得第1施重部461与第2施重部462的质量平衡。

此外，如上所述，在准备步骤中，第1施重部461的质量大于第2施重部462的质量。由此，能够缩小第2频率调整步骤之后的第1施重部461的质量与第2施重部462的质量之差。其结果，更有效地抑制驱动振动模式中的无用振动，能够抑制振动元件4的振动泄漏。

此外，如上所述，在第2频率调整步骤中，在从驱动臂451、452、453、454的横截面观察时，设驱动臂451、452、453、454的厚度为t、由第1施重部461及第2施重部462构成的施重部46的重心g1与驱动臂451、452、453、454的重心g2在振动臂451、452、453、454的厚度方向上的隔开距离为d时，以满足0≤d≤0.2t的关系的方式去除了第1施重部461的一部分。由此，如上所述，能够有效地抑制驱动振动模式中的驱动臂451、452、453、454在z轴方向的振动(无用振动)。其结果，可抑制驱动振动模式中的无用振动(x轴方向以外的振动)的产生，能够有效地抑制振动元件4的振动泄漏。

另外，振动元件4的频率调整方法没有特别限定，例如，可以省略第1频率调整步骤、密封步骤。

<第2实施方式>

接着，对本发明第2实施方式的振子进行说明。

图16是本发明第2实施方式的振子具有的振动元件的部分放大俯视图。

在本实施方式的振子1中，主要是振动元件4具有的施重部46的结构不同，除此以外，与上述第1实施方式的振子1相同。

另外，在以下的说明中，关于第2实施方式的振子1，以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明，关于相同事项省略其说明。此外，在图16中，对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。

如图16所示，在本实施方式的振动元件4中，第1施重部461在从z轴方向观察的俯视时，具有不与第2施重部462重叠的非重叠区域461a、及与第2施重部462重叠的重叠区域461a’。另外，在图16中，为了方便说明，仅示出了驱动臂451，但关于其他驱动臂452、453、454，也同样如此。

由此，例如，在第1频率调整步骤中，通过对重叠区域461a’照射激光ll，将第2施重部462的一部分与第1施重部461的一部分一起去除，能够通过激光ll的一次照射，较大程度减少驱动臂451的质量。因此，能够有效地调整频率fd。此外，例如，通过对重叠区域461a’照射激光ll，进行频率fd的粗调，通过对非重叠区域461a照射激光ll，还能够进行频率fd的微调。

另外，在第2频率调整步骤中，与上述第1实施方式同样，对第1施重部461的非重叠区域461a照射激光ll即可。

通过这种第2实施方式，也能够发挥与上述第1实施方式同样的效果。

<第3实施方式>

接着，对本发明第3实施方式的振子进行说明。

图17是本发明第3实施方式的振子具有的振动元件的部分放大剖视图。

在本实施方式的振子1中，主要是振动元件4具有的电极48的结构不同，除此以外，与上述第1实施方式的振子1相同。

另外，在以下的说明中，关于第3实施方式的振子1，以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明，关于相同事项，省略其说明。此外，在图17中，对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。

如图17所示，在本实施方式的振动元件4中，在扩宽部451a的下表面且从z轴方向观察的俯视时与第1施重部461重叠的区域，未配置有电极48(驱动接地电极482。但是，在驱动臂453、454中为驱动信号电极481)。另外，在图17中，为了方便说明，仅示出了驱动臂451，但关于其他驱动臂452、453、454，也同样如此。

由此，在第2频率调整步骤中，对配置于扩宽部451a、452a、453a、454a的下表面的电极48照射激光ll，能够抑制该电极48挥发的情况。因此，与上述第1实施方式相比，飞沫更加难以残留在封装3内。

通过这种第3实施方式，也能够发挥与上述第1实施方式同样的效果。

<第4实施方式>

接着，对本发明第4实施方式的振子进行说明。

图18是本发明第4实施方式的振子具有的振动元件的俯视图。图19是示出图18所示的振动元件具有的施重部的俯视图。

在本实施方式的振子1中，主要是振动元件6的结构不同，除此以外，与上述第1实施方式的振子1相同。

另外，在以下的说明中，关于第4实施方式的振子1，以与上述实施方式的不同之处为中心进行说明，关于相同事项，省略其说明。此外，在图18和图19中，对与上述实施方式相同的结构标注相同标号。

振动元件6是能够检测绕y轴的角速度ωy的角速度传感器元件。如图18所示，这种振动元件6具有振动体61、及配置于振动体61的电极68。

振动体61由z切石英板形成，在xy平面上扩展，在z轴(光轴)方向上具有厚度，xy平面由作为石英晶轴的x轴(电轴)和y轴(机械轴)规定。此外，振动体61具有基部62、从基部62朝y轴方向负侧延伸的检测臂631、632、以及从基部62朝y轴方向正侧延伸的驱动臂651、652。驱动臂651、652是用于使振动元件6进行振动驱动的振动臂，检测臂631、632是借助由于施加角速度ωy而产生的科氏力进行振动、取得基于科氏力的信号的振动臂。

此外，电极68具有驱动信号电极681、驱动接地电极682、第1检测信号电极683、第2检测信号电极684、第1检测接地电极685和第2检测接地电极686。

驱动信号电极681配置于驱动臂651的上下面和驱动臂652的两侧面，驱动接地电极682配置于驱动臂651的两侧面和驱动臂652的上下面。另一方面，第1检测信号电极683配置于检测臂631的上表面的x轴方向负侧和下表面的x轴方向正侧，第1检测接地电极685配置于检测臂631的上表面的x轴方向正侧和下表面的x轴方向负侧。此外，第2检测信号电极684配置于检测臂632的上表面的x轴方向负侧和下表面的x轴方向正侧，第2检测接地电极686配置于检测臂632的上表面的x轴方向正侧和下表面的x轴方向负侧。

这种振动元件6如以下这样检测角速度ωy。当对驱动信号电极681和驱动接地电极682之间施加驱动信号(驱动电压)时，驱动臂651、652在x轴方向上反相地进行弯曲振动。在该状态下，驱动臂651、652的振动彼此抵消，因此，检测臂631、632实质上不振动。当在该状态下施加了绕y轴的角速度ωy时，科氏力作用于驱动臂651、652，从而激励出z轴方向的弯曲振动，检测臂631、632以与该弯曲振动呼应的方式，在z轴方向上进行弯曲振动。能够从第1检测信号电极683取出由于这种弯曲振动而在检测臂631中产生的电荷作为第1检测信号，从第2检测信号电极684取出在检测臂632中产生的电荷作为第2检测信号，根据这些第1检测信号、第2检测信号来检测角速度ωy。

此外，如图19所示，振动元件6具有配置于振动体61的施重部46、47。施重部46设置于各驱动臂651、652的扩宽部651a、652a，施重部47设置于各检测臂631、632的扩宽部631a、632a。

通过这种第4实施方式，也能够发挥与上述第1实施方式同样的效果。

<第5实施方式>

接着，对本发明第5实施方式的电子设备进行说明。

图20是示出本发明第5实施方式的电子设备的立体图。

图20所示的移动型(或者笔记本型)的个人计算机1100应用了具有本发明的振动元件的电子设备。在该图中，个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104以及具有显示部1108的显示单元1106构成，显示单元1106通过铰链构造部以能够转动的方式支承在主体部1104上。在这种个人计算机1100中内置有作为角速度传感器发挥功能的振动元件4。这里，作为振动元件4，例如能够使用上述实施方式中的任意一个。

这种个人计算机1100(电子设备)具有振动元件4。因此，能够发挥上述振动元件4的效果，能够发挥较高的可靠性。另外，振动元件4可以作为例如上述实施方式的振子1内置在个人计算机1100中。

<第6实施方式>

接着，对本发明第6实施方式的电子设备进行说明。

图21是示出本发明第6实施方式的电子设备的立体图。

图21所示的移动电话机1200(还包含phs)应用了具有本发明的振动元件的电子设备。在该图中，移动电话机1200具有天线(未图示)、多个操作按钮1202、接听口1204和通话口1206，在操作按钮1202与接听口1204之间配置有显示部1208。在这种移动电话机1200中内置有作为角速度传感器发挥功能的振动元件4。这里，作为振动元件4，例如能够使用上述实施方式中的任意一个。

这种移动电话机1200(电子设备)具有振动元件4。因此，能够发挥上述振动元件4的效果，能够发挥较高的可靠性。另外，振动元件4可以作为例如上述实施方式的振子1内置在移动电话机1200中。

<第7实施方式>

接着，对本发明第7实施方式的电子设备进行说明。

图22是示出本发明第7实施方式的电子设备的立体图。

图22所示的数字静态照相机1300应用了具有本发明的振动元件的电子设备。在该图中，在外壳(机身)1302的背面设置有显示部1310，构成为根据ccd的摄像信号进行显示，显示部1310作为取景器发挥功能，将被摄体显示为电子图像。

并且，在外壳1302的正面侧(图中背面侧)设置有包含光学镜头(摄像光学系统)、ccd等的受光单元1304。而且，当摄影者确认在显示部1310中显示的被摄体像并按下快门按钮1306时，将该时刻的ccd的摄像信号传输到存储器1308内并进行存储。在这种数字静态照相机1300中内置有作为角速度传感器发挥功能的振动元件4。这里，作为振动元件4，例如能够使用上述实施方式中的任意一个。

这种数字静态照相机1300(电子设备)具有振动元件4。因此，能够发挥上述振动元件4的效果，能够发挥较高的可靠性。另外，振动元件4可以作为例如上述实施方式的振子1内置在数字静态照相机1300中。

另外，本发明的电子设备除了上述实施方式的个人计算机和移动电话机、本实施方式的数字静态照相机以外，例如还能够应用于智能手机、平板终端、钟表(包括智能手表)、喷墨式排出装置(例如喷墨打印机)、膝上型个人计算机、电视机、hmd(头戴式显示器)等可佩戴终端、摄像机、录像机、车载导航装置、寻呼机、电子记事本(也包含通信功能)、电子辞典、计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、视频电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、pos终端、医疗设备(例如电子体温计、血压计、血糖计、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测器、各种测量设备、移动终端基站用设备、计量仪器类(例如车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器、网络服务器等。

<第8实施方式>

接着，对本发明第8实施方式的移动体进行说明。

图23是示出本发明第8实施方式的移动体的立体图。

图23所示的汽车1500是应用了具有本发明的振动元件的移动体的汽车。在该图中，在汽车1500中内置有作为角速度传感器发挥功能的振动元件4，能够利用振动元件4检测车体1501的姿势。振动元件4的检测信号提供给车体姿势控制装置1502，车体姿势控制装置1502能够根据该信号检测车体1501的姿势，与检测结果对应地控制悬挂的软硬，或者控制各个车轮1503的制动。这里，作为振动元件4，例如能够使用上述实施方式中的任意一个。

这种汽车1500(移动体)具有振动元件4。因此，能够发挥上述振动元件4的效果，能够发挥较高的可靠性。另外，振动元件4可以作为例如上述实施方式的振子1内置在汽车1500中。

另外，除此以外，振动元件4还可以广泛应用于汽车导航系统、汽车空调、防抱死制动系统(abs)、安全气囊、轮胎压力监测系统(tpms：tirepressuremonitoringsystem)、发动机控制器、混合动力汽车及电动汽车的电池监视器等电子控制单元(ecu：electroniccontrolunit)。

此外，作为移动体，不限定于汽车1500，例如还能够应用于飞机、火箭、人造卫星、船舶、agv(无人搬送车)、双足歩行机器人、无人机等无人飞行器等。

以上，根据图示的实施方式对本发明的振动元件的频率调整方法、振动元件、振子、电子设备和移动体进行了说明，但是，本发明不限于此，各个部分的结构可置换为具有相同功能的任意结构。此外，可以在本发明中附加其他任意的结构物。并且，本发明也可以组合上述各实施方式中的任意2个以上的结构(特征)。

此外，施重部46的结构没有特别限定，除上述第1实施方式和第3实施方式以外，也可以为例如图24至图27所示的结构。另外，在图24至图27中，为了方便说明，示出了驱动臂451，但关于其他驱动臂452、453、454，也同样如此。

在图24所示的施重部46中，第1施重部461设置于扩宽部451a的末端侧，第2施重部462设置于比第1施重部461更靠扩宽部451a的基端侧的位置。此外，第1施重部461和第2施重部462分别配置成避开扩宽部451a的外缘。这样，通过以避开扩宽部451a的外缘的方式配置第1施重部461、第2施重部462，即使由于制造时的掩模偏移等而使第1施重部461、第2施重部462的位置在xy面内方向上偏移，也能够抑制第1施重部461、第2施重部462的形状(大小)偏移。因此，容易配置具有期望质量的第1施重部461、第2施重部462。

在图25所示的施重部46中，第1施重部461为朝扩宽部451a的末端侧凸出的凸形状。具体而言，第1施重部461具有：基部461b；以及突出部461c，其宽度(x轴方向的长度)小于基部461b，从基部461b向末端侧突出。另一方面，第2施重部462具有：第1部位462a，其位于比基部461b更靠扩宽部451a的基端侧的位置；以及一对第2部位462b，它们位于突出部461c的x轴方向两侧。在这种结构的施重部46中，扩宽部451a的末端侧的质量(突出部461c和一对第2部位462b的总质量)小于基端侧的质量(基部461b和第1部位462a的总质量)。越是驱动臂451的末端侧，则频率相对于质量的变化越大，因此，如图25的结构那样，当减轻驱动臂451的末端侧的质量时，频率变化的效果由于施重部46在y轴方向上偏离而发生变动，能够将频率变化量的影响抑制得较小。此外，假设在驱动臂451中施重部46向y轴方向正侧偏离时，在驱动臂452中也是施重部46向y轴方向正侧偏离。因此，驱动臂451、452产生质量不平衡，在驱动振动模式中，产生y轴方向的振动(无用振动)，但通过采用图25的结构，能够将驱动臂451、452的质量不平衡抑制得较小。因此，能够有效地抑制驱动振动模式中的y轴方向的振动(无用振动)。

在图26所示的施重部46中，第1施重部461为朝扩宽部451a的末端侧凸出的凸形状。具体而言，第1施重部461具有：基部461f；以及突出部461g，其宽度(x轴方向的长度)小于基部461f，从基部461f向末端侧突出。同样，第2施重部462成为朝扩宽部451a的末端侧凸出的凸形状。具体而言，第2施重部462具有：基部462f；以及突出部462g，其宽度(x轴方向的长度)小于基部462f，从基部462f向末端侧突出。此外，第1施重部461位于中心线l的x轴方向负侧，第2施重部462位于中心线l的x轴方向正侧。并且，第1施重部461、第2施重部462配置成关于中心线l对称。根据这种结构，例如，能够发挥与图25的结构相同的效果。

在图27所示的施重部46中，第1施重部461为朝扩宽部451a的末端侧凸出的凸形状。具体而言，第1施重部461具有：基部461b；以及突出部461c，其宽度(x轴方向的长度)小于基部461b，从基部461b向末端侧突出。另一方面，第2施重部462配置成在俯视时包围第1施重部461。具体而言，第2施重部462具有：基部462c，其位于比第1施重部461更靠基端侧的位置，在x轴方向上延伸；第1延伸部462d，其从基部462c的一端部起沿着扩宽部451a的外缘向末端侧延伸；以及第2延伸部462e，其从基部462c的另一端部起沿着扩宽部451a的外缘向末端侧延伸，第1延伸部462d和第2延伸部462e夹着第1施重部461。根据这种结构，例如，能够发挥与图25的结构相同的效果。