密封的钛窗结构的制作方法

本实用新型涉及电子加速器辐照领域中的钛窗，尤其是涉及一种密封的钛窗结构。

背景技术：

电子加速器是一种通过高电压加速电子束，并把电子束引出轰击到辐照产品上，以达到辐照改性的目的。通过加热电子加速器电子枪灯丝并引出电子束，灯丝需加热至2000℃左右的高温，因此灯丝加热的过程中必须是在高真空的场合下进行，才能避免氧化烧断；电子束在加速的过程中为了避免由空气引起的衰减，其环境也必须是高真空的场合。而钛箔就是用于隔断真空和空气的一种由钛材料制成的薄膜。

低能电子加速器采用的钛箔厚度只有0.007mm～0.01mm，因此需要安装格栅法兰用于支撑钛箔，常规的格栅法兰的安装方式为先把钛箔安装在格栅法兰上同时采用橡胶O型圈密封，然后格栅法兰安装在扫描盒底部并采用橡胶O型圈密封。由于格栅法兰裸露在下方环境容易被腐蚀，同时，还存在橡胶密封产生真空差，橡胶容易老化等问题，降低其使用寿命。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种密封的钛窗结构，它能够避免格栅法兰保留在下方环境空气中造成的腐蚀问题，并且避免传统橡胶密封产生的真空差以及橡胶容易老化等问题。

本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案是：一种密封的钛窗结构，包括钛窗以及用于将钛窗安装于扫描盒底部的固定板，在所述的钛窗与扫描盒下表面接触的部位设置密封装置，所述的密封装置包括密封金属丝以及用于定位密封金属丝的固定柱组件，所述的固定柱组件设置在扫描盒底部并能够在扫描盒的轴向方向上下浮动。

进一步具体的，所述的固定柱组件包括弹簧、定位柱以及依次穿过定位柱和弹簧并固定于扫描盒底部的螺丝；所的弹簧一端抵在扫描盒底部，另一端抵在定位柱上。

进一步具体的，在所述的扫描盒底部开设有凹槽，所述的固定柱组件设置在凹槽内，所述的固定柱组件凸出于扫描盒的下表面。

进一步具体的，在所述的钛窗内部设置用于冷却的冷却水道，在所述的钛窗上设置进水口以及出水口，在所述扫描盒上设置用于引出进水口以及出水口的水道引出组件。

进一步具体的，所述的水道引出组件包括开设在扫描盒底部并置于进水口或者出水口上方的贯穿孔、穿过贯穿孔连接于进水口或者出水口的水管、用于压紧水管的压紧法兰以及位于压紧法兰下方的密封圈。

进一步具体的，所述的钛窗包括固定于扫描盒底部的格栅法兰、位于格栅法兰上的钛箔密封窗以及位于格栅法兰与钛箔密封窗之间的钛箔，所述的钛箔密封窗通过固定板固定于格栅法兰上。

进一步具体的，所述的钛箔密封窗大于格栅法兰，所述的密封金属丝设置于钛箔密封窗与扫描盒下表面之间。

进一步具体的，所述的格栅法兰内部设有用于降温的冷却水道。

进一步具体的，所述的密封金属丝采用直径的铝/银材质制成。

进一步具体的，所述的贯穿孔靠近格栅法兰的位置形成倒锥形的空间，所述的密封圈位于倒锥形的空间内。

本实用新型的有益效果是：采用上述结构之后，通过密封金属丝进行密封不受电子加速器开机时的辐射以及臭氧腐蚀的影响，也不会产生老化问题；同时，能够防止格栅法兰暴露下方工作环境中产生的腐蚀问题，提高其使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型固定柱组件的结构示意图。

图中：1、扫描盒；2、固定板；3、密封金属丝；4、固定柱组件你；5、凹槽；6、冷却水道；7、水管；8、压紧法兰；9、密封圈；10、格栅法兰；11、钛窗密封窗；12、钛箔；41、弹簧；42、固定柱；43、螺丝。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进行详细的描述。

如图1与图2所示一种密封的钛窗结构，包括钛窗以及用于将钛窗安装于扫描盒1底部的固定板2，在所述的钛窗与扫描盒1下表面接触的部位设置密封装置，所述的密封装置包括密封金属丝3以及用于定位密封金属丝3的固定柱组件4，所述的固定柱组件4设置在扫描盒1底部并能够在扫描盒1的轴向方向上下浮动；密封金属丝3采用直径的铝/银材质制成。

钛窗包括固定于扫描盒1底部的格栅法兰10、位于格栅法兰10上的钛箔密封窗11以及位于格栅法兰10与钛箔密封窗11之间的钛箔12，所述的钛箔密封窗11通过固定板2固定于格栅法兰10上；所述的钛箔密封窗11大于格栅法兰10，所述的密封金属丝3设置于钛箔密封窗11与扫描盒1下表面之间。

首先，将格栅法兰10通过四个螺栓固定在扫描盒1底部，将密封金属丝3按照4个固定柱组件4的位置围绕起来，在格栅法兰10以及密封金属丝3上放上钛箔12，之后在钛箔12上安装钛箔密封窗11，钛箔密封窗11通过固定板2与螺栓组合固定在扫描盒1底部实现安装。而固定板2的横截面呈L型，由于有可浮动的固定柱组件4的作用，当固定板2与螺栓组合未旋紧时，固定板2与扫描盒1的下表面有间隙，当固定板2与螺栓组合旋紧后，固定板2带动钛箔密封窗11、钛箔12向上运动，钛箔12推动固定柱组件4向上运动，同时压紧密封金属丝3实现密封功能。

如图2所示上述的固定柱组件4包括弹簧41、定位柱42以及依次穿过定位柱42和弹簧41并固定于扫描盒1底部的螺丝43；所的弹簧41一端抵在扫描盒1底部，另一端抵在定位柱42上；为了保证密封金属丝3能够更好地实现密封的效果，在所述的扫描盒1底部开设有凹槽5，所述的固定柱组件4设置在凹槽5内，所述的固定柱组件4凸出于扫描盒1的下表面，螺丝43固定在凹槽5的底部，在螺丝43上套上定位柱42以及弹簧41，由于弹簧41的作用使得定位柱42的端面凸出于扫描盒1的下表面，并且能够将定位柱42完全压入到凹槽5内。

为了提高钛窗的使用寿命，需要对其进行冷却，本方案采用在格栅法兰10的内部设置冷却水道6，冷却水道6在格栅法兰10上设置进水口以及出水口，由于格栅法兰10固定于扫描盒1底部，需要在扫描盒1上设置进水口以及出水口的水道引出组件，水道引出组件包括开设在扫描盒1底部并置于进水口或者出水口上方的贯穿孔、穿过贯穿孔连接于进水口或者出水口的水管7、用于压紧水管7的压紧法兰8以及位于压紧法兰8下方的密封圈9；安装的时候将水管7穿过贯穿孔接到进水口或者出水口上，然后在水管7的四周填充密封圈9，在密封圈9顶部通过螺栓安装压紧法兰8，实现密封。进一步，为了提高密封效果，贯穿孔的下部设置为倒锥形，密封圈9设置在倒锥形的空间内，下压压紧法兰8使得密封圈9紧密的填充在倒锥形的空间内，密封效果更加优异。

综上所述，采用密封金属丝3进行密封能够提高密封效果且不会出现老化现象，提高使用寿命；通过固定柱组件4的使用，使得密封金属丝3方便安装且提升密封效果；通过冷却水道6以及水道引出组件的设置，更好的提升格栅法兰10的使用效果以及寿命；基于上述结构综合而成的钛窗结构，减少了格栅法兰10暴露在下方工作环境中的部位，降低对格栅法兰10的腐蚀，密封效果显著，提高使用寿命。

需要强调的是：以上仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。