技术特征:
技术总结
弹性波元件具备:IDT电极,其具备多个电极指,激振声表面波;第1基板,所述IDT电极位于其上表面,是小于以所述多个电极指的重复间隔的2倍定义的声表面波波长λ的厚度,由压电晶体构成;和第2基板,其与所述第1基板的下表面接合,是面取向(100)面或(110)面以及与它们等效的面的Si单晶构成的基板,在从重合的所述第1基板的上表面观察时,相对于弹性波的传播方向,与所述Si单晶的基板表面平行的晶轴以25°~65°、115°~155°、205°~254°以及295°~345°的任一者的角度倾斜。
技术研发人员:岸野哲也;伊藤干
受保护的技术使用者:京瓷株式会社
技术研发日:2018.02.14
技术公布日:2019.09.17