用于掩膜版清洗机的静电消除装置的制作方法

本实用新型涉及掩膜版制造技术领域，尤其是一种用于掩膜版清洗机的静电消除装置。

背景技术：

掩膜版又称光掩膜版、光罩，由石英玻璃作为基板衬底，首先在石英玻璃基板上镀上一层金属铬层，然后在铬层上面涂覆光刻胶使其成为一种感光材料，把已设计好的电路图形通过电子激光设备使光刻胶感光，被曝光的区域通过显影、蚀刻在金属铬上形成电路图形，成为类似曝光后的底片的光掩模母版。掩膜版是lcd等面板生产过程中不可或缺的重要部件，lcd面板厂用掩膜版进行曝光以获取其需求图形。

在掩膜版的制造过程中，掩膜版与设备、人员的接触是不可避免的，因此在掩膜版表面必然会发生静电放电的现象，造成掩膜版静电击伤。尤其是在掩膜版清洗过程中，毛刷在高速旋转下对掩膜版进行清洗，在掩膜版表面会形成大量电荷，毛刷清洗结束后，毛刷与掩膜版分离，掩膜版表面会开始发生静电放电的现象，可能会造成掩膜版表面静电击伤，增加后续工序的麻烦，影响产品的良率。

技术实现要素：

本实用新型为解决掩膜版在清洗过程中发生静电放电击伤掩膜版的技术问题是提供一种用于掩膜版清洗机的静电消除装置。

本实用新型所采用的技术方案是：用于掩膜版清洗机的静电消除装置，包括清洗机，清洗机包括壳体和设置在壳体下方的毛刷，毛刷包括刷盘和设置在刷盘上的刷毛，壳体内设置有电机和转轴，电机通过转轴与刷盘连接，还包括：

导电杆，布置在壳体内，与转轴摩擦连接，用于传导刷盘上的电荷；

导电线，布置在壳体上，一端接地，另一端与导电杆连接；

所述刷盘和转轴由导电材料制成。

本实用新型将传统的刷盘和转轴替换为导电材料，并设置导电杆，刷毛上的电荷依次通过刷盘和转轴传导在导电杆上，再通过导电线将电荷引地，从而消除了毛刷上的静电，避免了静电击伤掩膜版，提高了产品良率。导电杆与转轴摩擦连接是指转轴在转动的过程中与导电杆相连接，从而可将转轴上的电荷引到导电杆上。

进一步的是，所述壳体上设置有通孔，转轴穿过所述通孔与刷盘连接，通孔上设置有密封垫。防止导电杆与转轴摩擦产生的颗粒掉在产品上，造成产品污染和划伤。

进一步的是，所述导电杆为导电尼龙，导电尼龙具有良好的导电性和耐磨性，同时也不会损伤转轴。

进一步的是，所述刷盘由钛合金材料制成，钛合金具有良好的导电性、耐腐蚀和防酸碱的特性，长期使用也不会被药液腐蚀，不会对产品造成污染。

进一步的是，所述转轴由钛合金材料制成，钛合金具有良好的导电性、耐腐蚀和防酸碱的特性，长期使用也不会被药液腐蚀，不会对产品造成污染。

进一步的是，所述导电线为铜线,价格低、导电效果好。

本实用新型的有益效果是：本实用新型将传统的刷盘和转轴替换为导电材料，并设置导电杆，刷毛上的电荷依次通过刷盘和转轴传导在导电杆上，再通过导电线将电荷引地，从而消除了毛刷上的静电，避免了静电击伤掩膜版，提高了产品良率。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是图1的右视图。

图3是本实用新型的立体图。

图中标记为：1、壳体；2、毛刷；3、电机；4、转轴；5、导电杆；6、导电线；7、密封垫；21、刷盘；22、刷毛。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型进一步说明。

如图1、图2和图3所示，本实用新型的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，包括清洗机，清洗机包括壳体1和设置在壳体1下方的毛刷2，毛刷2包括刷盘21和设置在刷盘21上的刷毛22，壳体1内设置有电机3和转轴4，电机3通过转轴4与刷盘21连接，还包括导电杆5，布置在壳体1内，与转轴4摩擦连接，用于传导刷盘21上的电荷；导电线6，布置在壳体1上，一端接地，另一端与导电杆5连接；所述刷盘21和转轴4由导电材料制成。

所述壳体1上设置有通孔，转轴4穿过所述通孔与刷盘21连接，通孔上设置有密封垫7。所述导电杆5为导电尼龙。所述刷盘21由钛合金材料制成。所述转轴4由钛合金材料制成。所述导电线6为铜线。

工作原理：铜线固定在壳体内壁，一端接地，另一端连接在导电杆上，设置导电杆并将刷盘和转轴替换为导电材料。因此，刷毛上的电荷依次通过刷盘和转轴传导在导电杆上，再通过导电线将电荷引地，从而消除了毛刷上的静电，避免了静电击伤掩膜版，提高了产品良率。导电杆与转轴摩擦连接是指转轴在转动的过程中与导电杆相连接，从而可将转轴上的电荷引到导电杆上。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

技术特征：

1.用于掩膜版清洗机的静电消除装置，包括清洗机，清洗机包括壳体(1)和设置在壳体(1)下方的毛刷(2)，毛刷(2)包括刷盘(21)和设置在刷盘(21)上的刷毛(22)，壳体(1)内设置有电机(3)和转轴(4)，电机(3)通过转轴(4)与刷盘(21)连接，其特征在于，还包括：

导电杆(5)，布置在壳体(1)内，与转轴(4)摩擦连接，用于传导刷盘(21)上的电荷；

导电线(6)，布置在壳体(1)上，一端接地，另一端与导电杆(5)连接；

所述刷盘(21)和转轴(4)由导电材料制成。

2.如权利要求1所述的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，其特征在于，所述壳体(1)上设置有通孔，转轴(4)穿过所述通孔与刷盘(21)连接，通孔上设置有密封垫(7)。

3.如权利要求1所述的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，其特征在于，所述导电杆(5)为导电尼龙。

4.如权利要求1所述的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，其特征在于，所述刷盘(21)由钛合金材料制成。

5.如权利要求1所述的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，其特征在于，所述转轴(4)由钛合金材料制成。

6.如权利要求1所述的用于掩膜版清洗机的静电消除装置，其特征在于，所述导电线(6)为铜线。

技术总结
本实用新型公开了一种用于掩膜版清洗机的静电消除装置，包括清洗机，清洗机包括壳体和设置在壳体下方的毛刷，毛刷包括刷盘和设置在刷盘上的刷毛，壳体内设置有电机和转轴，电机通过转轴与刷盘连接，还包括导电杆，与转轴摩擦连接，用于传导刷盘上的电荷；导电线，布置在壳体上，一端接地，另一端与导电杆连接；所述刷盘和转轴由导电材料制成；本实用新型将传统的刷盘和转轴替换为导电材料，并设置导电杆，刷毛上的电荷依次通过刷盘和转轴传导在导电杆上，再通过导电线将电荷引地，从而消除了毛刷上的静电，避免了静电击伤掩膜版，提高了产品良率；导电杆与转轴摩擦连接是指转轴在转动的过程中与导电杆相连接，从而可将转轴上的电荷引到导电杆上。

技术研发人员：林伟;孙多卫;严超
受保护的技术使用者：成都路维光电有限公司
技术研发日：2020.03.30
技术公布日：2020.09.01