静电吸盘加热器的制作方法

1.本实用新型属于一种加热器，具体涉及一种静电吸盘加热器。


背景技术：

2.静电吸盘的静电吸附技术广泛应用于半导体晶片刻蚀、光学等领域，长期使用会使陶瓷和粘接层胶水磨损腐蚀，因此需定期维护修理。由于内部有胶水粘接，常规的拆解会损伤相关部件，所以需要高温加热使内部胶水软化方便拆解。
3.在现有技术中通常使用烘箱加热，设定好温度，将静电吸盘放入其中加热，当达到设定温度后再将产品取出固定后进行拆解，但是烘箱加温效率差，能耗高，且高温取产品容易烫伤，拆解时产品降温过快降低工作效率。


技术实现要素：

4.本实用新型目的在于提供一种静电吸盘加热器，解决了现有技术存在的加温效率差、能耗高等问题。
5.本实用新型的上述技术目的主要是通过以下技术方案解决的：一种静电吸盘加热器，包括用于加热静电吸盘工件的加热盘，所述加热盘通过电线与温度控制器连接；上述加热盘的设置，无需使用烘箱加热，可以对加热盘进行加热，从而可以通过加热盘与静电吸盘工件的局部接触实现对静电吸盘工件上指定部位的加热，避免静电吸盘工件的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，且接触式加热大大提高了产品的加热效率，同时加热盘可以适用各类型号静电吸盘尺寸规模，而温度控制器的设置，可以保证对加热盘的加热稳定，升温速率快，可以对加热盘进行恒温控制，且在对加热盘加热后可以直接进行工件拆解，从而可以降低能源的损耗。
6.作为优选，包括用于放置加热盘的放置架；上述放置架的设置，以便于在对工件加热完毕后，可以将工件放置在放置架上进行冷却，避免人体烫伤，保证安全性，同时节省力气，简单且方便。
7.作为优选，所述放置架包括与加热盘接触的支撑盘，所述支撑盘上设有多个散热孔；上述支撑盘和散热孔的设置，可以对加热盘和支撑盘之间的接触进行散热处理，提高加热盘的散热速度。
8.作为优选，所述加热盘的侧壁上设有把手；上述把手的设置，可以避免人力搬运时发生烫伤，提高取用的便利性，更加省力，且保证安全性。
9.因此，本实用新型具有加温效率高且能耗低等特点。
附图说明
10.图1是本实用新型的立体结构图；
11.图2是图1中的放置架的立体结构图。
具体实施方式
12.下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。
13.如图1
‑
2所示，一种静电吸盘加热器，包括用于加热静电吸盘工件的加热盘1，加热盘1通过电线与温度控制器2连接，上述加热盘的设置，无需使用烘箱加热，可以对加热盘进行加热，从而可以通过加热盘与静电吸盘工件的局部接触实现对静电吸盘工件上指定部位的加热，避免静电吸盘工件的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，且接触式加热大大提高了产品的加热效率，同时加热盘可以适用各类型号静电吸盘尺寸规模，而温度控制器的设置，可以保证对加热盘的加热稳定，升温速率快，可以对加热盘进行恒温控制，且在对加热盘加热后可以直接进行工件拆解，从而可以降低能源的损耗；加热盘1的侧壁上设有把手11，上述把手的设置，可以避免人力搬运时发生烫伤，提高取用的便利性，且保证安全性。
14.还包括用于放置加热盘1的放置架3，上述放置架的设置，以便于在加热时，对静电吸盘工件进行支撑，避免人体烫伤，保证安全性，且对工件加热完毕后，可以将工件放置在放置架上进行冷却，节省力气，简单且方便；放置架3包括与加热盘1接触的支撑盘31，支撑盘31上设有多个散热孔311，上述支撑盘和散热孔的设置，上述支撑盘和散热孔的设置，可以对加热盘和支撑盘之间的接触进行散热处理，提高加热盘的散热速度。
15.在温度控制器上设定好温度，升温速率和加热时间；将铝盘放在需要加热的产品上，等待升温，达到设定温度后可保持恒温；将加热好后的铝盘放在支架上冷却，达到设定温度后取下加热盘放置固定架上，即可对静电吸盘开始拆卸工作，提高工作效率。
16.该套设备投资成本低，运行成本主要是电力(1kw/h)也很低，相比烘箱加热大大降低电力成本且使用简便。


技术特征：
1.一种静电吸盘加热器，其特征在于：包括用于加热静电吸盘工件的加热盘(1)，所述加热盘(1)通过电线与温度控制器(2)连接，包括用于放置加热盘(1)的放置架(3)，所述放置架(3)包括与加热盘(1)接触的支撑盘(31)，所述支撑盘(31)上设有多个散热孔(311)。2.根据权利要求1所述的静电吸盘加热器，其特征在于：所述加热盘(1)的侧壁上设有把手(11)。

技术总结
本实用新型涉及一种静电吸盘加热器，包括用于加热静电吸盘工件的加热盘，所述加热盘通过电线与温度控制器连接；上述加热盘的设置，无需使用烘箱加热，可以对加热盘进行加热，从而可以通过加热盘与静电吸盘工件的局部接触实现对静电吸盘工件上指定部位的加热，避免静电吸盘工件的整体温度偏高，避免损伤静电吸盘其他部件，且接触式加热大大提高了产品的加热效率，同时加热盘可以适用各类型号静电吸盘尺寸规模，而温度控制器的设置，可以保证对加热盘的加热稳定，升温速率快，可以对加热盘进行恒温控制，且在对加热盘加热后可以直接进行工件拆解，从而可以降低能源的损耗。本实用新型具有加温效率高且能耗低等特点。具有加温效率高且能耗低等特点。具有加温效率高且能耗低等特点。


技术研发人员：张巍 马俊峰 朱顺存
受保护的技术使用者：浙江新纳陶瓷新材有限公司
技术研发日：2020.11.13
技术公布日：2021/9/7