弹性波滤波器的制作方法

文档序号:26145994发布日期:2021-08-03 14:32阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种弹性波滤波器,具备:

第1串联臂谐振器,配置在将第1端子和第2端子连结的路径上;和

第2串联臂谐振器,配置在所述路径上,

其中,

所述第1串联臂谐振器的反谐振频率在构成所述弹性波滤波器的串联臂谐振器中反谐振频率最低,

所述第1串联臂谐振器以及所述第2串联臂谐振器各自具有idt电极,所述idt电极包括在具有压电体层的基板上形成的一对梳齿状电极,

所述第1串联臂谐振器以及所述第2串联臂谐振器具有的所述一对梳齿状电极各自包括多个电极指和汇流条电极,所述多个电极指配置为在弹性波传播方向的正交方向上延伸,所述汇流条电极将所述多个电极指各自的一端彼此连接,

将所述多个电极指各自的另一端彼此连结的方向与所述弹性波传播方向交叉,

所述第1串联臂谐振器以及所述第2串联臂谐振器的所述idt电极具有所述另一端侧的电极指宽度比电极指中央部处的电极指宽度宽的宽幅部,

所述第1串联臂谐振器的所述电极指延伸的方向上的所述宽幅部的长度比所述第2串联臂谐振器的所述电极指延伸的方向上的所述宽幅部的长度长。

2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器,其中,

在将所述弹性波滤波器的波长设为λ的情况下,所述第1串联臂谐振器的所述宽幅部的长度为0.1λ以上且0.4λ以下。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波滤波器,其中,

所述第1串联臂谐振器的所述idt电极的交叉宽度为20λ以下。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的弹性波滤波器,其中,

所述基板具备:

压电体层,在一个主面上形成了所述idt电极;

高声速支承基板,所传播的体波声速与在所述压电体层传播的弹性波声速相比为高速;和

低声速膜,配置在所述高声速支承基板与所述压电体层之间,所传播的体波声速与在所述压电体层传播的弹性波声速相比为低速。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的弹性波滤波器,其中,

还具备:第3串联臂谐振器,在所述路径上与所述第1串联臂谐振器串联连接,

所述第3串联臂谐振器的反谐振频率比所述第2串联臂谐振器的反谐振频率低,

所述第3串联臂谐振器具有idt电极,所述idt电极包括在具有压电体层的基板上形成的一对梳齿状电极,

所述第3串联臂谐振器具有的所述一对梳齿状电极各自包括多个电极指和汇流条电极,所述多个电极指配置为在所述弹性波传播方向的正交方向上延伸,所述汇流条电极将所述多个电极指各自的一端彼此连接,

将所述多个电极指各自的另一端彼此连结的方向与所述弹性波传播方向交叉,

所述第3串联臂谐振器的所述idt电极具有所述另一端侧的电极指宽度比电极指中央部处的电极指宽度宽的宽幅部,

所述第3串联臂谐振器的所述电极指延伸的方向上的所述宽幅部的长度比所述第2串联臂谐振器的所述电极指延伸的方向上的所述宽幅部的长度长。


技术总结
本发明提供一种弹性波滤波器,能够提高位于比弹性波滤波器的通带更靠高频侧的衰减坡度的陡峭性并抑制通带中的回波损耗。弹性波滤波器(10)具备的第1串联臂谐振器(110s)及第2串联臂谐振器(121s~124s)各自包括多个电极指(322a、322b)和将多个电极指(322a、322b)各自的一端(e1)彼此连接的汇流条电极(321a、321b)。将所述多个电极指各自的另一端(e2)彼此连结的方向(D)与上述弹性波传播方向交叉。第1串联臂谐振器(110s)及所述第2串联臂谐振器的IDT电极具有另一端(e2)侧的电极指宽度比电极指中央部(cp)处的电极指宽度宽的宽幅部(wp)。第1串联臂谐振器(110s)的宽幅部(wp)的长度(L1)比所述第2串联臂谐振器的宽幅部(wp)的长度(L2)长。

技术研发人员:冈田真一
受保护的技术使用者:株式会社村田制作所
技术研发日:2021.01.26
技术公布日:2021.08.03
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