弹性波装置的制作方法

本发明涉及具有在高声速构件上层叠有低声速层及压电层的构造的弹性波装置。

背景技术：

1、以往，得到一种在具有压电层的复合基板上设置有idt电极的弹性波装置。例如，在下述的专利文献1所记载的弹性波装置中，在包括高声速材料的高声速基板上层叠有包括氧化硅的低声速层及包括litao3的压电层。在该压电层上设置有idt电极。在该构造中，能够将弹性波有效地封闭在压电层，能够提高q值。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2015-073331号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在用于带通型滤波器等的弹性波谐振器中，有时要求较宽的分数带宽。但是，在以往的弹性波装置中，难以充分地扩宽分数带宽。

3、本发明的目的在于，提供一种分数带宽较宽的弹性波装置。

4、用于解决问题的手段

5、本发明的弹性波装置具备：高声速构件；低声速层，其层叠在所述高声速构件上；压电层，其直接或间接地层叠在所述低声速层上；以及电极，其设置在所述压电层上，所述低声速层包括杨氏模量比氧化硅低的电介质材料、或者以该电介质材料为主成分的层。

6、发明效果

7、根据本发明，能够提供具有较宽的分数带宽的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求3或4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1至5中任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结
提供一种分数带宽较宽的弹性波装置。弹性波装置(1)具备高声速构件(3)、层叠在高声速构件(3)上的低声速层(4)、直接或间接地层叠在低声速层(4)上的压电层(5)、以及设置在压电层(5)上的电极(7)，低声速层(4)包括杨氏模量比氧化硅低的电介质材料、或者以该电介质材料为主成分的层。

技术研发人员：大门克也,木村哲也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13