一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置的制作方法

1.本发明涉及液冷技术领域，特别涉及一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置。


背景技术：

2.液冷又称为水冷，液冷散热的原理为：在一个密闭的液体循环装置，通过泵产生的动力，推动密闭系统中的液体循环，将热沉吸收的芯片产生的热量，通过液体的循环，带到面积更大的散热装置，进行散热，冷却后的液体在次回流到吸热设备，如此循环往复，由于液冷散热效率高，热传导率为传统风冷方式的20倍以上，可以解决几百至数千瓦的散热问题，在激光、军工、医疗、电力电子、工业设备等行业有着广泛的应用。
3.低温等离子金属薄膜处理装置对金属薄膜的表面进行低温等离子放电处理，在放电过程中，放电辊以及高压电极均会产生热量，因此需要配合相关的液冷装置实现降温。现有技术中已经使用在放电辊内部设置内管结构，内管通入冷却液，实现对放电辊的冷却，通过通风设备或者抽风设备对放电辊和电极管上的高温进行散热；但是到设备功率比较大，或者当装置长时间进行工作时其工作的温度还是超出预设的工作温度，导致对金属薄膜表面的处理并不均匀。
4.综上所述，需要对现有的低温等离子金属薄膜处理装置的冷却系统进行相应的改进。


技术实现要素：

5.本发明就在于为了解决上述的问题而提供一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置。
6.为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，所述低温等离子金属薄膜处理装置包括放电辊与放电电极；其特征在于：所述放电辊与放电电极均为空心；放电辊与放电电极的中空部分均能够通入冷却液；所述液冷装置包括放电辊液冷回路与放电电极液冷回路；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路之间并联；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路均包括对应的冷却液箱、冷却泵、换热箱；两个冷却液箱并列安装于同一个液冷箱中，所述液冷箱中两个不同的冷却液箱出液口均设置温度传感器；所述温度传感器同通过继电器与其对应的冷却泵的供电相连；从冷却液箱中流出的液体通过其相应的冷却泵后流入放电辊或者放电电极后进入同一个换热箱；所述换热箱中的冷却管呈螺旋状，从换热箱出来的冷却管将冷却液传输至液冷箱中；所述换热箱表面设置多个导热的插排翅片；所述换热箱中设置散热风道，散热风道中设置排风扇实现与外界空气的流动。
7.进一步地，所述冷却泵的功率由控制系统自动控制，控制系统接收各液冷回路中温度传感器的温度反馈值，并分别与各冷却液箱出液口处的温度预设值进行比较，分别计算出温度偏差，然后根据各温度偏差大小分别对各冷却液循环分路中冷却泵的功率进行调
整。
8.进一步地，所述两个冷却液箱的底部均设置重力传感器，所述重力传感器将检测出的冷却箱的重力数据传输至控制系统，控制系统接收各冷却液箱的重力反馈值，并分别与各冷却液箱的重力预设值进行比较，分别计算出重力的偏差，然后根据各重力的偏差大小判断是否需要补充冷却液。
9.进一步地，所述放电辊液冷回路中的冷却液为冷却油或者是水。
10.进一步地，放电电极液冷回路中的冷却液为冷却油。
11.进一步地，所述放电电极的中空部分为铜管。
12.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：1、本发明的冷却不仅包括放电辊冷却回路，还包括放电电极冷却回路；通过两个回路的配套使用能够明显提高装置的冷却效果。
13.2、本发明中在两个冷却回路均通过同一个换热箱实现对冷却液的降温，该换热箱通过换热翅片结构，以湍流提升冷却效果，营造材料处理环境更迅速，效率高。
14.3、本发明可对处理过程中的运行温度进行分别检测，并实时智能化调整，保证放电稳定性，提升处理效果。
附图说明
15.图1为一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置的回路示意图；图2为具体实施例中低温等离子金属薄膜处理装置的正视图；图3为低温等离子金属薄膜处理装置的侧视图。
具体实施方式
16.为使本发明实现的技术手段、创作特征、达呈目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
17.参照如图1所示，本发明提供一种用于低温等离子金属薄膜处理装置的液冷装置，所述低温等离子金属薄膜处理装置包括放电辊1与放电电极2；其特征在于：所述放电辊与放电电极均为空心；放电辊与放电电极的中空部分均能够通入冷却液；所述液冷装置包括放电辊液冷回路与放电电极液冷回路；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路之间并联；所述放电辊液冷回路与放电电极液冷回路均包括对应的冷却液箱3、冷却泵4、换热箱5；两个冷却液箱并列安装于同一个箱体中，所述液冷箱中两个不同的冷却液箱出液口均设置温度传感器7；所述温度传感器同通过继电器与其对应的冷却泵的供电相连；从冷却液箱中流出的液体通过其相应的冷却泵后流入放电辊或者放电电极后进入同一个换热箱；所述换热箱中的冷却管呈螺旋状，从换热箱出来的冷却管将冷却液传输至液冷箱中；所述换热箱表面设置多个导热的插排翅片6；所述换热箱中设置散热风道，散热风道中设置排风扇实现与外界空气的流动。
18.进一步地，所述冷却泵的功率由控制系统自动控制，控制系统接收各液冷回路中温度传感器的温度反馈值，并分别与各冷却液箱出液口处的温度预设值进行比较，分别计算出温度偏差，然后根据各温度偏差大小分别对各冷却液循环分路中冷却泵的功率进行调整。。
19.进一步地，所述两个冷却液箱的底部均设置重力传感器，所述重力传感器将检测出的冷却箱的重力数据传输至控制系统，控制系统接收各冷却液箱的重力反馈值，并分别与各冷却液箱的重力预设值进行比较，分别计算出重力的偏差，然后根据各重力的偏差大小判断是否需要补充冷却液。
20.进一步地，所述放电辊液冷回路中的冷却液为冷却油或者是水。
21.进一步地，放电电极液冷回路中的冷却液为冷却油。
22.进一步地，所述放电电极的中空部分为铜管。
23.具体实施例：如附图2图3所示，为现有的低温等离子金属薄膜处理装置，图中1为放电辊，放电电极2；分别将中空的放电辊与放电电极之间通入对应的冷却液实现装置在进行处理金属膜时进行冷却。本发明在使用时，两个回路的冷却液在系统内部经管道流动，初始存放于冷却液箱中，在收到处理指令后，冷却液经冷却泵后流入放电辊或者放电电极中的中空部位，此时操作人员或者系统自身根据金属薄膜的材质及工艺的要求，控制冷却液的流速；工作过程中，温度传感器采集放电辊以及放电电极的冷却液的管道中的温度，并根据冷却液温度的高低发送指令至冷却泵控制冷却泵的工作功率，从而实现对链两个不同的冷却回路的控制。
24.对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
25.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形呈本领域技术人员可以理解的其他实施方式。