摇摆装置及蚀刻系统的制作方法

1.本技术实施例涉及生产设备技术领域，特别是涉及一种摇摆装置及蚀刻系统。


背景技术：

2.摇摆装置一般包括摇摆电机、摇摆轴、偏心轮组件以及箱体组成，摇摆轴和偏心轮组件设置于箱体内，通过摇摆电机驱动摇摆轴转动，从而带动偏心轮组件进行运动，以实现摇摆的功能。
3.本技术实施例在实施过程中，发明人发现：由于箱体需要保持良好的密封性，箱体与摇摆轴之间需要设置密封件，密封件在满足密封性的情况下，无法满足支撑摇摆轴的要求，导致摇摆轴在转动过程中摆动幅度大，影响摇摆轴运转。


技术实现要素：

4.本技术实施例主要解决的技术问题是提供一种摇摆装置及蚀刻系统，通过在机壳上设置轴承组件，能够有效减小摇摆轴在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴的安全性和稳定性。
5.为解决上述技术问题，本技术实施例采用的一个技术方案是：提供一种摇摆装置，包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，机壳设有收容腔；驱动组件设置于所述机壳；所述摇摆轴的一端与所述驱动组件连接，所述摇摆轴的另一端转动设置于所述机壳，所述驱动组件用于驱动所述摇摆轴转动；轴承组件设置于所述机壳，所述轴承组件套设于所述摇摆轴以支撑所述摇摆轴转动；偏心轮组件套设于所述摇摆轴，所述摇摆轴转动以带动所述偏心轮组件进行摇摆运动。
6.可选地，所述轴承组件包括轴承和支撑板，所述支撑板设置于所述机壳，所述支撑板设有第一通孔，所述轴承设置于所述支撑板，所述摇摆轴套设于所述轴承并且穿过所述第一通孔，所述摇摆轴可在所述第一通孔内转动。
7.可选地，所述轴承组件还包括轴承座，所述轴承座设置于所述支撑板，所述轴承座用于安装所述轴承。
8.可选地，所述轴承组件还包括第一固定件；所述轴承座设有第一固定孔，所述第一固定件穿过所述第一固定孔与所述支撑板连接，以将所述轴承座固定于所述支撑板。
9.可选地，所述轴承组件还包括第二固定件；所述轴承的内圈设有第二固定孔，所述第二固定件穿过所述第二固定孔后与所述摇摆轴连接，以将所述轴承的内圈固定于所述摇摆轴。
10.可选地，所述轴承组件还包括密封件，所述密封件设置于所述支撑板，所述密封件用于密封所述摇摆轴与所述支撑板在所述第一通孔处的缝隙。
11.可选地，所述收容腔设置有第一腔室和第二腔室，所述轴承组件和部分所述驱动组件收容于所述第一腔室，所述偏心轮组件设置于所述第二腔室，所述机壳设有第二通孔，所述第二通孔将所述第一腔室和所述第二腔室连通，所述摇摆轴穿过所述第二通孔，所述
摇摆轴的两端分别位于所述第一腔室和所述第二腔室。
12.可选地，所述摇摆装置还包括腔体密封组件，所述腔体密封组件设置于所述机壳，所述腔体密封组件用于密封所述摇摆轴与所述机壳在所述第二通孔处的缝隙。
13.可选地，所述机壳还包括固定座，所述固定座设置于所述第二腔室的内壁，所述固定座用于支撑所述摇摆轴的另一端。
14.为解决上述技术问题，本技术实施例采用的另一个技术方案是：提供一种蚀刻系统，包括如上所述的摇摆装置。
15.本技术实施例摇摆装置包括机壳、驱动组件、摇摆轴、轴承组件以及偏心轮组件，摇摆轴转动设置于机壳，驱动组件设置于机壳并且与摇摆轴的一端连接，驱动组件用于驱动摇摆轴转动，轴承组件套设于摇摆轴以支撑摇摆轴转动，偏心轮组件套设于摇摆轴，当摇摆轴转动时带动偏心轮组件进行摇摆运动。通过设置轴承组件套设在摇摆轴上，能够有效减小摇摆轴在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴的安全性和稳定性。
附图说明
16.为了更清楚地说明本技术具体实施例或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
17.图1是本技术实施例摇摆装置的局部剖视图。
18.图2是本技术实施例摇摆装置的轴承组件的剖视图。
具体实施方式
19.为了便于理解本技术，下面结合附图和具体实施例，对本技术进行更详细的说明。需要说明的是，当元件被表述“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。当一个元件被表述“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。本说明书所使用的术语“上”、“下”、“内”、“外”、“垂直的”、“水平的”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
20.除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本技术。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
21.此外，下面所描述的本技术不同实施例中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
22.请参阅图1，所述摇摆装置100包括机壳10、驱动组件20、摇摆轴 30、轴承组件40以及偏心轮组件50。驱动组件20部分设置于机壳10 外，驱动组件20部分设置于机壳10内，摇摆轴30转动设置在机壳10 内并且摇摆轴30的一端与驱动组件20连接，驱动组件20用于驱动摇摆轴30转动。轴承组件40设置于机壳10内，轴承组件40套设于摇摆轴30以支撑摇摆轴
30转动，防止摇摆轴30在转动过程中，摆动幅度过大，影响摇摆装置100的工作性能。偏心轮组件50套设于摇摆轴30，偏心轮组件50还与其他零部件连接，当摇摆轴30转动时，可以带动偏心轮组件50进行偏心摇摆运动，从而带动与偏心轮组件50连接的其他零部件做摇摆运动。
23.对于上述的机壳10，请参阅图1，所述机壳10设有收容腔11、第二通孔12以及固定座13。收容腔11设有第一腔室111和第二腔室112，第一腔室111用于收容部分驱动组件20、部分摇摆轴30以及轴承组件 40，第二腔室112用于收容部分摇摆轴30、偏心轮组件50以及固定座 13。第二通孔12连通第一腔室111和第二腔室112，第二通孔12用于供摇摆轴30穿过，摇摆轴30可在第二通孔12内转动。固定座13设置于第二腔室112的内壁面，固定座13用于支撑摇摆轴30的另一端，并且摇摆轴30的另一端可以在固定座13上相对转动。
24.在一些实施例中，请参阅图1，所述摇摆装置100还包括腔体密封组件60。腔体密封组件60设置于机壳10，并且位于第二通孔12处。腔体密封组件60用于密封摇摆轴30和机壳10在第二通孔12处的缝隙，可以有效减少第二腔室112内的具有腐蚀性的气体进入第一腔室111 中，对驱动组件20和轴承组件40进行腐蚀。
25.对于上述的驱动组件20，请参阅图1，驱动组件20包括驱动电机 21和联轴器22。驱动电机21设置于机壳10外，联轴器22设置于机壳10内，并且联轴器22设置于驱动电机21的转动轴，联轴器22用于将驱动电机21的转动轴和摇摆轴30的一端连接。驱动电机21通过联轴器22驱动摇摆轴30转动。
26.对于上述的轴承组件40，请参阅图1和图2，轴承组件40包括轴承41、支撑板42以及轴承座43。支撑板42的两端分别设置于机壳10 的第一腔室111相对的两内壁，轴承座43设置于支撑板42靠近驱动电机21的一侧，轴承41设置于轴承座43上。轴承41用于供摇摆轴30 穿过，轴承41与轴承座43和支撑板42共同配合，以支撑摇摆轴30转动，在固定座13和轴承组件40的作用下，摇摆轴30在转动过程中的周向摆动幅度减少，提高了摇摆轴30与驱动电机21的转动轴的同轴度，使得摇摆轴30转动更加平稳，减少了摇摆轴30与机壳10之间的摩擦，延长了摇摆轴30的使用寿命。
27.在一些实施例中，请参阅图2，支撑板42设置有第一通孔421，第一通孔421沿支撑板42的厚度方向贯通支撑板42，第一通孔421用于供摇摆轴30穿过，摇摆轴30可以在第一通孔421内相对转动。
28.可以理解的是，在一些实施例中，支撑板42与机壳10内壁焊接连接。
29.在一些实施例中，请继续参阅图2，轴承组件40还包括第一固定件 44。轴承座43设有第一固定孔431，第一固定件44穿过第一固定孔431 后与支撑板42连接，以将轴承座43固定于支撑板42。具体的，第一固定件44为螺栓，支撑板42设有螺孔，螺栓穿过第一固定孔431后与螺孔螺接；或者第一固定件44包括螺栓和螺母，支撑板42设有通孔，螺栓穿过第一通孔421和支撑板42的通孔后与螺母螺接。
30.在一些实施例中，请继续参阅图2，轴承组件40还包括第二固定件 45。轴承41的内圈设有第二固定孔411，第二固定件45穿过第二固定孔411后与摇摆轴30连接，以使得轴承内圈与摇摆轴30固定，并且轴承内圈与摇摆轴30同步转动。具体地，第二固定件45为螺栓，第二固定孔411设有内螺纹，螺栓穿过内螺纹后与摇摆轴30的外表面抵接。轴承41与摇摆轴30同步转动，能够实现轴承41对摇摆轴30的圆心调节，提高了摇摆轴30的安装垂直度和回
转精度。
31.在一些实施例中，请参阅图2，轴承组件40还包括密封件46，密封件46设置于机壳10的第一通孔421处，密封件46用于密封摇摆轴 30与支撑板42在第一通孔421处的缝隙，进一步减少具有腐蚀性的气体穿过第一通孔421对联轴器22和驱动电机21造成影响。
32.本技术实施例摇摆装置100包括机壳10、驱动组件20、摇摆轴30、轴承组件40以及偏心轮组件50，摇摆轴30转动设置于机壳10，驱动组件20设置于机壳10并且与摇摆轴30的一端连接，驱动组件20用于驱动摇摆轴30转动，轴承组件40套设于摇摆轴30以支撑摇摆轴30转动，偏心轮组件50套设于摇摆轴30，当摇摆轴30转动时带动偏心轮组件50进行摇摆运动。通过设置轴承组件40套设在摇摆轴30上，能够有效减小摇摆轴30在转动的过程中的摆动幅度，提高摇摆轴30的安全性和稳定性。
33.本技术又提供蚀刻系统实施例，所述蚀刻系统包括上述的摇摆装置 100，蚀刻系统用于对pcb(printed circuit board)电路板进行线路蚀刻，摇摆装置100用于在pcb电路板蚀刻以及显影等过程中对pcb电路板进行摇摆运动。对于摇摆装置100的具体结构和功能可参阅上述实施例，此处不再赘述。
34.以上所述仅为本技术的实施例，并非因此限制本技术的专利范围，凡是利用本技术说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本技术的专利保护范围内。