一种等离子陶瓷绝缘连接件的制作方法

1.本实用新型涉及等离子表面处理技术领域，特别指一种等离子陶瓷绝缘连接件。


背景技术：

2.真空等离子处理设备一般设有高频发生器和真空等离子缸体，所述高频发生器输出端与真空等离子缸体通过带有绝缘外壳的电极连接件连接，现有技术中一般会采用铁氟龙绝缘连接件，随着高频发生器输出端功率越来越高，绝缘外壳容易被烧坏，烧穿，装配使用时，铁氟龙绝缘连接件每次拆装都会导致铁氟龙的螺牙磨损，导致绝缘件气密性下降，达不到稳定保压的效果。
3.因此针对上述的缺陷和不足，现有技术还有待提高和改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于针对上述现有技术的缺陷和不足，提供一种结构简单，耐高温不易被烧坏击穿，而且密封性好的陶瓷绝缘连接件。
5.为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：
6.本实用新型所述的一种等离子陶瓷绝缘连接件，包括陶瓷绝缘件、电极连接柱、电极连接柱固定件和绝缘件螺母，所述陶瓷绝缘件包括第一限位块和第一螺纹柱，所述第一限位块的直径大于所述第一螺纹柱的直径，所述第一螺纹柱左端与所述第一限位块一体成型，所述陶瓷绝缘件沿第一螺纹柱轴心方向贯穿所述第一限位块和第一螺纹柱设有通孔，所述绝缘件螺母与所述第一螺纹柱右端螺纹连接，所述电极连接柱的左端与电极连接，右端穿过所述通孔与所述电极连接柱固定件固定连接，所述电极连接柱与所述通孔内侧壁紧密连接。
7.根据以上方案，所述第一螺纹柱靠近所述第一限位块的一端设有绝缘件密封圈。
8.根据以上方案，所述绝缘件螺母与所述第一限位块相对的一侧面设有环形凹槽，所述凹槽内设有绝缘件螺母密封圈。
9.根据以上方案，所述电极连接柱包括第二限位块和第二螺纹柱，所述第二螺纹柱左端与所述第二限位块一体成型，所述第二限位块直径大于所述通孔直径，所述电极连接柱固定件与所述第二螺纹柱右端螺纹连接。
10.根据以上方案，所述第二限位块与所述第一限位块之间设有电极连接密封圈。
11.根据以上方案，所述电极连接柱左侧设有柱状凹槽，所述柱状凹槽用于安装电极。
12.根据以上方案，所述电极连接柱设为螺丝结构。
13.根据以上方案，所述电极连接柱固定件为螺母结构。
14.本实用新型的陶瓷绝缘件不易被烧坏和击穿，而且比传统的铁氟龙绝缘件刚性要强，在刚性满足的前提下第一限位块、第一螺纹柱和螺母配合使用可以将陶瓷绝缘连接件牢牢地固定在安装孔里，所述电极连接柱紧密安装于陶瓷绝缘件内，解决了真空环境中的导电密封性。
附图说明
15.图1是本实用新型整体的结构示意图；
16.图2是本实用新型的剖面结构示意图。
17.图中：1、陶瓷绝缘件；2、电极连接柱；3、电极连接柱固定件；4、绝缘件螺母；5、绝缘件密封圈；6、绝缘件螺母密封圈；7、电极连接密封圈。
具体实施方式
18.下面结合附图与实施例对本实用新型的技术方案进行说明。
19.本实用新型所述的一种等离子陶瓷绝缘连接件，是用作连接高频发生器输出端与真空等离子缸体的连接件，其包括陶瓷绝缘件1、电极连接柱2、电极连接柱固定件3和绝缘件螺母4，所述陶瓷绝缘件1包括第一限位块和第一螺纹柱，所述第一限位块的直径大于所述第一螺纹柱的直径，所述第一螺纹柱左端与所述第一限位块一体成型，所述陶瓷绝缘件1沿第一螺纹柱轴心方向贯穿所述第一限位块和第一螺纹柱设有通孔，所述绝缘件螺母4与所述第一螺纹柱右端螺纹连接，所述电极连接柱2的左端与电极连接，右端穿过所述通孔与所述电极连接柱固定件3固定连接，所述电极连接柱2与所述通孔内侧壁紧密连接，优选的所述第一限位块为圆柱形结构，安装时所述第一螺纹柱穿入安装孔内，所述第一限位块与真空等离子缸体外侧壁相抵，所述绝缘件螺母4从所述第一螺纹柱的右端旋入并与真空等离子缸体内侧壁相抵，采用这样设置，所述陶瓷绝缘件1不易被烧坏和击穿，而且比传统的铁氟龙绝缘件刚性要强，第一限位块、第一螺纹柱和绝缘件螺母4配合使用即可将陶瓷绝缘连接件牢牢地固定在安装孔里，此外本实用新型的连接件可适用于不同厚度的安装孔，只需通过调节绝缘件螺母4的位置，即可对陶瓷绝缘件进行锁紧，所述电极连接柱2紧密安装于陶瓷绝缘件4内，能很好的解决了真空环境中的导电密封性。
20.所述第一螺纹柱靠近所述第一限位块的一端设有绝缘件密封圈5，有效增加了所述第一限位块与安装孔的紧密性。
21.所述绝缘件螺母4与所述第一限位块相对的一侧面设有环形凹槽，所述凹槽内设有绝缘件螺母密封圈6，所述绝缘件螺母密封圈6与所述真空等离子缸内侧壁紧密相抵，使陶瓷绝缘件4安装更牢固，还能增加真空等离子缸的气密性。
22.所述电极连接柱2包括第二限位块和第二螺纹柱，所述第二螺纹柱左端与所述第二限位块一体成型，所述第二限位块直径大于所述通孔直径，所述电极连接柱固定件3与所述第二螺纹柱右端螺纹连接，具体的所述通孔为圆柱形结构，采用这样设置所述电极连接柱2可以快速牢固的安装于陶瓷绝缘件的通孔内。
23.所述第二限位块与所述第一限位块之间设有电极连接密封圈7，采用这样设置，可以进一步的提高电极连接柱2与陶瓷绝缘件1的密封性。
24.所述电极连接柱2左侧设有长条状的凹槽，所述长条状的凹槽用于安装电极，这样设置方便电极的安装。
25.所述电极连接柱2设为螺丝结构，所述电极连接柱固定件3为螺母结构，采用这样设置，安装简单快捷，整体结构牢固。
26.本实用新型安装时，第一步先把电极连接密封圈7放置于所述电极连接柱2的第二螺纹柱靠近第二限位块处，再把第二螺纹柱穿入所述陶瓷绝缘件1的通孔内，再将电极连接
柱固定件3旋入第二螺纹柱上并锁紧；第二步将绝缘件密封圈5放至相应的位置，再把装有电极连接柱2的陶瓷绝缘件1装入真空等离子缸的安装孔内，最后将放置有缘件螺母密封圈6的绝缘件螺母4旋入陶瓷绝缘件1的第一螺纹柱上并锁紧即可。
27.本实用新型结构简单牢固，安装方便，密封性好，不易被烧坏击穿。
28.以上所述仅是本实用新型的较佳实施方式，故凡依本实用新型专利申请范围所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均包括于本实用新型专利申请范围内。


技术特征：
1.一种等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，包括陶瓷绝缘件(1)、电极连接柱(2)、电极连接柱固定件(3)和绝缘件螺母(4)，所述陶瓷绝缘件(1)包括第一限位块和第一螺纹柱，所述第一限位块的直径大于所述第一螺纹柱的直径，所述第一螺纹柱左端与所述第一限位块一体成型，所述陶瓷绝缘件(1)沿第一螺纹柱轴心方向贯穿所述第一限位块和第一螺纹柱设有通孔，所述绝缘件螺母(4)与所述第一螺纹柱右端螺纹连接，所述电极连接柱(2)的左端与电极连接，右端穿过所述通孔与所述电极连接柱固定件(3)固定连接，所述电极连接柱(2)与所述通孔内侧壁紧密连接。2.根据权利要求1所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述第一螺纹柱靠近所述第一限位块的一端设有绝缘件密封圈(5)。3.根据权利要求1所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述绝缘件螺母(4)与所述第一限位块相对的一侧面设有环形凹槽，所述凹槽内设有绝缘件螺母密封圈(6)。4.根据权利要求1所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述电极连接柱(2)包括第二限位块和第二螺纹柱，所述第二螺纹柱左端与所述第二限位块一体成型，所述第二限位块直径大于所述通孔直径，所述电极连接柱固定件(3)与第二螺纹柱右端螺纹连接。5.根据权利要求4所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述第二限位块与所述第一限位块之间设有电极连接密封圈(7)。6.根据权利要求4所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述电极连接柱(2)左侧设有柱状凹槽，所述柱状凹槽用于安装电极。7.根据权利要求4所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述电极连接柱(2)设为螺丝结构。8.根据权利要求4所述的等离子陶瓷绝缘连接件，其特征在于，所述电极连接柱固定件(3)为螺母结构。

技术总结
本实用新型涉及等离子表面处理技术领域，特别指一种等离子陶瓷绝缘连接件，包括陶瓷绝缘件、电极连接柱、电极连接柱固定件和绝缘件螺母，所述陶瓷绝缘件包括第一限位块和第一螺纹柱，所述第一限位块的直径大于所述第一螺纹柱的直径，所述第一螺纹柱左端与所述第一限位块一体成型，所述陶瓷绝缘件沿第一螺纹柱轴心方向贯穿所述第一限位块和第一螺纹柱设有通孔，所述绝缘件螺母与所述第一螺纹柱右端螺纹连接，所述电极连接柱的左端与电极连接，右端穿过所述通孔与所述电极连接柱固定件固定连接，所述电极连接柱与所述通孔内侧壁紧密连接。本实用新型耐高温不易被烧坏击穿，密封性好，而且结构简单便于安装。而且结构简单便于安装。而且结构简单便于安装。


技术研发人员：李志强
受保护的技术使用者：深圳市方瑞科技有限公司
技术研发日：2022.08.12
技术公布日：2023/2/2