弹性波装置及弹性波装置的制造方法与流程

本公开涉及弹性波装置及弹性波装置的制造方法。

背景技术：

1、在专利文献1中记载有弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在专利文献1中，重叠于空洞部的压电层的部分(膜部)与支承构件(中间层或支承基板)接触，可能产生裂纹。

3、本公开用于解决上述的问题，其目的在于，抑制压电层的裂纹。

4、用于解决问题的手段

5、一方式的弹性波装置具备：支承基板，其在第一方向上具有厚度；压电层，其设置在所述支承基板的所述第一方向上；功能电极，其设置于所述压电层；以及应力缓和层，在所述支承基板与所述压电层之间，在沿所述第一方向俯视时至少一部分与所述功能电极重叠的位置设置有空洞部，所述应力缓和层在沿所述第一方向俯视时与所述空洞部的外缘重叠或者配置在所述空洞部的外缘的至少一部分的外侧，并且介于所述支承基板与所述压电层之间。

6、一方式的弹性波装置的制造方法包括：接合工序，将在第一方向上具有厚度的支承基板与压电层重合而使它们一体化；电极形成工序，在所述接合工序之后，在所述压电层形成功能电极；压电层的蚀刻工序，对形成有所述功能电极的区域的外侧的外侧区域的所述压电层进行蚀刻；应力缓和层形成工序，形成应力缓和层，使得重叠在所述压电层的蚀刻工序后的所述压电层的至少一部分上；以及空洞部形成工序，形成空洞部，使得通过所述应力缓和层形成工序而形成的所述应力缓和层露出。

7、发明效果

8、根据本公开，抑制了压电层的裂纹。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求8所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

11.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

12.根据权利要求1至11中任一项所述的弹性波装置，其中，

13.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，

14.根据权利要求13所述的弹性波装置，其中，

15.根据权利要求14所述的弹性波装置，其中，

16.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

17.根据权利要求16所述的弹性波装置，其中，

18.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

19.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

20.根据权利要求12所述的弹性波装置，其中，

21.一种弹性波装置的制造方法，包括：

22.根据权利要求21所述的弹性波装置的制造方法，其中，

23.根据权利要求21所述的弹性波装置的制造方法，其中，

技术总结
弹性波装置具备在第一方向上具有厚度的支承基板、设置在支承基板的第一方向上的压电层、设置于压电层的功能电极、设置于压电层的功能电极以及应力缓和层。在支承基板与压电层之间，在沿第一方向俯视时至少一部分与功能电极重叠的位置设置有空洞部。在沿第一方向俯视时，应力缓和层与空洞部的外缘重叠，或者在沿第一方向俯视时，应力缓和层配置在空洞部的外缘的至少一部分的外侧，并且介于支承基板与压电层之间。

技术研发人员：井上和则
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15