显示装置、显示模块、电子设备及显示装置的制造方法与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器)、输入输出装置(例如，触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。

背景技术：

1、近年来，显示装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型显示装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(digital signage)及pid(public information display：公共信息显示器)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机及平板终端等已在进行研发。

2、另外，有显示装置的高清晰化的需求。作为需要高清晰显示装置的设备，例如面向虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、替代现实(sr：substitutional reality)以及混合现实(mr：mixed reality)的设备的开发很活跃。

3、作为显示装置，例如对包括发光器件(也称为发光元件)的发光装置已在进行研发。利用电致发光(electroluminescence，以下称为el)现象的发光器件(也称为“el器件”、“el元件”)具有容易实现薄型轻量化；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源等而驱动的特征等，并已将其应用于显示装置。

4、专利文献1公开了使用有机el器件(也称为有机el元件)的面向vr的显示装置。

5、[先行技术文献]

6、[专利文献]

7、[专利文献1]国际专利申请公开第2018/087625号

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。

3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

4、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本发明的一个方式是一种包括第一发光器件、第二发光器件、第一着色层、第二着色层、第一绝缘层及第二绝缘层的显示装置，其中，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一层及第一层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二层及第二层上的公共电极，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料且彼此分离，第一着色层与第一发光器件重叠，第二着色层与第二发光器件重叠，第二着色层使与第一着色层不同的颜色的光透过，第一绝缘层覆盖第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面重叠，第二绝缘层具有位于第一层的侧面与第二层的侧面之间的部分，公共电极覆盖第二绝缘层的顶面，在剖视时，第二绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状，第一层具有第一区域和第一区域的外侧的第二区域，第一区域位于第一像素电极与公共电极之间，第二区域与第一绝缘层和第二绝缘层中的至少一个重叠，并且，第二区域的宽度为1nm以上且为第一区域的宽度的50％以下。

7、第二绝缘层的顶面优选具有凸曲面形状。

8、在剖视时，第一绝缘层的端部优选具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

9、第二绝缘层优选覆盖第一绝缘层的端部的侧面的至少一部分。

10、第二绝缘层的端部优选位于第一绝缘层的端部的外侧。

11、第二绝缘层的侧面优选具有凹曲面形状。

12、上述各结构的显示装置优选包括第三绝缘层及第四绝缘层。优选的是，第三绝缘层位于第一层的顶面与第一绝缘层之间，第四绝缘层位于第二层的顶面与第一绝缘层之间，第三绝缘层的端部及第四绝缘层的端部各自位于第一绝缘层的端部的外侧。

13、第二绝缘层优选覆盖第三绝缘层的侧面的至少一部分和第四绝缘层的侧面的至少一部分。

14、在剖视时，第三绝缘层的端部及第四绝缘层的端部优选各自具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

15、优选的是，第一层及第二层各自包括发光层及发光层上的功能层，并且功能层包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

16、第一绝缘层及第二绝缘层优选各自包括与第一像素电极的顶面重叠的部分及与第二像素电极的顶面重叠的部分。

17、优选的是，第一层覆盖第一像素电极的侧面，并且第二层覆盖第二像素电极的侧面。

18、在剖视时，第一像素电极的端部及第二像素电极的端部优选各自具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。

19、优选的是，第一绝缘层为无机绝缘层，并且第二绝缘层为有机绝缘层。第一绝缘层优选包含氧化铝。第二绝缘层优选包含丙烯酸树脂。

20、优选的是，第一发光器件在第一层与公共电极之间包括公共层，第二发光器件在第二层与公共电极之间包括公共层，并且公共层位于第二绝缘层与公共电极之间。

21、本发明的一个方式是一种包括第一发光器件、第二发光器件、第一着色层、第二着色层、第一绝缘层及第二绝缘层的显示装置，其中，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一层、第一层上的公共层及公共层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二层、第二层上的公共层及公共层上的公共电极，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料且彼此分离，第一层包括与公共层接触的第一功能层，第二层包括与公共层接触的第二功能层，第一着色层与第一发光器件重叠，第二着色层与第二发光器件重叠，第二着色层使与第一着色层不同的颜色的光透过，第一绝缘层覆盖第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面重叠，第二绝缘层具有位于第一层的侧面与第二层的侧面之间的部分，公共层覆盖第二绝缘层，公共电极隔着公共层覆盖第二绝缘层，在剖视时，第二绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状，并且，第一功能层、第二功能层及公共层包含相同材料。

22、本发明的一个方式是一种包括第一发光器件、第二发光器件、第一着色层、第二着色层、第一绝缘层、第二绝缘层及第三绝缘层的显示装置，其中，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一层、第一层上的公共层及公共层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二层、第二层上的公共层及公共层上的公共电极，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料且彼此分离，第一层包括与公共层接触的第一功能层，第二层包括与公共层接触的第二功能层，第一着色层与第一发光器件重叠，第二着色层与第二发光器件重叠，第二着色层使与第一着色层不同的颜色的光透过，第一绝缘层包含有机化合物，第一绝缘层覆盖第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面重叠，第三绝缘层隔着第一绝缘层及第二绝缘层与第一层的顶面的一部分及侧面以及第二层的顶面的一部分及侧面重叠，第三绝缘层具有位于第一层的侧面与第二层的侧面之间的部分，公共层覆盖第三绝缘层，公共电极隔着公共层覆盖第三绝缘层，并且，在剖视时，第三绝缘层的端部具有锥角大于0°且小于90°的锥形形状。另外，第一功能层、第二功能层及公共层优选包含相同材料。或者，第一绝缘层及公共层优选包含相同材料。

23、第一功能层及第二功能层优选各自包括第一载流子传输层和载流子阻挡层中的一方或双方。

24、公共层优选包括第二载流子传输层及第二载流子传输层上的载流子注入层。

25、本发明的一个方式是一种显示模块，包括具有上述任意结构的显示装置，该显示模块安装有柔性印刷电路板(flexible printed circuit，以下记作fpc)或tcp(tapecarrier package：带载封装)等连接器或者利用cog(chip on glass：玻璃覆晶封装)方式或利用cof(chip on film：薄膜覆晶封装)方式等安装有集成电路(ic)。

26、本发明的一个方式是一种电子设备，包括：上述显示模块；以及框体、电池、照相机、扬声器和麦克风中的至少一个。

27、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一膜；在第一膜上形成作为绝缘膜的第一掩模膜；在第一掩模膜上形成作为金属膜或合金膜的第二掩模膜；在第二掩模膜上形成与第一像素电极重叠的第一抗蚀剂掩模及与第二像素电极重叠的第二抗蚀剂掩模；使用第一抗蚀剂掩模及第二抗蚀剂掩模对第二掩模膜进行加工来形成与第一像素电极重叠的第一掩模层及与第二像素电极重叠的第二掩模层；通过使用等离子体的灰化来去除第一抗蚀剂掩模及第二抗蚀剂掩模；将第一掩模层及第二掩模层用作硬掩模对第一掩模膜进行加工来形成与第一像素电极重叠的第三掩模层及与第二像素电极重叠的第四掩模层；将第一掩模层至第四掩模层用作硬掩模利用干蚀刻法对第一膜进行加工来形成与第一像素电极重叠的第一层及与第二像素电极重叠的第二层；利用湿蚀刻法去除第一掩模层及第二掩模层；利用湿蚀刻法去除第三掩模层及第四掩模层的至少一部分来使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以及以覆盖第一层及第二层的方式形成公共电极，其中，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料。

28、优选的是，在去除第一掩模层及第二掩模层之后，在第三掩模层及第四掩模层上形成无机绝缘膜，在无机绝缘膜上使用感光性树脂组成物形成有机绝缘膜，通过对有机绝缘膜进行曝光及显影，形成重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域的有机绝缘层，将有机绝缘层用作硬掩模利用湿蚀刻法对无机绝缘膜进行加工来形成重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域的无机绝缘层，将有机绝缘层及无机绝缘层用作硬掩模利用湿蚀刻法对第三掩模层及第四掩模层进行加工来使第一层的顶面及第二层的顶面露出，并且以覆盖第一层、第二层、无机绝缘层及有机绝缘层的方式形成公共电极。

29、优选的是，在形成无机绝缘层的工序中，减薄第三掩模层的一部分及第四掩模层的一部分的厚度，并且在形成无机绝缘层的工序与使第一层的顶面及第二层的顶面露出的工序之间进行加热处理。

30、优选的是，作为第一掩模膜及无机绝缘膜的每一个利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为第二掩模膜利用溅射法沉积钨膜。

31、优选的是，第一层及第二层各自包括发光层和发光层上的功能层，并且功能层包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

32、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一膜；在第一膜上形成掩模膜；对第一膜及掩模膜进行加工来在第一像素电极上形成第一层和第一掩模层，且在第二像素电极上形成第二层和第二掩模层；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；在第一绝缘膜上使用感光性树脂组成物形成第二绝缘膜；对第二绝缘膜进行加工来形成重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域的第二绝缘层；将第二绝缘层用作掩模进行第一蚀刻处理去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，且减薄第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分的厚度；在进行加热处理之后，将第二绝缘层用作掩模进行第二蚀刻处理去除第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分来使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以覆盖第一层、第二层及第二绝缘层的方式形成公共电极；以及在使第一层的顶面及第二层的顶面露出之后对第二绝缘层照射光，其中，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料。

33、优选的是，在形成公共电极之后照射光，在照射光之后形成覆盖公共电极的第三绝缘层。或者，优选的是，在形成公共电极之后形成覆盖公共电极的第三绝缘层，在形成第三绝缘层之后照射光。或者，优选在形成公共电极之前照射光。

34、优选的是，作为第一绝缘膜利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为掩模膜利用ald法沉积氧化铝膜。

35、第一蚀刻处理及第二蚀刻处理优选利用湿蚀刻进行。

36、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成包括发光膜和发光膜上的功能膜的第一膜；在第一膜上形成掩模膜；对第一膜及掩模膜进行加工来在第一像素电极上形成包括第一发光层和第一发光层上的第一功能层的第一层及第一层上的第一掩模层，且在第二像素电极上形成包括第二发光层和第二发光层上的第二功能层的第二层及第二层上的第二掩模层；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；对第二绝缘膜进行加工来形成重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域的第二绝缘层；将第二绝缘层用作掩模进行蚀刻处理去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，且去除第一掩模层的一部分及第二掩模层的一部分来使第一功能层的顶面及第二功能层的顶面露出；以覆盖第一功能层、第二功能层及第二绝缘层的方式形成第一公共层；以及在第一公共层上形成公共电极，其中，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料，并且，第一功能层、第二功能层及第一公共层包含相同材料。

37、在蚀刻处理中优选去除第一功能层的一部分及第二功能层的一部分。

38、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括：形成第一像素电极及第二像素电极；在第一像素电极及第二像素电极上形成包括发光膜和发光膜上的功能膜的第一膜；在第一膜上形成有机膜；在有机膜上形成掩模膜；对第一膜、有机膜及掩模膜进行加工来在第一像素电极上形成包括第一发光层和第一发光层上的第一功能层的第一层、第一层上的第一有机层及第一有机层上的第一掩模层，且在第二像素电极上形成包括第二发光层和第二发光层上的第二功能层的第二层、第二层上的第二有机层及第二有机层上的第二掩模层；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；对第二绝缘膜进行加工来形成重叠于夹在第一像素电极与第二像素电极之间的区域的第二绝缘层；将第二绝缘层用作掩模进行蚀刻处理去除第一绝缘膜的一部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层，且去除第一掩模层的一部分、第二掩模层的一部分、第一有机层的一部分及第二有机层的一部分来使第一功能层的顶面及第二功能层的顶面露出；以覆盖第一功能层、第二功能层及第二绝缘层的方式形成第一公共层；以及在第一公共层上形成公共电极，其中，第一层和第二层各自包含发射蓝色光的第一发光材料和发射比蓝色长的波长的光的第二发光材料。

39、优选使用相同材料形成第一功能层、第二功能层及第一公共层。

40、优选的是，在第一公共层上形成第二公共层，并且在第二公共层上形成公共电极。

41、优选的是，作为第一绝缘膜利用ald法沉积氧化铝膜，并且作为掩模膜利用ald法沉积氧化铝膜。

42、发明效果

43、根据本发明的一个方式，可以提供一种显示品质高的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。

44、根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

45、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。