显示装置的制造方法、显示装置、显示模块及电子设备与流程

本发明的一个方式涉及一种显示装置、显示模块及电子设备。本发明的一个方式涉及一种显示装置的制造方法。注意，本发明的一个方式不局限于上述。作为本发明的一个方式的的一个例子，可以举出半导体装置、显示装置、发光装置、蓄电装置、存储装置、电子设备、照明装置、输入装置(例如，触摸传感器)、输入输出装置(例如，触摸面板)以及上述装置的驱动方法或制造方法。

背景技术：

1、近年来，显示装置被期待应用于各种用途。例如，作为大型显示装置的用途，可以举出家用电视装置(也称为电视或电视接收器)、数字标牌(digital signage)及公共信息显示器(pid：public information display)等。此外，作为便携式信息终端，对具备触摸面板的智能手机及平板终端等已在进行研发。

2、另外，有显示装置的高清晰化的需求。作为需要高清晰显示装置的设备，例如面向虚拟现实(vr：virtual reality)、增强现实(ar：augmented reality)、替代现实(sr：substitutional reality)以及混合现实(mr：mixed reality)的设备的开发很活跃。

3、作为显示装置，例如对包括发光器件(也称为发光元件)的发光装置已在进行研发。利用电致发光(electroluminescence，以下称为el)现象的发光器件(也称为“el器件”、“el元件”)具有容易实现薄型轻量化；能够高速地响应输入信号；以及能够使用直流恒压电源等而驱动的特征等，并已将其应用于显示装置。

4、专利文献1公开了使用有机el器件(也称为有机el元件)的面向vr的显示装置。

5、[先行技术文献]

6、[专利文献]

7、[专利文献1]国际公开第2018/087625号

技术实现思路

1、发明所要解决的技术问题

2、本发明的一个方式的目的之一是提供一种显示品质高的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置。

3、本发明的一个方式的目的之一是提供一种高清晰的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。本发明的一个方式的目的之一是提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

4、注意，这些目的的记载不妨碍其他目的的存在。本发明的一个方式并不需要实现所有上述目的。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述目的以外的目的。

5、解决技术问题的手段

6、本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极及第一导电层；在第一像素电极上形成第一膜；在第一膜及第一导电层上形成第一掩模膜；加工第一膜及第一掩模膜而在第一像素电极上形成第一层及第一掩模层且在第一导电层上形成第二掩模层；在第一掩模层及第二掩模层上形成第一绝缘膜；使用感光性树脂组成物在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过对第二绝缘膜进行曝光及显影使第一绝缘膜中的与第二掩模层重叠的部分露出；将第二绝缘膜用作掩模进行第一蚀刻处理去除第一绝缘膜中的与第二掩模层重叠的部分并减薄第二掩模层的一部分的膜厚度；通过对第二绝缘膜进行曝光及显影使第一绝缘膜中的与第一掩模层重叠的部分露出，形成覆盖第一层的端部的第二绝缘层；将第二绝缘层用作掩模进行第二蚀刻处理去除第一绝缘膜中的与第一掩模层重叠的部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层并减薄第一掩模层的一部分的膜厚度；进行加热处理，然后将第二绝缘层用作掩模进行第三蚀刻处理去除第一掩模层的一部分而使第一层的顶面露出；以覆盖第一层、第一导电层及第二绝缘层的方式形成公共电极；以及通过进行第二蚀刻处理或第三蚀刻处理去除第二掩模层的一部分而使第一导电层的顶面露出。

7、另外，本发明的一个方式是一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：形成第一像素电极、第二像素电极及第一导电层；在第一像素电极及第二像素电极上形成第一膜；在第一膜及第一导电层上形成第一掩模膜；加工第一膜及第一掩模膜而在第一像素电极上形成第一层及第一掩模层，在第一导电层上形成第二掩模层，并使第二像素电极露出；在第一掩模层及第二像素电极上形成第二膜；在第二膜上形成第二掩模膜；加工第二膜及第二掩模膜在第二像素电极上形成第二层及第三掩模层且使第一掩模层及第二掩模层露出；在第一掩模层至第三掩模层上形成第一绝缘膜；使用感光性树脂组成物在第一绝缘膜上形成第二绝缘膜；通过对第二绝缘膜进行曝光及显影使第一绝缘膜中的与第二掩模层重叠的部分露出；将第二绝缘膜用作掩模进行第一蚀刻处理去除第一绝缘膜中的与第二掩模层重叠的部分并减薄第二掩模层的一部分的膜厚度；通过对第二绝缘膜进行曝光及显影使第一绝缘膜中的与第一掩模层重叠的部分及与第三掩模层重叠的部分露出，形成与夹在第一像素电极与第二像素电极间的区域重叠的第二绝缘层；将第二绝缘层用作掩模进行第二蚀刻处理去除第一绝缘膜中的与第一掩模层重叠的部分及与第三掩模层重叠的部分来形成与第二绝缘层重叠的第一绝缘层并减薄第一掩模层的一部分及第三掩模层的一部分的膜厚度；进行加热处理，然后将第二绝缘层用作掩模进行第三蚀刻处理去除第一掩模层的一部分及第三掩模层的一部分而使第一层的顶面及第二层的顶面露出；以覆盖第一层、第二层、第一导电层及第二绝缘层的方式形成公共电极；以及通过进行第二蚀刻处理或第三蚀刻处理去除第二掩模层的一部分而使第一导电层的顶面露出。

8、第一层优选至少包括第一发光层。

9、第一层优选在第一发光层上设置有第一功能层，并且第一功能层优选包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

10、作为第一掩模膜、第二掩模膜及第一绝缘膜的每一个优选使用ald法沉积氧化铝膜。

11、另外，本发明的一个方式是一种显示装置，包括第一发光器件、第二发光器件、第一透镜、第二透镜、第一绝缘层及第二绝缘层，其中，第一发光器件包括第一像素电极、第一像素电极上的第一发光层以及第一发光层上的公共电极，第二发光器件包括第二像素电极、第二像素电极上的第二发光层以及第二发光层上的公共电极，第一透镜与第一发光器件重叠，第二透镜与第二发光器件重叠，第一绝缘层覆盖第一发光层的顶面的一部分及侧面以及第二发光层的顶面的一部分及侧面，第二绝缘层隔着第一绝缘层与第一发光层的顶面的一部分及侧面以及第二发光层的顶面的一部分及侧面重叠，公共电极覆盖第二绝缘层，并且，在从截面看时第二绝缘层的端部具有锥角小于90°的锥形形状。

12、第二绝缘层优选覆盖第一绝缘层的端部的侧面的至少一部分。

13、第一发光器件优选在第一发光层与公共电极间包括第一功能层，并且第一功能层优选包括空穴注入层、电子注入层、空穴传输层、电子传输层、空穴阻挡层和电子阻挡层中的至少一个。

14、另外，本发明的一个方式是一种显示模块，包括具有上述任意结构的显示装置，该显示模块安装有柔性印刷电路板(flexible printed circuit，以下记作fpc)或tcp(tapecarrier package；带载封装)等连接器或者利用cog(chip on glass；玻璃覆晶封装)方式或利用cof(chip on film；薄膜覆晶封装)方式等安装有集成电路(ic)。

15、另外，本发明的一个方式是一种电子设备，包括上述显示模块以及框体、电池、照相机、扬声器和麦克风中的至少一个。

16、发明效果

17、根据本发明的一个方式，可以提供一种显示品质高的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置。

18、根据本发明的一个方式，可以提供一种高清晰的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种高分辨率的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种可靠性高的显示装置的制造方法。根据本发明的一个方式，可以提供一种成品率高的显示装置的制造方法。

19、注意，这些效果的记载不妨碍其他效果的存在。本发明的一个方式并不需要具有所有上述效果。可以从说明书、附图、权利要求书的记载中抽取上述效果以外的效果。